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公開番号2024051663
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-04-11
出願番号2022157946
出願日2022-09-30
発明の名称センサ装置
出願人横河電機株式会社
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類G01N 27/82 20060101AFI20240404BHJP(測定;試験)
要約【課題】センサ装置の空間分解能を向上させる。
【解決手段】センサ装置は、基板厚さ方向に並んで配置された複数の基板と、複数の基板上にわたって配置された複数のセンサと、を備え、複数の基板を平面視したときに、複数のセンサそれぞれが異なる位置に配置されている。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
基板厚さ方向に並んで配置された複数の基板と、
前記複数の基板上にわたって配置された複数のセンサと、
を備え、
前記複数の基板を平面視したときに、前記複数のセンサそれぞれが異なる位置に配置されている、
センサ装置。
続きを表示（約 960 文字）【請求項２】
前記複数の基板は、
第１の基板と、
第２の基板と、
を含み、
前記複数のセンサは、
前記第１の基板上に配置された複数の第１のセンサと、
前記第２の基板上に配置された複数の第２のセンサと、
を含み、
前記基板厚さ方向において、前記第１の基板上に配置された複数の第１のセンサと、前記第２の基板上に配置された前記複数の第２のセンサとは、互いに異なる位置に配置されている、
請求項１に記載のセンサ装置。
【請求項３】
基板面方向において、前記第１のセンサ及び前記第２のセンサは、交互に配置されている、
請求項２に記載のセンサ装置。
【請求項４】
前記複数の基板それぞれは、当該基板上に配置された前記センサどうしの間に、部品及び配線が配置されたセンサ周辺領域を有し、
前記複数の基板を平面視したときに、前記第２の基板上に配置された前記複数の第２のセンサのうちの少なくとも一部の第２のセンサは、前記第１の基板の前記センサ周辺領域と重なっている、
請求項２又は３に記載のセンサ装置。
【請求項５】
前記複数の基板は、可撓性を有する、
請求項１～３のいずれか１項に記載のセンサ装置。
【請求項６】
前記複数の基板は、基板面方向において互いの位置をずらして配置された同一設計基板である、
請求項１～３のいずれか１項に記載のセンサ装置。
【請求項７】
前記複数の基板を保持する基板ホルダを備え、
前記基板ホルダは、前記複数の基板が前記基板ホルダの伸縮の影響を受けないように、前記複数の基板を保持する、
請求項１～３のいずれか１項に記載のセンサ装置。
【請求項８】
前記複数のセンサは、いずれも磁気センサであり、
前記センサ装置は、金属製の対象物に取り付けられる、
請求項１～３のいずれか１項に記載のセンサ装置。
【請求項９】
前記複数のセンサが配管の側面に対向するように、前記配管に取り付けられる、
請求項１～３のいずれか１項に記載のセンサ装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、センサ装置に関する。
続きを表示（約 1,000 文字）【背景技術】
【０００２】
例えば特許文献１は、配管に対して設けられた複数の磁気センサのセンシングデータに基づいて、配管の減肉を検出する技術を開示する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２１－１４４０１５号公報
特開２０２１－１６３１６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
センサ装置の空間分解能を向上させるためには、複数のセンサの高密度配置が必要になるが、センサのパッケージサイズ、周辺部品、配線等の関係で、限りがある。
【０００５】
本発明の一側面は、センサ装置の空間分解能を向上させる。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
一側面に係るセンサ装置は、基板厚さ方向に並んで配置された複数の基板と、複数の基板上にわたって配置された複数のセンサと、を備え、複数の基板を平面視したときに、複数のセンサそれぞれが異なる位置に配置されている。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、センサ装置の空間分解能を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
実施形態に係るセンサ装置を含むセンサシステムの概略構成の例を示す図である。
センサ装置の概略構成の例を示す分解斜視図である。
センサ配置の例を示す図である。
基板レイアウトの例を示す図である。
センサ装置の概略構成の例を示す分解斜視図である。
センサ配置の例を示す図である。
センサ装置の概略構成の例を示す図である。
センサ装置の概略構成の例を示す図である。
センサ装置の概略構成の例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、図面を参照しつつ実施形態について説明する。同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明は適宜省略する。
【００１０】
図１は、実施形態に係るセンサ装置を含むセンサシステムの概略構成の例を示す図である。センサシステム１は、例えば対象物の監視に用いられる。対象物として、配管９が例示される。矛盾の無い範囲において、配管９は対象物に適宜読み替えられてよい。配管９の詳細は後述する。
（【００１１】以降は省略されています）

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