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公開番号2024064752
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-05-14
出願番号2022173580
出願日2022-10-28
発明の名称隔膜真空計
出願人アズビル株式会社
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類G01L 21/00 20060101AFI20240507BHJP(測定;試験)
要約【課題】隔膜真空計において、センサヘッドと計測回路とを別々に交換すること。
【解決手段】隔膜真空計10は、センサヘッド11と接続部12と処理部13とを有する。センサヘッド11は、加熱された真空チャンバー40の真空圧力を計測する。接続部12は、不揮発性メモリが設置され、センサヘッド11と処理部13とを接続するコネクタ又はケーブルを有する。処理部13は計測された真空圧力の値に対し処理を行うための計測回路を有する。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
真空圧力の計測に使用されるセンサヘッドと、
計測回路を有する処理部と、
不揮発性メモリが設置され、前記センサヘッドと前記処理部とを接続するコネクタ又はケーブルを有する接続部とを
備えることを特徴とする隔膜真空計。
続きを表示（約 460 文字）【請求項２】
前記不揮発性メモリに、前記センサヘッドの調整データが保存されている
ことを特徴とする請求項１に記載の隔膜真空計。
【請求項３】
前記接続部に変換増幅回路が設置されている
ことを特徴とする請求項１に記載の隔膜真空計。
【請求項４】
前記接続部にアナログ‐デジタル変換回路が設置されている
ことを特徴とする請求項３に記載の隔膜真空計。
【請求項５】
前記処理部に複数の前記センサヘッドを接続することができる
ことを特徴とする請求項１に記載の隔膜真空計。
【請求項６】
真空圧力の計測に使用されるセンサヘッドと、
計測回路と、外部から前記センサヘッドの調整データを取得する外部端末により、前記センサヘッドの調整データが格納された不揮発性メモリとを有する処理部と、
前記センサヘッドと前記処理部とを接続するコネクタ又はケーブルを有する接続部とを
備えることを特徴とする隔膜真空計。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、隔膜真空計に関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、半導体製造装置向けの静電容量式隔膜真空計は、加熱された真空チャンバーの真空圧力の計測が必要である。そして、真空チャンバーが加熱されることによりその周囲は高温となるため、従来技術として、耐熱性の高いセンサヘッドのみを真空チャンバー付近に設置し、耐熱性の低い計測回路はケーブルで分離され周囲温度が低い離れた場所に設置するという技術がある（例えば、特許文献1参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特願２０２１－０８３１２５
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、上記の従来技術では、センサヘッドと計測回路とは一対一で調整が必要なため、センサヘッドが故障した等の場合に、センサヘッドと計測回路とを一緒に交換する必要があり、別々に交換することができないという課題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の隔膜真空計は、真空圧力の計測に使用されるセンサヘッドと、計測回路を有する処理部と、不揮発性メモリが設置され、センサヘッドと処理部とを接続するコネクタ又はケーブルを有する接続部とを備えることを特徴とする。
【０００６】
また、本発明の隔膜真空計は、真空圧力の計測に使用されるセンサヘッドと、計測回路を有する処理部と、圧力測定部と処理部とを接続するコネクタを有する接続部と、外部からセンサヘッドの調整データを取得し、処理部に格納する格納部とを備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、センサヘッドと計測回路とを別々に交換することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
図１は、実施形態１に係る隔膜真空計の概要を示す図である。
図２は、実施形態１に係る隔膜真空計の構成を示すブロック図である。
図３は、実施形態に係る隔膜真空計のセンサヘッドが有する圧力センサの構造の具体例を示す図である。
図４は、実施形態に係る隔膜真空計におけるセンサヘッドの調整データの具体例を示す図である。
図５は、実施形態に係る隔膜真空計におけるセンサヘッドの具体例を示す図である。
図６は、実施形態１に係る隔膜真空計の具体例を示す図である。
図７は、実施形態１に係る隔膜真空計の具体例を示す図である。
図８は、実施形態１に係る隔膜真空計の具体例を示す図である。
図９は、実施形態２に係る隔膜真空計の構成を示すブロック図である。
図１０は、実施形態２に係る隔膜真空計の具体例を示す図である。
図１１は、実施形態２に係る隔膜真空計の具体例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下に、本願に係る隔膜真空計及び計測システムの実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施形態により本願に係る隔膜真空計及び計測システムが限定されるものではない。
【００１０】
［実施形態１］
以下の実施形態では、実施形態１に係る隔膜真空計１０の構成、具体例を順に説明し、最後に実施形態１による効果を説明する。
（【００１１】以降は省略されています）

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