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公開番号2024050252
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-04-10
出願番号2022157000
出願日2022-09-29
発明の名称硬化性組成物およびその製造方法
出願人株式会社カネカ
代理人弁理士法人 HARAKENZO WORLD PATENT & TRADEMARK
主分類C08F 265/06 20060101AFI20240403BHJP(有機高分子化合物;その製造または化学的加工;それに基づく組成物)
要約【課題】アルカリ現像性に優れる硬化性組成物を提供する。
【解決手段】本発明の一態様に係る硬化性組成物は、(A)成分:架橋性官能基を有するビニル系重合体、(B)成分:酸無水物基を有する化合物、(C)成分:架橋性官能基および酸無水物基と反応してエステル結合またはアミド結合を形成することが可能な官能基を有する化合物、ならびに(D)成分:開始剤あるいは硬化触媒、を含有し、前記(B)成分と(C)成分とのモル比は、1:10~10:1である。
【選択図】なし
特許請求の範囲【請求項1】
(A)成分:架橋性官能基を有するビニル系重合体、(B)成分:酸無水物基を有する化合物、(C)成分:架橋性官能基および酸無水物基と反応してエステル結合またはアミド結合を形成することが可能な官能基を有する化合物、ならびに(D)成分:開始剤あるいは硬化触媒、を含有し、
前記(B)成分と(C)成分とのモル比は、1:10~10:1である、硬化性組成物。
続きを表示(約 1,400 文字)【請求項2】
前記(A)成分の架橋性官能基が、ラジカル架橋性官能基、エポキシ基、および加水分解性シリル基からなる群より選択される少なくとも1種である、請求項1に記載の硬化性組成物。
【請求項3】
前記(A)成分の主鎖が(メタ)アクリル系重合体である、請求項1または2に記載の硬化性組成物。
【請求項4】
前記(B)成分が、フタル酸誘導体、コハク酸誘導体、およびマレイン酸誘導体からなる群より選択される少なくとも1種である、請求項1または2に記載の硬化性組成物。
【請求項5】
前記(C)成分の酸無水物基と反応してエステル結合またはアミド結合を形成することが可能な官能基が、水酸基、アミノ基、およびエポキシ基からなる群より選択される少なくとも1種である、請求項1または2に記載の硬化性組成物。
【請求項6】
前記(C)成分の架橋性官能基が、ラジカル架橋性官能基、加水分解性シリル基、およびエポキシ基からなる群より選択される少なくとも1種である、請求項1または2に記載の硬化性組成物。
【請求項7】
(E)成分:カルボン酸を含むアクリル樹脂、またはエポキシ樹脂をさらに含む、請求項1または2に記載の硬化性組成物。
【請求項8】
前記(C)成分が、以下の一般式(i)または(ii)で表される化合物である、請求項1または2に記載の硬化性組成物。
CH

=CHC(=O)O-R

-OH (i)
(式中、R

は、炭素数1~10の、2価の炭化水素基である。)
(CH

O)

Si-R

-NH

(ii)
(式中、R

は、炭素数1~10の、炭素原子、水素原子および窒素原子を含有する2価の有機基である。)
【請求項9】
前記(C)成分が、以下の化合物群より選択される少なくとも1種である、請求項1または2に記載の硬化性組成物。
CH

=CHC(=O)O-(CH



-OH、
CH

=CHC(=O)O-(CH



-OH、
(CH

O)

Si-(CH



NH(CH



-NH

【請求項10】
(A)成分:架橋性官能基を有するビニル系重合体、(B)成分:酸無水物基を有する化合物、(C)成分:架橋性官能基および酸無水物基と反応してエステル結合またはアミド結合を形成することが可能な官能基を有する化合物、ならびに(D)成分:開始剤あるいは硬化触媒、を含有する硬化性組成物の製造方法であって、
前記(B)成分と前記(C)成分とを混合する第1の混合工程と、
前記第1の混合工程で得られた混合物と、前記(A)成分とを混合する第2の混合工程
と、
を有する、硬化性組成物の製造方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【0001】
本発明は、硬化性組成物およびその製造方法に関する。
続きを表示(約 1,600 文字)【背景技術】
【0002】
近年、レジストのフレキソ化、高解像度化、基板のフレキシブル化、レジスト膜の薄膜化において高性能化の要求が出てきている。特許文献1には、レジスト用硬化性組成物に含まれる架橋成分として、架橋性官能基を有するビニル系重合体を使用することによって、良好な耐熱性、耐光性を維持しつつ、柔軟性に基づく基材追従性に優れた硬化物を与えうるレジスト用硬化性組成物が得られることが開示されている。また、特許文献2には、架橋性シリル基を有するビニル系重合体、エポキシ樹脂、および加熱硬化型潜在性硬化剤を含む硬化性組成物が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
特開2008-107511号公報
国際公開第2006/077886号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
しかしながら、上述のような従来技術は、アルカリ現像性に優れる硬化性組成物を実現するという観点からさらなる改善の余地があった。
【0005】
本発明の一態様は、アルカリ現像性に優れる硬化性組成物を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0006】
上記の課題を解決するために、本発明の一態様に係る硬化性組成物は、
(A)成分:架橋性官能基を有するビニル系重合体、(B)成分:酸無水物基を有する化合物、(C)成分:架橋性官能基および酸無水物基と反応してエステル結合またはアミド結合を形成することが可能な官能基を有する化合物、ならびに(D)成分:開始剤あるいは硬化触媒、を含有し、前記(B)成分と(C)成分とのモル比は、1:10~10:1である。
【0007】
また、上記の課題を解決するために、本発明の一態様に係る硬化性組成物の製造方法は、
(A)成分:架橋性官能基を有するビニル系重合体、(B)成分:酸無水物基を有する化合物、(C)成分:架橋性官能基および酸無水物基と反応してエステル結合またはアミド結合を形成することが可能な官能基を有する化合物、ならびに(D)成分:開始剤あるいは硬化触媒、を含有する硬化性組成物の製造方法であって、
前記(B)成分と前記(C)成分とを混合する第1の混合工程と、
前記第1の混合工程で得られた混合物と、前記(A)成分とを混合する第2の混合工程と、
を有する。
【発明の効果】
【0008】
本発明の一態様によれば、アルカリ現像性に優れる硬化性組成物を提供することができる。
【発明を実施するための形態】
【0009】
以下、本発明の実施の形態の一例について詳細に説明するが、本発明はこれらに限定されない。本明細書において特記しない限り、数値範囲を表す「A~B」は、「A以上、B以下」を意味する。また、本明細書中に記載された文献の全てが、本明細書中において参考文献として援用される。
【0010】
〔1.本発明の概要〕
上述のように、特許文献1には、レジスト用硬化性組成物に柔軟性を付与するために、架橋性官能基を有するビニル系重合体を、組成物に添加することが開示されている。しかし、架橋性官能基を有するビニル系重合体を組成物に添加することにより、組成物全体に含まれているカルボン酸成分の濃度が低下する。カルボン酸成分は、レジスト用硬化性組成物の重要な性能の一つであるアルカリ現像性に寄与する。そのため、カルボン酸成分の濃度が低下することにより、レジスト用硬化性組成物のアルカリ現像性が低下する場合があり、この点で改善の余地があった。
(【0011】以降は省略されています)

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