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公開番号2024061371
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-05-07
出願番号2022169280
出願日2022-10-21
発明の名称磁気センサ、磁気ヘッド、及び、磁気記録装置
出願人株式会社東芝
代理人弁理士法人iX
主分類G11B 5/39 20060101AFI20240425BHJP(情報記憶)
要約【課題】分解能を向上させる磁気センサ、磁気ヘッド及び磁気記録装置を提供する。
【解決手段】磁気センサ70Aは、第1シールド41～第6シールド46、第1、第2磁性層11、12及び第1部材31を含む。第1磁性層11は、第3シールド43と第4シールド44の間にある。第2磁性層12は、第1磁性層11と第2シールド42の間にあり、第5シールド45と第6シールド46の間にある。第2磁性層12は、第5シールド45と第6シールド46とに電気的に接続される。第1部材31は、第1領域31aと第2領域31bを含む。第1領域31aは、第3シールド43と第1磁性層11の間に設けられる。第2領域31bは、第1磁性層11と第4シールド44の間に設けられる。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
第１シールドと、
第２シールドと、
前記第１シールドと前記第２シールドとの間に設けられた第３シールドと、
前記第１シールドと前記第２シールドとの間に設けられた第４シールドであって、前記第３シールドから前記第４シールドへの第２方向は、前記第１シールドから前記第２シールドへの第１方向と交差した、前記第４シールドと、
前記第３シールドと前記第２シールドとの間に設けられた第５シールドと、
前記第４シールドと前記第２シールドとの間に設けられた第６シールドであって、前記第５シールドから前記第６シールドへの方向は前記第２方向に沿う、前記第６シールドと、
前記第１シールドと前記第２シールドとの間に設けられた第１磁性層であって、前記第１磁性層は、前記第２方向において前記第３シールドと前記第４シールドとの間にある、前記第１磁性層と、
前記第１磁性層と前記第２シールドとの間に設けられた第２磁性層であって、前記第２磁性層は、前記第２方向において前記第５シールドと前記第６シールドとの間にあり、前記第２磁性層は、前記第５シールド及び前記第６シールドと電気に接続された、前記第２磁性層と、
第１部材であって、前記第１部材は、第１領域及び第２領域を含み、前記第１領域は、前記第３シールドと前記第１磁性層との間に設けられ、前記第２領域は、前記第１磁性層と前記第４シールドとの間に設けられた、前記第１部材と、
前記第５シールドと電気的に接続された第１端子と、
前記第６シールドと電気的に接続された第２端子と、
前記第１磁性層と電気的に接続された第３端子と、
前記第２磁性層と電気的に接続された第４端子と、
を備えた磁気センサ。
続きを表示（約 1,700 文字）【請求項２】
前記第１端子と前記第２端子との間に第１電流が流れたときの前記第３端子と前記第４端子との間の電圧は、検出対象磁界に応じて変化可能である、請求項１に記載の磁気センサ。
【請求項３】
前記第５シールドと前記第２磁性層との間に設けられ前記第５シールド及び前記第２磁性層と電気的に接続された非磁性の第１導電領域と、
前記第２磁性層と前記第６シールドとの間に設けられ前記第２磁性層及び前記第６シールドと電気的に接続された非磁性の第２導電領域と、
をさらに備え、
前記第１領域における第１元素の濃度は、前記第１導電領域における前記第１元素の濃度よりも高く、前記第２領域における前記第１元素の濃度は、前記第２導電領域における前記第１元素の濃度よりも高い、または、前記第１導電領域及び前記第２導電領域は前記第１元素を含まず、前記第１元素は、酸素及び窒素よりなる群から選択された少なくとも１つを含む、請求項１に記載の磁気センサ。
【請求項４】
前記第１導電領域及び前記第２導電領域の少なくともいずれかは、Ａｕ、Ｔａ、Ｐｔ、Ｒｕ、Ｈｆ、Ｗ、Ｍｏ、Ｉｒ、Ｃｒ、Ｔｂ及びＲｈよりなる群から選択された少なくとも１つを含む、請求項３に記載の磁気センサ。
【請求項５】
前記第１磁性層は、前記第２磁性層と反強磁性結合した、請求項１に記載の磁気センサ。
【請求項６】
前記第２磁性層は、ＣｏＭｎＧａ、ＣｏＭｎＡｌ及びＦｅＰｔよりなる群から選択された少なくとも１つを含む、請求項１に記載の磁気センサ。
【請求項７】
前記第１磁性層の前記第１方向に沿う第１磁性層厚さは、前記第２磁性層の前記第１方向に沿う第２磁性層厚さよりも薄い、請求項１に記載の磁気センサ。
【請求項８】
第１シールドと、
第２シールドと、
前記第１シールドと前記第２シールドとの間に設けられた第３シールドと、
前記第１シールドと前記第２シールドとの間に設けられた第４シールドであって、前記第３シールドから前記第４シールドへの第２方向は、前記第１シールドから前記第２シールドへの第１方向と交差した、前記第４シールドと、
前記第３シールドと前記第２シールドとの間に設けられた第５シールドと、
前記第４シールドと前記第２シールドとの間に設けられた第６シールドであって、前記第５シールドから前記第６シールドへの方向は前記第２方向に沿う、前記第６シールドと、
前記第１シールドと前記第２シールドとの間に設けられた第１磁性層であって、前記第１磁性層は、前記第２方向において前記第３シールドと前記第４シールドとの間にある、前記第１磁性層と、
前記第１磁性層と前記第２シールドとの間に設けられた第２磁性層であって、前記第２磁性層は、前記第２方向において前記第５シールドと前記第６シールドとの間にあり、前記第２磁性層は、前記第５シールド及び前記第６シールドと電気に接続された、前記第２磁性層は前記第１磁性層と反強磁性結合した、前記第２磁性層と、
