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公開番号2024077469
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-06-07
出願番号2022189586
出願日2022-11-28
発明の名称安全支援装置、推論装置、機械学習装置、安全支援方法、推論方法、及び、機械学習方法
出願人株式会社荏原製作所
代理人個人,個人
主分類H01L 21/02 20060101AFI20240531BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】作業者の安全を適切に確保しつつ、作業者の作業効率を向上させることを可能とする安全支援装置を提供する。
【解決手段】安全支援装置5は、所定の可動範囲を有する可動部を移動させて所定の処理を行う処理装置に対して可動範囲内に身体の少なくとも一部を入れて所定の作業を行う作業者Uの安全を支援する。安全支援装置5は、作業者Uが作業者装置6を装着したときに作業者Uの前方に向けて配置される画像撮影部63により撮影された画像データ110を取得する画像データ取得部500と、画像データ取得部500により取得された画像データ110に基づいて、可動部のインターロック状態を示すインターロック情報を生成するインターロック情報生成部501とを備える。
【選択図】図13
特許請求の範囲【請求項１】
所定の可動範囲を有する可動部を移動させて所定の処理を行う処理装置に対して前記可動範囲内に身体の少なくとも一部を入れて所定の作業を行う作業者の安全を支援する安全支援装置であって、
前記作業者が画像撮影部を備える作業者装置を装着したときに前記作業者の前方に向けて配置される前記画像撮影部により撮影された画像データを取得する画像データ取得部と、
前記画像データ取得部により取得された前記画像データに基づいて、前記可動部のインターロック状態を示すインターロック情報を生成するインターロック情報生成部と、を備える、
安全支援装置。
続きを表示（約 2,400 文字）【請求項２】
前記インターロック情報生成部は、
前記画像データ取得部により取得された前記画像データに対して画像処理を行うことにより前記作業者の位置を示す作業者情報を取得し、その取得した前記作業者情報に基づいて、当該画像データに対する前記インターロック情報を生成する、
請求項１に記載の安全支援装置。
【請求項３】
前記インターロック情報生成部は、
前記画像データと前記インターロック情報との相関関係を機械学習させた学習モデルに、前記画像データ取得部により取得された前記画像データを入力することにより、当該画像データに対する前記インターロック情報を生成する、
請求項１に記載の安全支援装置。
【請求項４】
前記画像データ取得部により取得された前記画像データに基づいて、前記作業者の周囲に存在する前記可動部の位置を示す可動部情報を取得する可動部情報取得部と、
前記インターロック情報生成部により生成された前記インターロック情報と、前記可動部情報取得部により取得された前記可動部情報とに基づいて、現実空間の対象物にオブジェクト情報を重畳表示可能な出力部をさらに備える前記作業者装置が前記作業者に装着されたときに前記作業者の周囲に存在する前記可動部に前記インターロック情報を重畳表示させるための前記オブジェクト情報を生成するオブジェクト情報生成部と、をさらに備える、
請求項１に記載の安全支援装置。
【請求項５】
前記インターロック情報は、前記インターロック状態として、
前記可動部に対する移動許可又は移動禁止を示すインターロックオンオフ状態と、
前記可動範囲に対する前記可動部の移動許可範囲又は移動禁止範囲を示すインターロック制御範囲との少なくとも１つを含む、
請求項１乃至請求項４のいずれか一項に記載の安全支援装置。
【請求項６】
メモリと、プロセッサとを備える推論装置であって、
前記プロセッサは、
所定の可動範囲を有する可動部を移動させて所定の処理を行う処理装置に対して前記可動範囲内に身体の少なくとも一部を入れて所定の作業を行う作業者が画像撮影部を備える作業者装置を装着したときに前記作業者の前方に向けて配置される前記画像撮影部により撮影された画像データを取得する画像データ取得処理と、
前記画像データ取得処理にて前記画像データを取得すると、当該画像データに基づいて、前記可動部のインターロック状態を示すインターロック情報を推論する推論処理と、を実行する、
推論装置。
【請求項７】
所定の可動範囲を有する可動部を移動させて所定の処理を行う処理装置に対して前記可動範囲内に身体の少なくとも一部を入れて所定の作業を行う作業者が画像撮影部を備える作業者装置を装着したときに前記作業者の前方に向けて配置される前記画像撮影部により撮影された画像データと、前記可動部のインターロック状態を示すインターロック情報とで構成される学習用データを複数組記憶する学習用データ記憶部と、
複数組の前記学習用データを学習モデルに入力することで、前記画像データと前記インターロック情報との相関関係を前記学習モデルに学習させる機械学習部と、
前記機械学習部により前記相関関係を学習させた前記学習モデルを記憶する学習済みモデル記憶部と、を備える、
機械学習装置。
【請求項８】
所定の可動範囲を有する可動部を移動させて所定の処理を行う処理装置に対して前記可動範囲内に身体の少なくとも一部を入れて所定の作業を行う作業者の安全を支援する安全支援方法であって、
前記作業者が画像撮影部を備える作業者装置を装着したときに前記作業者の前方に向けて配置される前記画像撮影部により撮影された画像データを取得する画像データ取得工程と、
前記画像データ取得工程により取得された前記画像データに基づいて、前記可動部のインターロック状態を示すインターロック情報を生成するインターロック情報生成工程と、を備える、
安全支援方法。
【請求項９】
メモリと、プロセッサとを備える推論装置により実行される推論方法であって、
前記プロセッサは、
所定の可動範囲を有する可動部を移動させて所定の処理を行う処理装置に対して前記可動範囲内に身体の少なくとも一部を入れて所定の作業を行う作業者が画像撮影部を備える作業者装置を装着したときに前記作業者の前方に向けて配置される前記画像撮影部により撮影された画像データを取得する画像データ取得工程と、
