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公開番号2024068414
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-05-20
出願番号2022178848
出願日2022-11-08
発明の名称可動装置、光走査システム、ヘッドアップディスプレイ、レーザヘッドランプ、ヘッドマウントディスプレイ、物体認識装置及び移動体。
出願人株式会社リコー
代理人個人
主分類G02B 26/10 20060101AFI20240513BHJP(光学)
要約【課題】
駆動感度を高くしつつ小型化が実現可能な可動装置を提供する。
【解決手段】
本発明は、可動部と、前記可動部を駆動させる駆動部と、前記可動部と前記駆動部を連結する連結部と、を有し、前記連結部は、前記可動部と前記駆動部の少なくとも一方と平面視において重なる領域に間隔を有し、平面視における前記可動部及び前記駆動部との接続領域を除く前記可動部との接続位置と前記駆動部との接続位置との間の連結部の長さは、平面視における前記駆動部と前記可動部との距離よりも長いことを特徴とした可動装置である。
【選択図】図1E
特許請求の範囲【請求項１】
可動部と、
前記可動部を駆動させる駆動部と、
前記可動部と前記駆動部を連結する連結部と、を有し、
前記連結部は、前記可動部と前記駆動部の少なくとも一方と平面視において重なる領域に間隔を有し、
平面視における前記可動部及び前記駆動部との接続領域を除く前記可動部との接続位置と前記駆動部との接続位置との間の連結部の長さは、平面視における前記駆動部と前記可動部との距離よりも長い
ことを特徴とする可動装置。
続きを表示（約 980 文字）【請求項２】
前記平面視において、前記駆動部と前記可動部が重なる
ことを特徴とした請求項１に記載の可動装置。
【請求項３】
前記駆動部は、前記可動部を回動させ、
平面視における前記連結部は、前記可動部との接続位置から前記回動の軸と平行な方向に延伸する請求項１又は２に記載の可動装置。
【請求項４】
前記駆動部は、前記可動部を回動させ、
平面視における前記連結部は、前記駆動部との接続位置から前記回動の軸と交差する方向に延伸する請求項１又は２に記載の可動装置。
【請求項５】
前記駆動部を固定する第１の支持部があり、
前記第１の支持部に接続し前記第１の支持部を駆動させる他の駆動部があり、
前記他の駆動部を固定する第２の支持部があり、
前記可動部を前記駆動部によって回動する第１軸に対し、
前記他の駆動部によって回動する第２の軸が、略直交すること
を特徴とした請求項１または請求項２に記載の可動装置。
【請求項６】
前記駆動部にスリットが入っており、
前記駆動部の前記第１の支持部側に折り返した位置で前記連結部が接続され、
前記スリットによって分割された前記駆動部の面積の小さい側の領域に
圧電検出機能を有する領域が形成されている
ことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の可動装置。
【請求項７】
前記可動部の裏面にはリブが形成され、
前記駆動部と前記連結部とは重ならないように配置されている
ことを特徴とする請求項１または請求項２の可動装置。
【請求項８】
前記第1の支持部および前記第１の駆動部の第１軸周りの慣性モーメントが前記可動部の第１軸周りの慣性モーメントよりも大きい
ことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の可動装置。
【請求項９】
前記可動部は、前記第１の支持部よりも大きく、前記第２の支持部よりも小さい
を特徴とした請求項１または請求項２に記載の可動装置。
【請求項１０】
請求項１に記載の可動装置を有する画像投影装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、可動装置、光走査システム、ヘッドアップディスプレイ、レーザヘッドランプ、ヘッドマウントディスプレイ、物体認識装置及び移動体に関する。
続きを表示（約 2,400 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１では、ＳＯＩウェハに対し、酸化シリコン層側からのエッチングにより酸化シリコン層側に開口する空洞を外側圧電アクチュエータの形成領域に形成し、空洞の露出面を酸化シリコン層で被覆する。次に、ＳＯＩウェハの酸化シリコン層とＳＯＩウェハの支持層とを接合して、空洞を封入したＳＯＩウェハを製造する。次に、ＳＯＩウェハの裏面側に凹部を形成した後、裏面側から凹部の深さ方向に、異方性のドライエッチングを行って、酸化シリコン層を除去する方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２０‐２０４６９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
