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公開番号2024052488
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-04-11
出願番号2023050657
出願日2023-03-27
発明の名称立体配線を用いたディスプレイ及びその作製方法
出願人日本放送協会
代理人個人
主分類G09F 9/30 20060101AFI20240404BHJP(教育;暗号方法;表示;広告;シール)
要約【課題】基板裏面側における4種類の配線(信号線、走査線、グランド線及び電源線)間の重なりをなくし、かつ配線層を単一層として形成する。
【解決手段】ディスプレイ1aの基板裏面側には、基板表面側に形成された信号線11、走査線12、グランド線13及び電源線14に対応して、2つの領域R1-1,R1-2に分割配置された信号線11’-1,11’-2、2つの領域R2-1,R2-2に分割配置された走査線12’-1,12’-2、2つの領域R3-1,R3-2に分割配置されたグランド線13’-1,13’-2、及び1つの領域R4に配置された電源線14’が形成されている。これらの配線は、複数の領域に分割配置されており、かつ、基板裏面側の同一平面上にて、他の配線とは異なる領域に配置されている。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
縦方向及び横方向のアレイ状に配置された複数の画素回路を備え、基板表面側に形成された前記画素回路のＴＦＴ及び発光素子を、基板裏面側から貫通孔を通した立体配線を介して駆動するディスプレイにおいて、
前記基板表面側に、表面側信号線、表面側走査線、表面側グランド線及び表面側電源線を備え、
前記基板裏面側に、前記立体配線を介して、前記表面側信号線、前記表面側走査線、前記表面側グランド線及び前記表面側電源線のそれぞれに接続される信号線、走査線、グランド線及び電源線を備え、
前記信号線、前記走査線、前記グランド線及び前記電源線のそれぞれの配線は、前記基板裏面側の同一平面上にて、他の配線とは異なる領域に配置されている、ことを特徴とするディスプレイ。
続きを表示（約 1,700 文字）【請求項２】
請求項１に記載のディスプレイにおいて、
前記信号線及び前記走査線のそれぞれは、複数の領域に分割配置され、
前記グランド線及び前記電源線のうちのいずれか一方は、複数の領域に分割配置され、他方は、１つの領域に配置されており、かつ、
前記信号線、前記走査線、前記グランド線及び前記電源線のそれぞれの配線は、前記基板裏面側の同一平面上にて、他の配線とは異なる領域に配置されている、ことを特徴とするディスプレイ。
【請求項３】
請求項１に記載のディスプレイにおいて、
前記信号線、前記走査線、前記グランド線及び前記電源線のそれぞれの配線は、複数の領域に分割配置されており、かつ、前記基板裏面側の同一平面上にて、他の配線とは異なる領域に配置されている、ことを特徴とするディスプレイ。
【請求項４】
請求項１から３までのいずれか一項に記載のディスプレイにおいて、
前記電源線の配線は、前記基板裏面側の同一平面上の中央に近い所定領域に配置されている、ことを特徴とするディスプレイ。
【請求項５】
請求項２に記載のディスプレイにおいて、
前記表面側グランド線及び前記表面側電源線は、アレイ状に配置された前記複数の画素回路に対応して、それぞれ横方向に複数形成されており、
前記グランド線が複数の領域に分割配置されている場合、
前記領域毎の全てのグランド線と、前記横方向に複数形成された全ての表面側グランド線とは、前記立体配線を介して接続されており、
前記電源線が複数の領域に分割配置されている場合、
前記領域毎の全ての電源線と、前記横方向に複数形成された全ての表面側電源線とは、前記立体配線を介して接続されている、ことを特徴とするディスプレイ。
【請求項６】
請求項１から５までのいずれか一項に記載のディスプレイにおいて、
前記電源線の長手方向の面に接着された金属箔を有する、ことを特徴とするディスプレイ。
【請求項７】
請求項１から５までのいずれか一項に記載のディスプレイにおいて、
前記グランド線の長手方向の面に接着された金属箔を有する、ことを特徴とするディスプレイ。
【請求項８】
縦方向及び横方向のアレイ状に配置された複数の画素回路を備え、フィルム基板の表面側に形成された前記画素回路のＴＦＴ及び発光素子を、前記フィルム基板の裏面側から貫通孔を通した立体配線を介して駆動するディスプレイの作製方法において、
前記フィルム基板の表面側に、下地膜を形成する第１工程と、