前記画像データ取得工程にて前記画像データを取得すると、当該画像データに基づいて、前記可動部のインターロック状態を示すインターロック情報を推論する推論工程と、を実行する、
推論方法。
【請求項１０】
所定の可動範囲を有する可動部を移動させて所定の処理を行う処理装置に対して前記可動範囲内に身体の少なくとも一部を入れて所定の作業を行う作業者が画像撮影部を備える作業者装置を装着したときに前記作業者の前方に向けて配置される前記画像撮影部により撮影された画像データと、前記可動部のインターロック状態を示すインターロック情報とで構成される学習用データを学習用データ記憶部に複数組記憶する学習用データ記憶工程と、
複数組の前記学習用データを学習モデルに入力することで、前記画像データと前記インターロック情報との相関関係を前記学習モデルに学習させる機械学習工程と、
前記機械学習工程により前記相関関係を学習させた前記学習モデルを学習済みモデル記憶部に記憶する学習済みモデル記憶工程と、を備える、
機械学習方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、安全支援装置、推論装置、機械学習装置、安全支援方法、推論方法、及び、機械学習方法に関する。
続きを表示（約 2,000 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体ウェハ等の基板に対して各種の処理を行う基板処理装置では、例えば、作業者の安全を確保するため、所定の可動範囲を有する可動部に対してインターロック機能が設けられている。例えば、特許文献１には、基板処理装置の各モジュールに設けられたカバーの開状態をセンサで検出したとき、そのモジュール（可動部）を停止させるようにインターロックを作動させる基板処理装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１３－０７７０５３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に開示された基板処理装置を含む各種の処理装置では、作業者による各種の作業が行われるが、その際、作業者の身体の一部を可動部の可動範囲内に入れた状態で行われる。そのため、処理装置には、上記のようなインターロック機能が必要であるが、例えば、調整作業や保守作業を行う際に、インターロック機能を一時的に無効にすることで作業効率を向上させることができる。しかしながら、インターロック機能を一時的に無効にした場合には、作業者の安全が処理装置により確保されておらず、作業者の安全性の面で問題があった。
【０００５】
本発明は、上記の課題に鑑み、作業者の安全を適切に確保しつつ、作業者の作業効率を向上させることを可能とする安全支援装置、推論装置、機械学習装置、安全支援方法、推論方法、及び、機械学習方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、本発明の一態様に係る安全支援装置は、
所定の可動範囲を有する可動部を移動させて所定の処理を行う処理装置に対して前記可動範囲内に身体の少なくとも一部を入れて所定の作業を行う作業者の安全を支援する安全支援装置であって、
前記作業者が画像撮影部を備える作業者装置を装着したときに前記作業者の前方に向けて配置される前記画像撮影部により撮影された画像データを取得する画像データ取得部と、
前記画像データ取得部により取得された前記画像データに基づいて、前記可動部のインターロック状態を示すインターロック情報を生成するインターロック情報生成部と、を備える。
【発明の効果】
【０００７】
本発明の一態様に係る安全支援装置によれば、作業者の前方に向けて配置される画像撮影部により撮影された画像データに基づいて、可動部のインターロック状態を示すインターロック情報が生成されるので、作業者と可動部との位置関係に応じて可動部のインターロックを制御することができる。したがって、作業者の安全を適切に確保しつつ、作業者
の作業効率を向上させることができる。
【０００８】
上記以外の課題、構成及び効果は、後述する発明を実施するための形態にて明らかにされる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
基板処理システム１の一例を示す全体構成図である。
基板処理装置２の一例を示す平面図である。
第１乃至第４の研磨部２２Ａ～２２Ｄの一例を示す斜視図である。
第１及び第２のロールスポンジ洗浄部２４Ａ、２４Ｂの一例を示す斜視図である。
第１及び第２のペンスポンジ洗浄部２４Ｃ、２４Ｄの一例を示す斜視図である。
第１及び第２の乾燥部２４Ｅ、２４Ｆの一例を示す斜視図である。
基板処理装置２の一例を示すブロック図である。
コンピュータ９００の一例を示すハードウエア構成図である。
機械学習装置４の一例を示すブロック図である。
学習モデル１０及び学習用データ１１の一例を示す図である。
機械学習装置４による機械学習方法の一例を示すフローチャートである。
安全支援装置５の一例を示すブロック図である。
安全支援装置５の一例を示す機能説明図である。
ユーザ端末装置６の一例を示すブロック図である。
基板処理装置２、安全支援装置５及びユーザ端末装置６による安全支援方法の一例を示すフローチャートである。
現実空間の可動部にインターロック情報１１１Ａを重畳表示した第１の例を示す図である。
現実空間の可動部にインターロック情報１１１Ｂを重畳表示した第２の例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、図面を参照して本発明を実施するための実施形態について説明する。以下では、本発明の目的を達成するための説明に必要な範囲を模式的に示し、本発明の該当部分の説明に必要な範囲を主に説明することとし、説明を省略する箇所については公知技術によるものとする。
（【００１１】以降は省略されています）

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