駆動感度を高くしつつ小型化が実現可能な可動装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、可動部と可動部を駆動させる駆動部と、可動部と駆動部を連結する連結部からなる可動装置であって、駆動部と、連結部が重なる領域があり、重なる領域は、駆動部と連結部の間に、可動部側に開放される空間を有することを特徴とする可動装置である。
【発明の効果】
【０００６】
駆動感度を高くしつつ小型化が実現可能な可動装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
本実施形態の構成の一例を示す平面図である。
本実施形態の構成の一例を示す裏面図である。
本実施形態の構成の一例を示す平面図の断面図である。
本実施形態の構成の一例を示す平面図の断面図である。
本実施形態の構成の一例を示す平面図の断面図である。
可動装置の第２駆動構造部の駆動を模式的に表した図である。
（ａ）可動装置の圧電素子部群Ａに印加される駆動電圧Ａの波形の一例（ｂ）圧電素子部群Ｂに印加される駆動電圧の波形Ｂの一例（ｃ）駆動電圧Ａの波形と駆動電圧Ｂの波形を重ね合わせた図である。
本実施形態の構成の一例を示す平面図である。
本実施形態の構成の一例を示す裏面図である。
本実施形態の構成の一例を示す平面図の断面図である。
本実施形態の構成の一例を示す平面図の断面図である。
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本実施形態の構成の一例を示す平面図である。
本実施形態の構成の一例を示す裏面図である。
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本実施形態の構成の一例を示す裏面図である。
本実施形態の構成の一例を示す平面図の断面図である。
本実施形態の構成の一例を示す平面図の断面図である。
本実施形態の構成の一例を示す平面図の断面図である。
本実施形態の構成の一例を示す平面図である。
本実施形態の構成の一例を示す裏面図である。
本実施形態の構成の一例を示す平面図の断面図である。
本実施形態の構成の一例を示す平面図の断面図である。
本実施形態の構成の一例を示す平面図の断面図である。
本実施形態の構成の一例を示す平面図である。
本実施形態の構成の一例を示す裏面図である。
本実施形態の構成の一例を示す平面図の断面図である。
本実施形態の構成の一例を示す平面図の断面図である。
本実施形態の構成の一例を示す平面図の断面図である。
光走査システムの一例の概略図である。
光走査システムの一例のハードウェア構成図である。
制御装置の一例の機能ブロック図である。
光走査システムに係る処理の一例のフローチャートである。
ヘッドアップディスプレイ装置を搭載した自動車の一例の概略図である。
ヘッドアップディスプレイ装置の一例の概略図である。
光書込装置を搭載した画像形成装置の一例の概略図である。
光書込装置の一例の概略図である。
ライダ装置を搭載した自動車の一例の概略図である。
ライダ装置の一例の概略図である。
レーザヘッドランプの構成の一例を説明する概略図である。
ヘッドマウントディスプレイの構成の一例を示す概略斜視図である。
ヘッドマウントディスプレイの構成の一部の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、図面を参照しながら、発明を実施するための形態を説明する。なお、図面の説明において同一要素には同一符号を付し、重複する説明は省略する。
【０００９】
［第１の実施形態］
＜可動装置の構成＞
第１の実施形態を図１に示す。図１Ａは正面図、図１Ｂは裏面図、図１Ｃ～図１Ｅはそれぞれ断面図である。
【００１０】
図１に示すように、可動装置１３は、入射した光を反射するミラー部１０１と、ミラー部に接続され、ミラー部をＹ軸に平行な第１軸周りに駆動する第１駆動構造部１１０ａ、１１０ｂと、ミラー部および第１駆動構造部を支持する第１支持部１２０と、第１支持部に接続され、ミラー部および第１支持部をＹ軸に平行な第２軸周りに駆動する第２駆動構造部１３０ａ、１３０ｂと、第２駆動構造部を支持する第２支持部１４０と、第１駆動構造部および第２駆動構造部および制御装置に電気的に接続される電極接続部１５０と、を有する。
（【００１１】以降は省略されています）

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