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公開番号2024058932
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-04-30
出願番号2022166349
出願日2022-10-17
発明の名称質量測定方法及び質量測定装置
出願人株式会社荏原製作所
代理人弁理士法人インターブレイン
主分類G01N 5/02 20060101AFI20240422BHJP(測定;試験)
要約【課題】微量な磁性粉の質量測定に適した新たな技術を提供する。
【解決手段】測定装置20は、ドライポンプの軸受に封入されている潤滑油に含まれる磁性粉の質量を測定する。この測定装置20は、潤滑油を含む分散媒が導入される測定セル24を有する水晶振動子22と、水晶振動子22を振動させる交流電圧が印加される金電極22bと、水晶振動子22の共振周波数を測定する測定部と、測定セル24に磁界を発生させる磁界発生部と、を備える。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
ドライポンプの軸受に封入されている潤滑油に含まれる磁性粉の質量を測定する質量測定方法であって、
水晶振動子の測定セルに前記潤滑油を含む分散媒を導入する工程と、
前記測定セルに前記分散媒がある状態で前記水晶振動子の電極に交流電圧を印加し、前記水晶振動子の第１の共振周波数を測定する第１の測定工程と、
前記第１の測定工程の後に、前記水晶振動子の電極に交流電圧を印加しかつ前記測定セルに磁界を印加し、前記水晶振動子の第２の共振周波数を測定する工程と、
を含むことを特徴とする質量測定方法。
続きを表示（約 830 文字）【請求項２】
前記第１の共振周波数と前記第２の共振周波数とに基づいて前記水晶振動子の表面に吸着した磁性粉の質量を演算する工程を更に含むことを特徴とする請求項１に記載の質量測定方法。
【請求項３】
ドライポンプの軸受に封入されている潤滑油に含まれる磁性粉の質量を測定する質量測定装置であって、
前記潤滑油を含む分散媒が導入される測定セルを有する水晶振動子と、
前記水晶振動子を振動させる交流電圧が印加される電極と、
前記水晶振動子の共振周波数を測定する測定部と、
前記測定セルに磁界を発生させる磁界発生部と、
を備えることを特徴とする質量測定装置。
【請求項４】
前記測定部で測定した共振周波数の変化から前記水晶振動子の表面に吸着した磁性粉の質量を演算する演算部を更に備えることを特徴とする請求項３に記載の質量測定装置。
【請求項５】
磁性粉の質量を測定する質量測定方法であって、
水晶振動子の測定セルに前記磁性粉を含む分散媒を導入する工程と、
前記測定セルに前記分散媒がある状態で前記水晶振動子の電極に交流電圧を印加し、前記水晶振動子の第１の共振周波数を測定する第１の測定工程と、
前記第１の測定工程の後に、前記水晶振動子の電極に交流電圧を印加しかつ前記測定セルに磁界を印加し、前記水晶振動子の第２の共振周波数を測定する工程と、
を含むことを特徴とする質量測定方法。
【請求項６】
磁性粉の質量を測定する質量測定装置であって、
前記磁性粉を含む分散媒が導入される測定セルを有する水晶振動子と、
前記水晶振動子を振動させる交流電圧が印加される電極と、
前記水晶振動子の共振周波数を測定する測定部と、
前記測定セルに磁界を発生させる磁界発生部と、
を備えることを特徴とする質量測定装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、質量測定方法及び質量測定装置に関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体デバイス、液晶パネル、ＬＥＤ、太陽電池等を製造する製造プロセスにおいては、プロセスガスをプロセスチャンバ内に導入してエッチング処理やＣＶＤ処理等の各種処理を行っている。プロセスチャンバに導入されたプロセスガスは、真空ポンプ装置によって排気される。一般に、高い清浄度が必要とされるこれらの製造プロセスに使用される真空ポンプ装置は、気体の流路内にオイルを使用しない、いわゆるドライ真空ポンプ装置である。このようなドライ真空ポンプ装置の代表例として、ロータ室内に配置された一対のポンプロータを互いに反対方向に回転させて、気体を移送する容積式真空ポンプ装置が知られている（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２１－６３４７２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述の真空ポンプ装置では、一対のポンプロータの回転軸を回転可能に支持する軸受が設けられている。このような軸受は、長期間の使用により各部が摩耗するため寿命がある。そのため、装置のオーバーホールの際に軸受ごと交換することが多い。
【０００５】
しかしながら、軸受によっては必ずしも交換の必要がないものもあり、交換が必要な軸受を判別できれば、そのまま再利用することでメンテナンスコストの削減が期待できる。そこで、軸受各部の摩耗によって生じる摩耗粉の質量を測定できれば、その軸受の寿命まで残りがあとどのくらいか推定できる。
【０００６】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、その目的の一つは、微量な磁性粉の質量測定に適した新たな技術を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明のある態様の質量測定方法は、ドライポンプの軸受に封入されている潤滑油に含まれる磁性粉の質量を測定する質量測定方法であって、水晶振動子の測定セルに潤滑油を含む分散媒を導入する工程と、測定セルに分散媒がある状態で水晶振動子の電極に交流電圧を印加し、水晶振動子の第１の共振周波数を測定する第１の測定工程と、第１の測定工程の後に、水晶振動子の電極に交流電圧を印加しかつ測定セルに磁界を印加し、水晶振動子の第２の共振周波数を測定する工程と、を含む。
【０００８】
本発明の別の態様は、質量測定装置である。この装置は、ドライポンプの軸受に封入されている潤滑油に含まれる磁性粉の質量を測定する質量測定装置であって、潤滑油を含む分散媒が導入される測定セルを有する水晶振動子と、水晶振動子を振動させる交流電圧が印加される電極と、水晶振動子の共振周波数を測定する測定部と、測定セルに磁界を発生させる磁界発生部と、を備える。
【０００９】
本発明の更に別の態様は、質量測定方法である。この方法は、磁性粉の質量を測定する質量測定方法であって、水晶振動子の測定セルに磁性粉を含む分散媒を導入する工程と、測定セルに分散媒がある状態で水晶振動子の電極に交流電圧を印加し、水晶振動子の第１の共振周波数を測定する第１の測定工程と、第１の測定工程の後に、水晶振動子の電極に交流電圧を印加しかつ測定セルに磁界を印加し、水晶振動子の第２の共振周波数を測定する工程と、を含む。
【００１０】
本発明の更に別の態様は、質量測定装置である。この装置は、磁性粉の質量を測定する質量測定装置であって、磁性粉を含む分散媒が導入される測定セルを有する水晶振動子と、水晶振動子を振動させる交流電圧が印加される電極と、水晶振動子の共振周波数を測定する測定部と、測定セルに磁界を発生させる磁界発生部と、を備える。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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