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公開番号2024068301
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-05-20
出願番号2022178636
出願日2022-11-08
発明の名称試料載置用器具および試料観察方法
出願人国立大学法人大阪大学
代理人弁理士法人三枝国際特許事務所
主分類H01J 37/20 20060101AFI20240513BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】光学顕微鏡と電子顕微鏡とを組み合わせて試料を観察する方法または装置において、観察対象の試料を入れ替える際に試料の破損が生じるおそれを低減する試料載置用器具を提供する。
【解決手段】試料載置用器具10は、顕微鏡装置103,106の試料ホルダ101,104に設けられた穴102,105に着脱可能に差し込まれる差込部1と、試料9を載置するための透光性部材8が載置される面25を一端21側に有し、他端22に差込部1の一端11が接続される載置部2と、を備え、差込部1は第1開口13を有し、載置部2の面は第2開口23を有し、第1開口13と第2開口23とをつなぐ穴3が差込部1と載置部2に形成されている。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
顕微鏡装置の試料ホルダに設けられた穴に着脱可能に差し込まれる差込部と、
試料を載置するための透光性部材が載置される面を一端側に有し、他端に前記差込部の一端が接続される載置部と、
を備え、
前記差込部は第１開口を有し、
前記載置部の面は第２開口を有し、
前記第１開口と前記第２開口とをつなぐ穴が前記差込部と前記載置部に形成されている、
試料載置用器具。
続きを表示（約 290 文字）【請求項２】
前記載置部の側面には、前記載置部の他端から一端に向けて先細に形成されたテーパ部が設けられている、請求項１に記載の試料載置用器具。
【請求項３】
請求項１または２に記載の試料載置用器具を用いて試料を観察する方法であって、
ＦＩＢ－ＳＥＭにより、観察対象の試料の表面に目印となる模様を形成するステップと、
光学顕微鏡により前記試料を観察し、前記模様を基準として前記試料内の観察位置を決定するステップと、
前記ＦＩＢ－ＳＥＭにより、前記模様を基準として前記観察位置について解析を行うステップと、
を含む、試料観察方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学顕微鏡と電子顕微鏡とを組み合わせて試料を観察する方法または装置において用いる、試料載置用器具およびこれを用いた試料観察方法に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
試料を観察するための装置として、走査型の電子顕微鏡にイオン銃を組み込んだ集束イオンビーム内蔵式走査型電子顕微鏡（FIB-SEM: Focused Ion Beam Scanning Electron Microscopes）が知られている。集束イオンビームの物理的な特性を利用することにより、例えば半導体デバイスの製造に用いるフォトマスクの欠陥を修正する等といった、試料表面に微細な加工をすることや、例えば半導体デバイスの三次元構造の再構成データを取得することができる。
【０００３】
近年では、ＦＩＢ－ＳＥＭを利用して種々の試料を観察する試みがなされている。例えば蛍光標識した細胞を観察対象の試料として、細胞の形態学的な研究がなされている。まずは、蛍光顕微鏡を用いて、予め蛍光標識した試料の蛍光観察を行うことにより、さらなる詳細な観察対象とする細胞の位置を試料内において特定する。次に、蛍光観察により試料内での位置を特定した細胞を対象として、ＦＩＢ－ＳＥＭにより解析を行う。例えば、集束イオンビームを用いて細胞の表面を深さ方向に削りながら、表面に露出した細胞の内部構造の断面をＳＥＭ（Scanning Electron Microscope）観察する。これにより、観察対象とする特定の細胞の内部構造について、三次元的な超微細構造の再構成データを取得することができる。
【０００４】
光学顕微鏡および電子顕微鏡を用いて試料の同一箇所を観察するための技術としては、例えば特許文献１に例示する技術がある。特許文献１には、電子顕微鏡と光学顕微鏡とを備える複合型の顕微鏡装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
国際公開第２０１１－１２６０４１号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
神経細胞の結びつきにより構成される神経回路は、微細で複雑な結合構造を有しており、神経回路を形態学的に解析するうえで、ＦＩＢ－ＳＥＭは非常に有効な解析手段である。しかしながら、観察対象とする目的の構造が神経組織内の狭い領域に限局していることから、光学顕微鏡観察を行うことができないＦＩＢ－ＳＥＭ単独では、詳細な観察対象とする試料内の領域を特定することができない。観察対象とする目的の構造を有する神経構造の位置を試料内において特定するために、試料を光学顕微鏡用に標識し、光学顕微鏡による事前の広視野観察が求められる。このように、ＦＩＢ－ＳＥＭを用いて神経回路を形態学的に解析しようとすると、光学顕微鏡による試料の観察と、ＦＩＢ－ＳＥＭによる試料の加工または観察とを組み合わせて行うことが求められる。
【０００７】
しかしながら、通常、光学顕微鏡とＦＩＢ－ＳＥＭとは別体の装置であり、試料ホルダもそれぞれの装置用の固有のものである。このことから、光学顕微鏡とＦＩＢ－ＳＥＭとの間で観察対象の試料を入れ替える際に、試料をそれぞれの試料ホルダから取り外す必要が生じ、そのたびに、試料の破損が生じるおそれがあった。
【０００８】
特許文献１の顕微鏡装置は、電子顕微鏡と光学顕微鏡とを備える複合型であり、試料の同一箇所を観察することが可能である。しかしながら、装置に備えられている電子顕微鏡は走査型ではなく透過型であり、装置には試料を加工するための集束イオンビームも備えられていない。特許文献１の複合型の顕微鏡装置では、観察対象とする試料について、三次元的な超微細構造の再構成データを取得する等といった、集束イオンビームの物理的な特性を利用した加工や観察を行うことはできない。
【０００９】
蛍光顕微鏡を含む光学顕微鏡と、ＦＩＢ－ＳＥＭを含む電子顕微鏡とを組み合わせて試料を観察する方法または装置において、観察対象の試料を入れ替える際に試料の破損が生じるおそれを低減することが求められている。
【００１０】
本発明は、光学顕微鏡と電子顕微鏡とを組み合わせて試料を観察する方法または装置において、観察対象の試料を入れ替える際に試料の破損が生じるおそれを低減する試料載置用器具を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
（【００１１】以降は省略されています）

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