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公開番号2024051500
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-04-11
出願番号2022157706
出願日2022-09-30
発明の名称基板ステージ、基板搬送方法、露光装置、及び物品の製造方法
出願人キヤノン株式会社
代理人個人,個人,個人,個人,個人
主分類G03F 7/20 20060101AFI20240404BHJP(写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ)
要約【課題】 簡易な構成の基板ステージを提供すること。
【解決手段】 基板を搬送する搬送機構を有する基板ステージであって、前記搬送機構は、前記基板を保持する保持部と、直線方向に駆動し、前記保持部を駆動させる駆動部と、前記駆動部による前記保持部の駆動に伴い、前記保持部を前記直線方向及び前記直線方向とは異なる方向に案内する第1ガイド及び第2ガイドのいずれかの滑走面を滑走する第1カムフォロアと、前記第1カムフォロアが前記第1ガイドの滑走面から前記第2ガイドの滑走面へと移動するように、前記保持部を前記直線方向とは異なる方向に案内する第3ガイドの滑走面を滑走する第2カムフォロアと、を有することを特徴とする基板ステージ。
【選択図】 図2
特許請求の範囲【請求項1】
基板を搬送する搬送機構を有する基板ステージであって、
前記搬送機構は、
前記基板を保持する保持部と、
直線方向に駆動し、前記保持部を駆動させる駆動部と、
前記駆動部による前記保持部の駆動に伴い、前記保持部を前記直線方向及び前記直線方向とは異なる方向に案内する第1ガイド及び第2ガイドのいずれかの滑走面を滑走する第1カムフォロアと、
前記第1カムフォロアが前記第1ガイドの滑走面から前記第2ガイドの滑走面へと移動するように、前記保持部を前記直線方向とは異なる方向に案内する第3ガイドの滑走面を滑走する第2カムフォロアと、
を有することを特徴とする基板ステージ。
続きを表示(約 910 文字)【請求項2】
前記直線方向は、前記基板と前記保持部とが接触する前記基板の接触面に対して平行な方向であることを特徴とする請求項1に記載の基板ステージ。
【請求項3】
前記第1ガイドは、前記駆動部の駆動に伴い、前記保持部を上昇させることができる構成であることを特徴とする請求項1に記載の基板ステージ。
【請求項4】
前記第1ガイドは、前記駆動部の駆動に伴い、前記保持部を下降させることができる構成であることを特徴とする請求項1に記載の基板ステージ。
【請求項5】
前記第1ガイド及び前記第2ガイドは、第1方向に延びたガイドと前記第1方向とは異なる方向に延びたガイドとを含む形状であることを特徴とする請求項1に記載の基板ステージ。
【請求項6】
前記第1ガイドは、前記保持部で前記基板を保持している状態で前記保持部を駆動させるように案内し、
前記第2ガイドは、前記保持部で前記基板を保持していない状態で前記保持部を駆動させるように案内する、
ことを特徴とする請求項1に記載の基板ステージ。
【請求項7】
前記第1ガイドは、前記第2ガイドよりも前記保持部に近い位置に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の基板ステージ。
【請求項8】
前記第1カムフォロア及び前記第2カムフォロアのうち少なくとも一方は、上下に駆動可能な構成であることを特徴とする請求項1に記載の基板ステージ。
【請求項9】
前記保持部の自重により前記第1カムフォロアが前記第1ガイド又は前記第2ガイドの上面を滑走することを特徴とする請求項1に記載の基板ステージ。
【請求項10】
前記第1ガイド及び前記第2ガイドは、前記保持部と接続されたコイルばねを含み、
前記コイルばねが前記保持部を重力の方向とは反対の方向に力を加えることで、前記力により前記第1カムフォロアが前記第1ガイド及び前記第2ガイドの下面を滑走することを特徴とする請求項1に記載の基板ステージ。
(【請求項11】以降は省略されています)

発明の詳細な説明【技術分野】
【0001】
本発明は、基板ステージ、基板搬送方法、露光装置、及び物品の製造方法に関する。
続きを表示(約 1,600 文字)【背景技術】
【0002】
液晶パネルや有機ELディスプレイ、或いは半導体デバイスなどの製造におけるリソグラフィ工程では、感光剤が塗布された基板に原版のパターンを転写する露光装置が用いられる。リソグラフィ工程では、生産性を低下させないように、基板の搬送を効率良く行うことができる露光装置が求められる。
【0003】
特許文献1には、露光済みの基板の搬送動作と、次に露光する基板の搬入動作を並行して行うことで、迅速に基板交換を行うことができる内容が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
特開2015-146045号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
しかしながら、基板の搬送動作には、基板を保持する基板ステージを水平方向に移動させる機構と、基板ステージを垂直方向に移動させる機構とが必要になり、それぞれの機構に対応する電気ケーブルやチューブ等の移動実装部が必要となる。限られたスペースに多数のケーブルを配置させるには設計難易度が高く、また、ケーブル同士の接触等により生じる塵や埃の発塵リスクも高くなり、露光性能に悪影響を与えてしまうおそれもある。
【0006】
そこで、本発明は、簡易な構成にするうえで有利な基板ステージを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0007】
上記目的を達成するために、本発明の一側面としての基板ステージは、基板を搬送する搬送機構を有する基板ステージであって、前記搬送機構は、前記基板を保持する保持部と、直線方向に駆動し、前記保持部を駆動させる駆動部と、前記駆動部による前記保持部の駆動に伴い、前記保持部を前記直線方向及び前記直線方向とは異なる方向に案内する第1ガイド及び第2ガイドのいずれかの滑走面を滑走する第1カムフォロアと、前記第1カムフォロアが前記第1ガイドの滑走面から前記第2ガイドの滑走面へと移動するように、前記保持部を前記直線方向とは異なる方向に案内する第3ガイドの滑走面を滑走する第2カムフォロアと、を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【0008】
本発明によれば、簡易な構成にするうえで有利な基板ステージを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【0009】
露光装置の構成を示す概略図である。
第1実施形態における基板ステージ6の概略図である。
第1実施形態におけるカムフォロアの詳細図である。
第1実施形態における基板搬送機構を説明するための図である。
第2実施形態における基板搬送機構を説明するための図である。
第2実施形態におけるカムフォロアの詳細図である。
ワイヤー駆動を説明するための図である。
第3実施形態における基板搬送機構を説明するための図である。
第3実施形態における基板ステージの上面図である。
第3実施形態におけるカムフォロアの詳細図である。
基板をバッファー台に受け渡す際の上面図である。
基板搬送機構とω

ストッパーの上面図である。
ベースの最適形状を示す図である。
基板への露光が終了してから次の基板への露光が開始されるまでのフローチャートである。
物品の製造方法のフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【0010】
以下に、本発明の好ましい実施形態を添付の図面に基づいて詳細に説明する。尚、各図において、同一の部材については同一の参照番号を付し、重複する説明は省略する。
(【0011】以降は省略されています)

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