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公開番号2024061371
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-05-07
出願番号2022169280
出願日2022-10-21
発明の名称磁気センサ、磁気ヘッド、及び、磁気記録装置
出願人株式会社東芝
代理人弁理士法人iX
主分類G11B 5/39 20060101AFI20240425BHJP(情報記憶)
要約【課題】分解能を向上させる磁気センサ、磁気ヘッド及び磁気記録装置を提供する。
【解決手段】磁気センサ70Aは、第1シールド41~第6シールド46、第1、第2磁性層11、12及び第1部材31を含む。第1磁性層11は、第3シールド43と第4シールド44の間にある。第2磁性層12は、第1磁性層11と第2シールド42の間にあり、第5シールド45と第6シールド46の間にある。第2磁性層12は、第5シールド45と第6シールド46とに電気的に接続される。第1部材31は、第1領域31aと第2領域31bを含む。第1領域31aは、第3シールド43と第1磁性層11の間に設けられる。第2領域31bは、第1磁性層11と第4シールド44の間に設けられる。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項1】
第1シールドと、
第2シールドと、
前記第1シールドと前記第2シールドとの間に設けられた第3シールドと、
前記第1シールドと前記第2シールドとの間に設けられた第4シールドであって、前記第3シールドから前記第4シールドへの第2方向は、前記第1シールドから前記第2シールドへの第1方向と交差した、前記第4シールドと、
前記第3シールドと前記第2シールドとの間に設けられた第5シールドと、
前記第4シールドと前記第2シールドとの間に設けられた第6シールドであって、前記第5シールドから前記第6シールドへの方向は前記第2方向に沿う、前記第6シールドと、
前記第1シールドと前記第2シールドとの間に設けられた第1磁性層であって、前記第1磁性層は、前記第2方向において前記第3シールドと前記第4シールドとの間にある、前記第1磁性層と、
前記第1磁性層と前記第2シールドとの間に設けられた第2磁性層であって、前記第2磁性層は、前記第2方向において前記第5シールドと前記第6シールドとの間にあり、前記第2磁性層は、前記第5シールド及び前記第6シールドと電気に接続された、前記第2磁性層と、
第1部材であって、前記第1部材は、第1領域及び第2領域を含み、前記第1領域は、前記第3シールドと前記第1磁性層との間に設けられ、前記第2領域は、前記第1磁性層と前記第4シールドとの間に設けられた、前記第1部材と、
前記第5シールドと電気的に接続された第1端子と、
前記第6シールドと電気的に接続された第2端子と、
前記第1磁性層と電気的に接続された第3端子と、
前記第2磁性層と電気的に接続された第4端子と、
を備えた磁気センサ。
続きを表示(約 1,700 文字)【請求項2】
前記第1端子と前記第2端子との間に第1電流が流れたときの前記第3端子と前記第4端子との間の電圧は、検出対象磁界に応じて変化可能である、請求項1に記載の磁気センサ。
【請求項3】
前記第5シールドと前記第2磁性層との間に設けられ前記第5シールド及び前記第2磁性層と電気的に接続された非磁性の第1導電領域と、
前記第2磁性層と前記第6シールドとの間に設けられ前記第2磁性層及び前記第6シールドと電気的に接続された非磁性の第2導電領域と、
をさらに備え、
前記第1領域における第1元素の濃度は、前記第1導電領域における前記第1元素の濃度よりも高く、前記第2領域における前記第1元素の濃度は、前記第2導電領域における前記第1元素の濃度よりも高い、または、前記第1導電領域及び前記第2導電領域は前記第1元素を含まず、前記第1元素は、酸素及び窒素よりなる群から選択された少なくとも1つを含む、請求項1に記載の磁気センサ。
【請求項4】
前記第1導電領域及び前記第2導電領域の少なくともいずれかは、Au、Ta、Pt、Ru、Hf、W、Mo、Ir、Cr、Tb及びRhよりなる群から選択された少なくとも1つを含む、請求項3に記載の磁気センサ。
【請求項5】
前記第1磁性層は、前記第2磁性層と反強磁性結合した、請求項1に記載の磁気センサ。
【請求項6】
前記第2磁性層は、CoMnGa、CoMnAl及びFePtよりなる群から選択された少なくとも1つを含む、請求項1に記載の磁気センサ。
【請求項7】
前記第1磁性層の前記第1方向に沿う第1磁性層厚さは、前記第2磁性層の前記第1方向に沿う第2磁性層厚さよりも薄い、請求項1に記載の磁気センサ。
【請求項8】
第1シールドと、
第2シールドと、
前記第1シールドと前記第2シールドとの間に設けられた第3シールドと、
前記第1シールドと前記第2シールドとの間に設けられた第4シールドであって、前記第3シールドから前記第4シールドへの第2方向は、前記第1シールドから前記第2シールドへの第1方向と交差した、前記第4シールドと、
前記第3シールドと前記第2シールドとの間に設けられた第5シールドと、
前記第4シールドと前記第2シールドとの間に設けられた第6シールドであって、前記第5シールドから前記第6シールドへの方向は前記第2方向に沿う、前記第6シールドと、
前記第1シールドと前記第2シールドとの間に設けられた第1磁性層であって、前記第1磁性層は、前記第2方向において前記第3シールドと前記第4シールドとの間にある、前記第1磁性層と、
前記第1磁性層と前記第2シールドとの間に設けられた第2磁性層であって、前記第2磁性層は、前記第2方向において前記第5シールドと前記第6シールドとの間にあり、前記第2磁性層は、前記第5シールド及び前記第6シールドと電気に接続された、前記第2磁性層は前記第1磁性層と反強磁性結合した、前記第2磁性層と、
