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公開番号2024061372
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-05-07
出願番号2022169281
出願日2022-10-21
発明の名称磁気センサ、磁気ヘッド、及び、磁気記録装置
出願人株式会社東芝
代理人弁理士法人iX
主分類G11B 5/39 20060101AFI20240425BHJP(情報記憶)
要約【課題】感度の向上が可能な磁気センサ、磁気ヘッド及び磁気記録装置を提供する。
【解決手段】磁気センサ70Aにおいて、第1磁性層11は、第1シールド41と第2シールド42との間に設けられ、第3シールド43と第4シールド44との間にある。第1磁性層は、第1面11a及び第2面11bを含む。第1面は、第1シールドと第2面との間にある。第1導電層21は、第3シールドと第1磁性層との間に設けられ、非磁性である。第2導電層22は、第1磁性層と第4シールドとの間に設けられ、非磁性である。第1中間層61は、第1シールドと第1磁性層との間に設けられ、非磁性で導電性である。第1中間層61は、第1面に対向する第1中間層面61fを含む。第1中間層面の面積は、第1面の面積よりも小さい。第2中間層62は、第1磁性層と第2シールドとの間に設けられ、非磁性で導電性である。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
第１シールドと、
第２シールドと、
第３シールドと、
第４シールドであって、前記第３シールドから前記第４シールドへの第２方向は、前記第１シールドから前記第２シールドへの第１方向と交差した、前記第４シールドと、
前記第１シールドと前記第２シールドとの間に設けられた第１磁性層であって、前記第１磁性層は、前記第３シールドと前記第４シールドとの間にあり、前記第１磁性層は、第１面及び第２面を含み、前記第１面は、前記第１シールドと前記第２面との間にある、前記第１磁性層と、
前記第３シールドと前記第１磁性層との間に設けられた非磁性の第１導電層と、
前記第１磁性層と前記第４シールドとの間に設けられた非磁性の第２導電層と、
前記第１シールドと前記第１磁性層との間に設けられた非磁性で導電性の第１中間層であって、前記第１中間層は、前記第１面に対向する第１中間層面を含み、前記第１中間層面の面積は、前記第１面の面積よりも小さい、前記第１中間層と、
前記第１磁性層と前記第２シールドとの間に設けられた非磁性で導電性の第２中間層と、
を備えた磁気センサ。
続きを表示（約 1,000 文字）【請求項２】
前記第１シールドと電気的に接続された第１端子と、
前記第２シールドと電気的に接続された第２端子と、
前記第３シールドと電気的に接続された第３端子と、
前記第４シールドと電気的に接続された第４端子と、
をさらに備えた、請求項１に記載の磁気センサ。
【請求項３】
前記第３端子と前記第４端子との間に第１電流が流れたときの前記第１端子と前記第２端子との間の電圧は、検出対象磁界に応じて変化可能である、請求項２に記載の磁気センサ。
【請求項４】
前記第３シールドは、前記第１方向において前記第１シールドの一部と前記第２シールドの一部との間に設けられ、
前記第４シールドは、前記第１方向において前記第１シールドの別の一部と前記第２シールドの別の一部との間に設けられた、請求項１に記載の磁気センサ。
【請求項５】
第１絶縁部材をさらに備え、
前記第１絶縁部材は、第１領域及び第２領域を含み、
前記第１領域は、前記第１シールドと前記第３シールドとの間、及び、前記第１シールドと前記第１磁性層の一部との間に設けられ、
前記第２領域は、前記第１シールドと前記第４シールドとの間、及び、前記第１シールドと前記第１磁性層の別の一部との間に設けられた、請求項４に記載の磁気センサ。
【請求項６】
前記第１シールドは、前記第２方向において前記第３シールドの一部と前記第４シールドの一部との間に設けられ、
前記第２シールドは、前記第２方向において前記第３シールドの別の一部と前記第４シールドの別の一部との間に設けられた、請求項１に記載の磁気センサ。
【請求項７】
前記第１磁性層は、Ｃｏ
２
ＭｎＧａ、ＣｏＭｎＡｌ及びＦｅＰｔよりなる群から選択された少なくとも１つを含む、請求項１に記載の磁気センサ。
【請求項８】
前記第１中間層は、前記第１方向に沿って延びる第１孔を含む、請求項１に記載の磁気センサ。
【請求項９】
請求項１～８のいずれか１つに記載の磁気センサを備えた、磁気ヘッド。
