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公開番号2024067716
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-05-17
出願番号2022177998
出願日2022-11-07
発明の名称流量制御システム
出願人アズビル株式会社
代理人個人
主分類G05D 7/06 20060101AFI20240510BHJP(制御;調整)
要約【課題】流量制御装置のローフローカット閾値を自動的に設定する。
【解決手段】流量制御システムは、流量制御装置1の流量計測値のデータを記憶するデータ保持部16と、データ保持部16のデータを読み出す通信部40と、通信部40によって読み出された流量計測値のゼロ点付近のふらつき幅に基づいて流量制御装置1のローフローカット閾値を設定する閾値設定部43とを備える。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
流量制御装置の流量計測値のデータを記憶するように構成されたデータ保持部と、
前記データ保持部のデータを読み出すように構成された通信部と、
前記通信部によって読み出された流量計測値のゼロ点付近のふらつき幅に基づいて前記流量制御装置のローフローカット閾値を設定するように構成された閾値設定部とを備えることを特徴とする流量制御システム。
続きを表示（約 1,200 文字）【請求項２】
流量制御装置の流量計測値のデータを記憶するように構成されたデータ保持部と、
前記流量計測値を平滑化処理して出力するように構成されたＰＶフィルタと、
前記データ保持部のデータを読み出すように構成された通信部と、
前記通信部によって読み出された流量計測値のゼロ点付近のふらつき幅に基づいて前記ＰＶフィルタの時定数を設定するように構成された時定数設定部とを備えることを特徴とする流量制御システム。
【請求項３】
請求項１または２記載の流量制御システムにおいて、
前記通信部は、前記流量制御装置のゼロ点調整時に前記データ保持部のデータを読み出すことを特徴とする流量制御システム。
【請求項４】
請求項１または２記載の流量制御システムにおいて、
前記流量計測値のデータを前記データ保持部に記録するように構成されたデータ記録部をさらに備えることを特徴とする流量制御システム。
【請求項５】
請求項４記載の流量制御システムにおいて、
前記流量計測値と流量設定値とが一致するように操作量を算出して、前記流量制御装置の配管に配設されたバルブに出力することにより、前記バルブの開度を制御するように構成された流量制御部をさらに備え、
前記データ記録部は、前記流量計測値に加えて、前記操作量のデータを前記データ保持部に記録することを特徴とする流量制御システム。
【請求項６】
請求項５記載の流量制御システムにおいて、
前記データ記録部は、ユーザから記録開始の指示があったとき、流量制御開始の指示があったとき、流量設定値変更の指示があったとき、あるいはゼロ点調整実行の指示があったときに、前記流量計測値と前記操作量の前記データ保持部への記録を開始することを特徴とする流量制御システム。
【請求項７】
請求項５記載の流量制御システムにおいて、
前記データ記録部は、ユーザから記録停止の指示があったときに、前記流量計測値と前記操作量の前記データ保持部への記録を停止することを特徴とする流量制御システム。
【請求項８】
請求項５記載の流量制御システムにおいて、
前記データ記録部は、記録開始時点から特定点数のデータを記録したときに、前記流量計測値と前記操作量の前記データ保持部への記録を停止することを特徴とする流量制御システム。
【請求項９】
請求項５記載の流量制御システムにおいて、
前記流量制御装置に異常かないかどうかを判定するように構成された異常判定部をさらに備え、
前記データ記録部は、前記流量制御装置に異常があると前記異常判定部が判定したときに、前記流量計測値と前記操作量の前記データ保持部への記録を停止することを特徴とする流量制御システム。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、流量制御装置の設定を自動的に行うことができる流量制御システムに関するものである。
続きを表示（約 2,200 文字）【背景技術】
【０００２】
一般に流体の流量を制御するのに流量制御装置（マスフローコントローラ）が使用される。流量制御装置は、フローセンサによって検出した流体の流量と設定流量とを比較演算して、その結果に基づいてバルブに駆動電流を出力することにより、流量制御を行う。このような流量制御装置では、例えば低流量域での応答性を改善するために、バルブを制御するコントローラのＰＩＤ定数を自動的に設定したり（特許文献１参照）、バルブの正確な制御のためにコントローラのゲインを自動的に設定したりすること（特許文献２参照）が行われている。
