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公開番号2024058329
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-04-25
出願番号2022165616
出願日2022-10-14
発明の名称固体撮像素子パッケージ製造方法
出願人株式会社カネカ
代理人個人,個人
主分類H01L 27/146 20060101AFI20240418BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】信頼性が高い固体撮像素子パッケージを提供すること。
【解決手段】本発明の一態様に係る固体撮像素子パッケージ製造方法は、撮像を行う機能部および前記機能部を取り囲むマージン部を有する固体撮像素子と、前記マージン部に配設される枠状のフレームと、前記機能部を覆うよう前記フレームに固定される透明基板と、を備える固体撮像素子パッケージを製造する方法であって、前記固体撮像素子および前記透明基板のうちの一方に、感光性樹脂組成物の積層および露光による樹脂層の形成を2回以上繰り返すことにより複数の樹脂層を有する前記フレームを形成する工程と、前記フレームに前記固体撮像素子および前記透明基板の他方を接着する工程と、を備え、前記フレームを形成する工程において、前記複数の樹脂層のうちの少なくとも1つの樹脂層の積層直後の露光量を、前記複数の樹脂層のうちの他の樹脂層の積層直後の露光量と異ならせる。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項1】
撮像を行う機能部および前記機能部を取り囲むマージン部を有する固体撮像素子と、前記マージン部に配設される枠状のフレームと、前記機能部を覆うよう前記フレームに固定される透明基板と、を備える固体撮像素子パッケージを製造する方法であって、
前記固体撮像素子および前記透明基板のうちの一方に、感光性樹脂組成物の積層および露光による樹脂層の形成を2回以上繰り返すことにより複数の樹脂層を有する前記フレームを形成する工程と、
前記フレームに前記固体撮像素子および前記透明基板の他方を接着する工程と、
を備え、
前記フレームを形成する工程において、前記複数の樹脂層のうちの少なくとも1つの樹脂層の積層直後の露光量を、前記複数の樹脂層のうちの他の樹脂層の積層直後の露光量と異ならせる、固体撮像素子パッケージ製造方法。
続きを表示(約 410 文字)【請求項2】
前記フレームを形成する工程において、前記複数の樹脂層のうちの最後の樹脂層の積層直後の露光量を、前記複数の樹脂層のうちの他の樹脂層の積層直後の露光量と異ならせる、請求項1に記載の固体撮像素子パッケージ製造方法。
【請求項3】
前記フレームを形成する工程において、前記最後の樹脂層の積層直後の露光量を、前記他の樹脂層の積層直後の露光量よりも小さくする、請求項2に記載の固体撮像素子パッケージ製造方法。
【請求項4】
前記最後の樹脂層の積層直後の露光量は、前記感光性樹脂組成物をBステージ状態に留める露光量である、請求項2に記載の固体撮像素子パッケージ製造方法。
【請求項5】
前記複数の樹脂層のうちの少なくとも1つの樹脂層の積層直後の露光量は、前記感光性樹脂組成物をBステージ状態に留める露光量である、請求項1に記載の固体撮像素子パッケージ製造方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【0001】
本発明は、固体撮像素子パッケージ製造方法に関する。
続きを表示(約 1,300 文字)【背景技術】
【0002】
固体撮像素子を実装した基板に固体撮像素子を取り囲む枠状のフレームを接着し、フレームの開口をガラス板等で覆った固体撮像素子パッケージが利用されている(例えば特許文献1参照)。フレームは、側方からの光が固体撮像素子入射することにより生じるゴースト等の画像品質の低下を防止する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
特開2004-296453号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
例えば撮像素子に直接カバーガラスを取り付ける、Glass on Chip (GoC)構造のような固体撮像素子パッケージの小型化および高精細化に対する要求は日々高まっている。しかしながら、フレームの小型化による接着面積の減少により、フレームが個体撮像素子および基板から剥離しやすくなるという不都合が生じ得る。このため、本発明は、信頼性が高い固体撮像素子パッケージを製造できる方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【0005】
本発明の一態様に係る固体撮像素子パッケージ製造方法は、撮像を行う機能部および前記機能部を取り囲むマージン部を有する固体撮像素子と、前記マージン部に配設される枠状のフレームと、前記機能部を覆うよう前記フレームに固定される透明基板と、を備える固体撮像素子パッケージを製造する方法であって、前記固体撮像素子および前記透明基板のうちの一方に、感光性樹脂組成物の積層および露光による樹脂層の形成を2回以上繰り返すことにより複数の樹脂層を有する前記フレームを形成する工程と、前記フレームに前記固体撮像素子および前記透明基板の他方を接着する工程と、を備え、前記フレームを形成する工程において、前記複数の樹脂層のうちの少なくとも1つの樹脂層の積層直後の露光量を、前記複数の樹脂層のうちの他の樹脂層の積層直後の露光量と異ならせる。
【0006】
上述の固体撮像素子パッケージ製造方法では、前記フレームを形成する工程において、前記複数の樹脂層のうちの最後の樹脂層の積層直後の露光量を、前記複数の樹脂層のうちの他の樹脂層の積層直後の露光量と異ならせてもよい。
【0007】
上述の固体撮像素子パッケージ製造方法では、前記フレームを形成する工程において、前記最後の樹脂層の積層直後の露光量を、前記他の樹脂層の積層直後の露光量よりも小さくしてもよい。
【0008】
前記最後の樹脂層の積層直後の露光量は、前記感光性樹脂組成物をBステージ状態に留める露光量であってもよい。
【0009】
上述の固体撮像素子パッケージ製造方法において、前記複数の樹脂層のうちの少なくとも1つの樹脂層の積層直後の露光量は、前記感光性樹脂組成物をBステージ状態に留める露光量であってもよい。
【発明の効果】
【0010】
本発明に係る固体撮像素子パッケージ製造方法によれば、信頼性が高い固体撮像素子パッケージを提供できる。
【図面の簡単な説明】
(【0011】以降は省略されています)

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