【請求項１０】
請求項９に記載の磁気ヘッドと、
磁気記録媒体と、
を備え、
前記磁気センサは、前記磁気記録媒体に記録された情報を再生可能である、磁気記録装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、磁気センサ、磁気ヘッド、及び、磁気記録装置に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
磁性層を用いた磁気センサがある。磁気センサを含む磁気ヘッドを用いて、ＨＤＤ（Hard Disk Drive）などの磁気記録媒体に情報が記録される。磁気センサにおいて、分解能の向上が望まれる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
米国特許第７５７６９４８号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の実施形態は、感度の向上が可能な磁気センサ、磁気ヘッド、及び、磁気記録装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
実施形態によれば、磁気センサは、第１シールド、第２シールド、第３シールド、第４シールド、第１磁性層、第１導電層、第２導電層、第１中間層及び第２中間層を含む。前記第３シールドから前記第４シールドへの第２方向は、前記第１シールドから前記第２シールドへの第１方向と交差する。前記第１磁性層は、前記第１シールドと前記第２シールドとの間に設けられる。前記第１磁性層は、前記第３シールドと前記第４シールドとの間にある。前記第１磁性層は、第１面及び第２面を含む。前記第１面は、前記第１シールドと前記第２面との間にある。前記第１導電層は、前記第３シールドと前記第１磁性層との間に設けられ、非磁性である。前記第２導電層は、前記第１磁性層と前記第４シールドとの間に設けられ、非磁性である。前記第１中間層は、前記第１シールドと前記第１磁性層との間に設けられ、非磁性で導電性である。前記第１中間層は、前記第１面に対向する第１中間層面を含む。前記第１中間層面の面積は、前記第１面の面積よりも小さい。前記第２中間層は、前記第１磁性層と前記第２シールドとの間に設けられ、非磁性で導電性である。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
図１（ａ）及び図１（ｂ）は、第１実施形態に係る磁気センサを例示する模式的断面図である。
図２（ａ）及び図２（ｂ）は、第１実施形態に係る磁気センサを例示する模式的断面図である。
図３（ａ）及び図３（ｂ）は、第１実施形態に係る磁気センサを例示する模式的断面図である。
図４（ａ）及び図４（ｂ）は、第１実施形態に係る磁気センサを例示する模式的断面図である。
図５は、第２実施形態に係る磁気ヘッド及び磁気記録装置を例示する模式的斜視図である。
図６は、実施形態に係る磁気記録装置の一部を例示する模式的斜視図である。
図７は、実施形態に係る磁気記録装置を例示する模式的斜視図である。
図８（ａ）及び図８（ｂ）は、実施形態に係る磁気記録装置の一部を例示する模式的斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
以下に、本発明の各実施の形態について図面を参照しつつ説明する。
図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚さと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
【０００８】
（第１実施形態）
図１（ａ）及び図１（ｂ）は、第１実施形態に係る磁気センサを例示する模式的断面図である。
図１（ａ）に示すように、実施形態に係る磁気センサ７０Ａは、第１シールド４１、第２シールド４２、第３シールド４３、第４シールド４４、第１磁性層１１、第１導電層２１、第２導電層２２、第１中間層６１及び第２中間層６２を含む。
【０００９】
第３シールド４３から第４シールド４４への第２方向Ｄ２は、第１シールド４１から第２シールド４２への第１方向Ｄ１と交差する。
【００１０】
この例では、第１方向Ｄ１をＸ軸方向とする。Ｘ軸方向に対して垂直な１つの方向をＹ軸方向とする。Ｘ軸方向及びＹ軸方向に対して垂直な方向をＺ軸方向とする。第２方向Ｄ２は、例えば、Ｙ軸方向である。
（【００１１】以降は省略されています）

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