前記下地膜上に金属積層膜を形成し、前記ＴＦＴのゲート電極、表面側走査線、表面側グランド線及び表面側電源線を形成する第２工程と、
前記下地膜、前記ＴＦＴのゲート電極、前記表面側走査線、前記表面側グランド線及び前記表面側電源線の表面側に絶縁膜を形成する第３工程と、
前記絶縁膜上に半導体層を製膜する第４工程と、
前記絶縁膜及び前記半導体層の表面側に金属積層膜を形成し、前記ＴＦＴのソース電極及びドレイン電極、並びに表面側信号線を形成する第５工程と、
前記絶縁膜、前記半導体層、前記ＴＦＴのソース電極及びドレイン電極、並びに前記表面側信号線の表面側に保護膜を形成する第６工程と、
前記フィルム基板の裏面側に、平坦化層を形成する第７工程と、
前記フィルム基板の裏面側から表面側へ通した前記貫通孔を形成する第８工程と、
前記貫通孔に前記立体配線を形成し、前記立体配線を介して、前記表面側信号線、前記表面側走査線、前記表面側グランド線及び前記表面側電源線に接続するための対応する信号線、走査線、グランド線及び電源線のそれぞれの配線を、前記フィルム基板の裏面側の同一平面上にて、他の配線とは異なる領域に配置するように、前記フィルム基板の裏面側に形成する第９工程と、を有することを特徴とする作製方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、立体配線を用いてＴＦＴ（Thin Film Transistor：薄膜トランジスタ）を駆動する複数の画素回路から構成されるディスプレイ及びその作製方法に関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、複数のパネルユニットを並べることで構成されるタイリングディスプレイが知られている（例えば非特許文献１，２を参照）。タイリングディスプレイは、様々なサイズ、形状及びアスペクト比を実現可能な利点を有している。
【０００３】
しかしながら、一般的なパネルユニットの場合、その周縁部に信号線等を形成する必要があり、周縁部に設ける額縁（ベゼル）を無くすことが困難である。そのため、パネルユニットを並べてタイリングし、タイリングディスプレイを構成した場合、ベゼルによりパネルユニット間の継ぎ目が目立ってしまうという問題がある。
【０００４】
この問題を解決するために、貫通孔を通した立体配線を用いて、信号線等をパネルユニットの裏面側に取り出す構造が想定される。この構造により、パネルユニットの周縁部に信号線等を形成する必要がなくなり、ベゼルレスのパネルユニットを実現することができ、継ぎ目のない、目立たないタイリングが可能となる。
【０００５】
このようなベゼルレスのパネルユニットを実現するための要素技術として、極薄ポリイミド（ＰＩ）フィルム基板を用い、フィルム基板の裏面側から貫通孔を通した立体配線により駆動可能なＴＦＴ（立体配線ＴＦＴ）が開発されている（例えば非特許文献３を参照）。
【０００６】
図８は、ディスプレイの基板表面側の概略構造、及び画素回路を構成する各素子の配置を示す図であり、フィルム基板上に形成される立体配線を用いた構造を、基板表面側から見た場合を示している。
【０００７】
図８に示すように、このディスプレイ１００は、縦方向及び横方向のアレイ状に配置されたＭ×Ｎ個の画素回路９９を備えて構成される。Ｍ，Ｎは２以上の整数である。
【０００８】
画素回路９９は、信号線（表面側信号線）１１、走査線（表面側走査線）１２、グランド線（表面側グランド線）１３、電源線（表面側電源線）１４、保持容量１５、選択用ＴＦＴ２１、駆動用ＴＦＴ２２及び発光素子（ＬＥＤ等）２３等を備えて構成される。画素回路９９は、選択用ＴＦＴ２１及び駆動用ＴＦＴ２２を用いて、発光素子２３を駆動するための回路である。尚、図８には、本発明に関連する構成部のみを示しており、本発明に直接関連しない構成部は省略してある。
【０００９】
具体的には、画素回路９９は、３個の発光素子２３を備えており、３個の発光素子２３のそれぞれに対応して、選択用ＴＦＴ２１、駆動用ＴＦＴ２２、保持容量１５及び信号線１１等が形成されている。また、３個の発光素子２３に共通の走査線１２、グランド線１３及び電源線１４等が形成されている。
【００１０】
１個の画素回路９９には、縦方向の３本の信号線１１、横方向の１本の走査線１２、横方向の１本のグランド線１３、及び横方向の１本の電源線１４が形成されている。つまり、Ｍ×Ｎ個の画素回路９９を備えたディスプレイ１００には、縦方向の３×Ｎ本の信号線１１、横方向のＭ本の走査線１２、横方向のＭ本のグランド線１３、及び横方向のＭ本の電源線１４が形成されている。
（【００１１】以降は省略されています）

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