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公開番号2024066266
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-05-15
出願番号2022175743
出願日2022-11-01
発明の名称温調システム、異常判定方法および異常判定装置
出願人オムロン株式会社
代理人個人,個人,個人
主分類G05D 23/19 20060101AFI20240508BHJP(制御;調整)
要約【課題】熱処理装置の異常可能性をより正確に判定できる温調システムを提供すること。
【解決手段】温調システムが、熱処理装置の熱処理温度を制御する温度調節器と、熱処理装置の異常を判定する異常判定装置とを備える。異常判定装置が、熱処理温度が整定状態であるとき、および、外乱を受けたときの熱処理装置の制御波形の特徴量を取得可能な第1取得部と、第1取得部で取得された特徴量が第1閾値を超えた場合に、熱処理装置が異常であると判定する第1判定部とを含む。
【選択図】図8
特許請求の範囲【請求項１】
熱処理装置の熱処理温度を制御する温度調節器と、
前記熱処理装置の異常を判定する異常判定装置と
を備え、
前記異常判定装置が、
前記熱処理温度が整定状態であるとき、および、外乱を受けたときの前記熱処理装置の制御波形の特徴量を取得可能な第１取得部と、
前記第１取得部で取得された前記特徴量が第１閾値を超えた場合に、前記熱処理装置が異常であると判定する第１判定部と
を含む、温調システム。
続きを表示（約 810 文字）【請求項２】
前記温度調節器が、
前記制御波形を取得可能な第２取得部と、
前記第２取得部で取得された前記制御波形から前記特徴量を算出可能な第１算出部と
を含む、請求項１に記載の温調システム。
【請求項３】
前記異常判定装置が、前記温度調節器を制御するコントローラに設けられ、
前記温度調節器は、算出した前記特徴量のみを前記コントローラに送信可能に構成されている、請求項２に記載の温調システム。
【請求項４】
前記温度調節器は、前記コントローラにリアルタイムで前記制御波形を送信しないように構成されている、請求項３に記載の温調システム。
【請求項５】
前記第１算出部は、前記第２取得部による前記制御波形の取得終了を待たずに、前記特徴量を逐次算出する、請求項２に記載の温調システム。
【請求項６】
前記温度調節器は、前記第２取得部による前記制御波形の取得終了以降に、前記特徴量を前記コントローラに送信可能に構成されている、請求項３に記載の温調システム。
【請求項７】
前記制御波形が、温度波形または操作量波形である、請求項１に記載の温調システム。
【請求項８】
前記第１取得部で取得された複数回の前記特徴量のばらつき量に基づいて前記第１閾値を設定可能な閾値設定部を備える、請求項１に記載の温調システム。
【請求項９】
前記ばらつき量が、複数回の前記特徴量の標準偏差または最大値および最小値の差である、請求項８に記載の温調システム。
【請求項１０】
前記閾値設定部は、
基準となる前記制御波形の前記特徴量を中心として、前記ばらつき量の定数倍の幅を前記第１閾値として設定する、請求項８または９に記載の温調システム。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、温調システム、異常判定方法および異常判定装置に関する。
続きを表示（約 1,100 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、制御の整定に関する不具合を検知したり予知したりする不具合検知システムが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１５－６９６１２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１の不具合検知システムには、熱処理装置の異常可能性を正確に判定する点において、改善の余地がある。
【０００５】
本開示は、熱処理装置の異常可能性をより正確に判定できる温調システム、異常判定方法および異常判定装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本開示の一態様の温調システムは、
熱処理装置の熱処理温度を制御する温度調節器と、
前記熱処理装置の異常を判定する異常判定装置と
を備え、
前記異常判定装置が、
前記熱処理温度が整定状態であるとき、および、外乱を受けたときの前記熱処理装置の制御波形の特徴量を取得可能な第１取得部と、
前記第１取得部で取得された前記特徴量が第１閾値を超えた場合に、前記熱処理装置が異常であると判定する第１判定部と
を含む。
【０００７】
「温度整定時」とは、熱処理装置の熱処理温度が、温度目標値を基準として予め定めた整定温度幅内に連続して一定時間以上留まっている状態をいう。
【０００８】
「制御波形」とは、温度、操作量、電流等の温度制御に関わる時系列データをいう。「制御波形」は、例えば、時間軸を横軸として、温度制御にかかわる時系列データをグラフ化することで表される。
【０００９】
「外乱」とは、制御系の状態（例えば、温度または操作量）を乱そうとする外的作用をいう。「外乱」には、例えば、周期的な外乱（周期外乱）が含まれる。周期外乱は、主に熱処理装置の処理プロセスのイベントに伴って繰り返し類似のパターンとして発生する「温度変化の原因」となる。「外乱」には、「ワークまたは薬液の投入」、「装置扉の開閉」、「目標温度変更」、「排気量またはガス圧の変更」等が含まれる。
【００１０】
本開示の一態様の異常判定方法は、
温度整定状態であるとき、または、外乱を受けたときの熱処理装置の制御波形の特徴量を取得し、
取得された前記特徴量が第１閾値を超えた場合に、前記熱処理装置が異常であると判定する。
（【００１１】以降は省略されています）

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