第1部材であって、前記第1部材は、第1領域及び第2領域を含み、前記第1領域は、前記第3シールドと前記第1磁性層との間に設けられ、前記第2領域は、前記第1磁性層と前記第4シールドとの間に設けられた、前記第1部材と、
前記第5シールドと電気的に接続された第1端子と、
前記第6シールドと電気的に接続された第2端子と、
前記第1磁性層と電気的に接続された第3端子と、
前記第2磁性層と電気的に接続された第4端子と、
を備えた磁気センサ。
【請求項9】
請求項1~8のいずれか1つに記載の磁気センサを備えた、磁気ヘッド。
【請求項10】
請求項9に記載の磁気ヘッドと、
磁気記録媒体と、
を備え、
前記磁気センサは、前記磁気記録媒体に記録された情報を再生可能である、磁気記録装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【0001】
本発明の実施形態は、磁気センサ、磁気ヘッド、及び、磁気記録装置に関する。
続きを表示(約 2,100 文字)【背景技術】
【0002】
磁性層を用いた磁気センサがある。磁気センサを含む磁気ヘッドを用いて、HDD(Hard Disk Drive)などの磁気記録媒体に情報が記録される。磁気センサにおいて、分解能の向上が望まれる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
米国特許第7576948号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
本発明の実施形態は、分解能の向上が可能な磁気センサ、磁気ヘッド、及び、磁気記録装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【0005】
実施形態によれば、磁気センサは、第1シールド、第2シールド、第3シールド、第4シールド、第5シールド、第6シールド、第1磁性層、第2磁性層、第1部材、第1端子、第2端子、第3端子及び第4端子を含む。前記第3シールドは、前記第1シールドと前記第2シールドとの間に設けられる。前記第4シールドは、前記第1シールドと前記第2シールドとの間に設けられる。前記第3シールドから前記第4シールドへの第2方向は、前記第1シールドから前記第2シールドへの第1方向と交差する。前記第5シールドは、前記第3シールドと前記第2シールドとの間に設けられる。前記第6シールドは、前記第4シールドと前記第2シールドとの間に設けられる。前記第5シールドから前記第6シールドへの方向は前記第2方向に沿う。前記第1磁性層は、前記第1シールドと前記第2シールドとの間に設けられる。前記第1磁性層は、前記第2方向において前記第3シールドと前記第4シールドとの間にある。前記第2磁性層は、前記第1磁性層と前記第2シールドとの間に設けられる。前記第2磁性層は、前記第2方向において前記第5シールドと前記第6シールドとの間にある。前記第2磁性層は、前記第5シールド及び前記第6シールドと電気に接続される。前記第1部材は、第1領域及び第2領域を含む。前記第1領域は、前記第3シールドと前記第1磁性層との間に設けられる。前記第2領域は、前記第1磁性層と前記第4シールドとの間に設けられる。前記第1端子は、前記第5シールドと電気的に接続される。前記第2端子は、前記第6シールドと電気的に接続される。前記第3端子は、前記第1磁性層と電気的に接続される。前記第4端子は、前記第2磁性層と電気的に接続される。
【図面の簡単な説明】
【0006】
図1は、第1実施形態に係る磁気センサを例示する模式的断面図である。
図2は、第1実施形態に係る磁気センサを例示する模式的断面図である。
図3は、第1実施形態に係る磁気センサを例示する模式的断面図である。
図4は、第2実施形態に係る磁気ヘッド及び磁気記録装置を例示する模式的斜視図である。
図5は、実施形態に係る磁気記録装置の一部を例示する模式的斜視図である。
図6は、実施形態に係る磁気記録装置を例示する模式的斜視図である。
図7(a)及び図7(b)は、実施形態に係る磁気記録装置の一部を例示する模式的斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【0007】
以下に、本発明の各実施の形態について図面を参照しつつ説明する。
図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚さと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
【0008】
(第1実施形態)
図1及び図2は、第1実施形態に係る磁気センサを例示する模式的断面図である。
図1に示すように、実施形態に係る磁気センサ70Aは、第1シールド41、第2シールド42、第3シールド43、第4シールド44、第5シールド45、第6シールド46、第1磁性層11、第2磁性層12、第1部材31、第1端子51、第2端子52、第3端子53及び第4端子54を含む。この例では、磁気センサ70Aは、第1導電領域21及び第2導電領域22を含む。
【0009】
第3シールド43は、第1シールド41と第2シールド42との間に設けられる。第4シールド44は、第1シールド41と第2シールド42との間に設けられる。第3シールド43から第4シールド44への第2方向D2は、第1シールド41から第2シールド42への第1方向D1と交差する。
【0010】
第1方向D1をX軸方向とする。X軸方向に対して垂直な1つの方向をY軸方向とする。X軸方向及びY軸方向に対して垂直な方向をZ軸方向とする。第2方向D2は、例えば、Y軸方向である。
(【0011】以降は省略されています)

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