【０００３】
しかしながら、従来の技術では、流量制御装置のローフローカット閾値を自動的に設定したり、フローセンサによって計測された瞬時流量（ＰＶ）を平滑化処理して出力するＰＶフィルタの時定数を自動的に設定したりすることは行われていなかった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０２１－１４９５０２号公報
特表２０１８－５２８５５０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、流量制御装置のローフローカット閾値を自動的に設定することができる流量制御システムを提供することを目的とする。
また、本発明は、流量制御装置のＰＶフィルタの時定数を自動的に設定することができる流量制御システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の流量制御システムは、流量制御装置の流量計測値のデータを記憶するように構成されたデータ保持部と、前記データ保持部のデータを読み出すように構成された通信部と、前記通信部によって読み出された流量計測値のゼロ点付近のふらつき幅に基づいて前記流量制御装置のローフローカット閾値を設定するように構成された閾値設定部とを備えることを特徴とするものである。
また、本発明の流量制御システムは、流量制御装置の流量計測値のデータを記憶するように構成されたデータ保持部と、前記流量計測値を平滑化処理して出力するように構成されたＰＶフィルタと、前記データ保持部のデータを読み出すように構成された通信部と、前記通信部によって読み出された流量計測値のゼロ点付近のふらつき幅に基づいて前記ＰＶフィルタの時定数を設定するように構成された時定数設定部とを備えることを特徴とするものである。
【０００７】
また、本発明の流量制御システムの１構成例において、前記通信部は、前記流量制御装置のゼロ点調整時に前記データ保持部のデータを読み出すことを特徴とするものである。
また、本発明の流量制御システムの１構成例は、前記流量計測値のデータを前記データ保持部に記録するように構成されたデータ記録部をさらに備えることを特徴とするものである。
また、本発明の流量制御システムの１構成例は、前記流量計測値と流量設定値とが一致するように操作量を算出して、前記流量制御装置の配管に配設されたバルブに出力することにより、前記バルブの開度を制御するように構成された流量制御部をさらに備え、前記データ記録部は、前記流量計測値に加えて、前記操作量のデータを前記データ保持部に記録することを特徴とするものである。
【０００８】
また、本発明の流量制御システムの１構成例において、前記データ記録部は、ユーザから記録開始の指示があったとき、流量制御開始の指示があったとき、流量設定値変更の指示があったとき、あるいはゼロ点調整実行の指示があったときに、前記流量計測値と前記操作量の前記データ保持部への記録を開始することを特徴とするものである。
また、本発明の流量制御システムの１構成例において、前記データ記録部は、ユーザから記録停止の指示があったときに、前記流量計測値と前記操作量の前記データ保持部への記録を停止することを特徴とするものである。
また、本発明の流量制御システムの１構成例において、前記データ記録部は、記録開始時点から特定点数のデータを記録したときに、前記流量計測値と前記操作量の前記データ保持部への記録を停止することを特徴とするものである。
また、本発明の流量制御システムの１構成例は、前記流量制御装置に異常かないかどうかを判定するように構成された異常判定部をさらに備え、前記データ記録部は、前記流量制御装置に異常があると前記異常判定部が判定したときに、前記流量計測値と前記操作量の前記データ保持部への記録を停止することを特徴とするものである。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、データ保持部と通信部と閾値設定部とを設けることにより、流量がゼロのときにノイズなどによってゼロ以外の流量計測値が誤って出力される可能性がほぼないローフローカット閾値を自動的に設定することができる。
【００１０】
また、本発明では、データ保持部と通信部と時定数設定部とを設けることにより、ＰＶフィルタの時定数を自動的に適切な値に設定することができる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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