第１部材であって、前記第１部材は、第１領域及び第２領域を含み、前記第１領域は、前記第３シールドと前記第１磁性層との間に設けられ、前記第２領域は、前記第１磁性層と前記第４シールドとの間に設けられた、前記第１部材と、
前記第５シールドと電気的に接続された第１端子と、
前記第６シールドと電気的に接続された第２端子と、
前記第１磁性層と電気的に接続された第３端子と、
前記第２磁性層と電気的に接続された第４端子と、
を備えた磁気センサ。
【請求項９】
請求項１～８のいずれか１つに記載の磁気センサを備えた、磁気ヘッド。
【請求項１０】
請求項９に記載の磁気ヘッドと、
磁気記録媒体と、
を備え、
前記磁気センサは、前記磁気記録媒体に記録された情報を再生可能である、磁気記録装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、磁気センサ、磁気ヘッド、及び、磁気記録装置に関する。
続きを表示（約 2,100 文字）【背景技術】
【０００２】
磁性層を用いた磁気センサがある。磁気センサを含む磁気ヘッドを用いて、ＨＤＤ（Hard Disk Drive）などの磁気記録媒体に情報が記録される。磁気センサにおいて、分解能の向上が望まれる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
米国特許第７５７６９４８号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の実施形態は、分解能の向上が可能な磁気センサ、磁気ヘッド、及び、磁気記録装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
実施形態によれば、磁気センサは、第１シールド、第２シールド、第３シールド、第４シールド、第５シールド、第６シールド、第１磁性層、第２磁性層、第１部材、第１端子、第２端子、第３端子及び第４端子を含む。前記第３シールドは、前記第１シールドと前記第２シールドとの間に設けられる。前記第４シールドは、前記第１シールドと前記第２シールドとの間に設けられる。前記第３シールドから前記第４シールドへの第２方向は、前記第１シールドから前記第２シールドへの第１方向と交差する。前記第５シールドは、前記第３シールドと前記第２シールドとの間に設けられる。前記第６シールドは、前記第４シールドと前記第２シールドとの間に設けられる。前記第５シールドから前記第６シールドへの方向は前記第２方向に沿う。前記第１磁性層は、前記第１シールドと前記第２シールドとの間に設けられる。前記第１磁性層は、前記第２方向において前記第３シールドと前記第４シールドとの間にある。前記第２磁性層は、前記第１磁性層と前記第２シールドとの間に設けられる。前記第２磁性層は、前記第２方向において前記第５シールドと前記第６シールドとの間にある。前記第２磁性層は、前記第５シールド及び前記第６シールドと電気に接続される。前記第１部材は、第１領域及び第２領域を含む。前記第１領域は、前記第３シールドと前記第１磁性層との間に設けられる。前記第２領域は、前記第１磁性層と前記第４シールドとの間に設けられる。前記第１端子は、前記第５シールドと電気的に接続される。前記第２端子は、前記第６シールドと電気的に接続される。前記第３端子は、前記第１磁性層と電気的に接続される。前記第４端子は、前記第２磁性層と電気的に接続される。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
図１は、第１実施形態に係る磁気センサを例示する模式的断面図である。
図２は、第１実施形態に係る磁気センサを例示する模式的断面図である。
図３は、第１実施形態に係る磁気センサを例示する模式的断面図である。
図４は、第２実施形態に係る磁気ヘッド及び磁気記録装置を例示する模式的斜視図である。
図５は、実施形態に係る磁気記録装置の一部を例示する模式的斜視図である。
図６は、実施形態に係る磁気記録装置を例示する模式的斜視図である。
図７（ａ）及び図７（ｂ）は、実施形態に係る磁気記録装置の一部を例示する模式的斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
以下に、本発明の各実施の形態について図面を参照しつつ説明する。
図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚さと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
【０００８】
（第１実施形態）
図１及び図２は、第１実施形態に係る磁気センサを例示する模式的断面図である。
図１に示すように、実施形態に係る磁気センサ７０Ａは、第１シールド４１、第２シールド４２、第３シールド４３、第４シールド４４、第５シールド４５、第６シールド４６、第１磁性層１１、第２磁性層１２、第１部材３１、第１端子５１、第２端子５２、第３端子５３及び第４端子５４を含む。この例では、磁気センサ７０Ａは、第１導電領域２１及び第２導電領域２２を含む。
【０００９】
第３シールド４３は、第１シールド４１と第２シールド４２との間に設けられる。第４シールド４４は、第１シールド４１と第２シールド４２との間に設けられる。第３シールド４３から第４シールド４４への第２方向Ｄ２は、第１シールド４１から第２シールド４２への第１方向Ｄ１と交差する。
【００１０】
第１方向Ｄ１をＸ軸方向とする。Ｘ軸方向に対して垂直な１つの方向をＹ軸方向とする。Ｘ軸方向及びＹ軸方向に対して垂直な方向をＺ軸方向とする。第２方向Ｄ２は、例えば、Ｙ軸方向である。
（【００１１】以降は省略されています）

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