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公開番号2024049079
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-04-09
出願番号2022155332
出願日2022-09-28
発明の名称磁気センサ
出願人株式会社レゾナック
代理人個人,個人,個人
主分類G01R 33/02 20060101AFI20240402BHJP(測定;試験)
要約【課題】磁気インピーダンス効果を用いた磁気センサの感度を向上させる。
【解決手段】磁気センサは、軟磁性体を含み、長手方向と短手方向とを有し、長手方向と交差する方向に一軸磁気異方性を有し、磁気インピーダンス効果により磁界を感受する感受素子と、軟磁性体を含み、感受素子における長手方向の端部から長手方向に突出する突出部と、突出部に対向して設けられ、軟磁性体からなり、突出部に対して磁力線を誘導する誘導部材とを備える。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項1】
軟磁性体を含み、長手方向と短手方向とを有し、当該長手方向と交差する方向に一軸磁気異方性を有し、磁気インピーダンス効果により磁界を感受する感受素子と、
軟磁性体を含み、前記感受素子における前記長手方向の端部から当該長手方向に突出する突出部と、
前記突出部に対向して設けられ、軟磁性体からなり、当該突出部に対して磁力線を誘導する誘導部材と
を備える磁気センサ。
続きを表示(約 470 文字)【請求項2】
前記誘導部材は、前記突出部に重なって設けられていることを特徴とする請求項1に記載の磁気センサ。
【請求項3】
前記誘導部材が前記突出部に重なっている領域の前記長手方向の長さは、当該突出部の当該長手方向の長さの10%以上100%以下であることを特徴とする請求項2に記載の磁気センサ。
【請求項4】
前記誘導部材は、前記長手方向の端部が、前記突出部よりも当該長手方向にはみ出していることを特徴とする請求項2または3のいずれか1項に記載の磁気センサ。
【請求項5】
前記短手方向に並ぶ複数の前記感受素子と、
それぞれの前記感受素子における前記長手方向の端部から当該長手方向に突出する複数の前記突出部とを備え、
前記誘導部材は、複数の前記突出部に対向して設けられていることを特徴とする請求項1に記載の磁気センサ。
【請求項6】
前記誘導部材は、前記感受素子に含まれる軟磁性体よりも透磁率が高い軟磁性体を含むことを特徴とする請求項1に記載の磁気センサ。

発明の詳細な説明【技術分野】
【0001】
本発明は、磁気センサに関する。
続きを表示(約 2,000 文字)【背景技術】
【0002】
特許文献1には、一軸異方性を付与された複数個の軟磁性体膜からなる感磁部と、軟磁性体膜からなり磁束を感磁部に誘導するヨーク部とを備えた磁気インピーダンス効果素子が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
特開2008-249406号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
磁気インピーダンス効果によって磁界を感受する感受素子を用いた磁気センサには、磁界の変化に対する感度が高いことが求められる。
本発明は、磁気インピーダンス効果を用いた磁気センサの感度を向上させることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0005】
本発明によれば、下記(1)~(6)に係る発明が提供される。
(1)軟磁性体を含み、長手方向と短手方向とを有し、当該長手方向と交差する方向に一軸磁気異方性を有し、磁気インピーダンス効果により磁界を感受する感受素子(感受素子31)と、
軟磁性体を含み、前記感受素子における前記長手方向の端部から当該長手方向に突出する突出部(突出部40)と、
前記突出部に対向して設けられ、軟磁性体からなり、当該突出部に対して磁力線を誘導する誘導部材(第1誘導部材51、第2誘導部材52)と
を備える磁気センサ。
(2)前記誘導部材は、前記突出部に重なって設けられていることを特徴とする(1)に記載の磁気センサ。
(3)前記誘導部材が前記突出部に重なっている領域の前記長手方向の長さは、当該突出部の当該長手方向の長さの10%以上100%以下であることを特徴とする(2)に記載の磁気センサ。
(4)前記誘導部材は、前記長手方向の端部が、前記突出部よりも当該長手方向にはみ出していることを特徴とする(2)または(3)のいずれかに記載の磁気センサ。
(5)前記短手方向に並ぶ複数の前記感受素子と、
それぞれの前記感受素子における前記長手方向の端部から当該長手方向に突出する複数の前記突出部とを備え、
前記誘導部材は、複数の前記突出部に対向して設けられていることを特徴とする(1)~(4)のいずれかに記載の磁気センサ。
(6)前記誘導部材は、前記感受素子に含まれる軟磁性体よりも透磁率が高い軟磁性体を含むことを特徴とする(1)~(5)のいずれかに記載の磁気センサ。
【発明の効果】
【0006】
本発明によれば、磁気インピーダンス効果を用いた磁気センサの感度を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【0007】
本実施形態が適用される磁気センサの一例を説明する図である。
本実施形態が適用される磁気センサの一例を説明する図である。
(a)~(b)は、本実施形態が適用されるセンサ部の一例を説明する図である。
誘導部の変形例を説明する図であって、磁気センサを上方から見た図である。
磁気センサにおける感受素子の長手方向に印加された磁界と感受部のインピーダンスとの関係を示す図である。
本実施形態が適用される磁気センサおよび従来の磁気センサにおけるインピーダンスと磁界との関係の一例を示した図である。
磁気センサの誘導部の構成と異方性磁界との関係を示した図である。
磁気センサの誘導部の構成と感度との関係を示した図である。
【発明を実施するための形態】
【0008】
以下、添付図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。
(磁気センサ1の構成)
図1、図2は、本実施形態が適用される磁気センサ1の一例を説明する図である。図1は、磁気センサ1の平面図であり、図2は、図1におけるII-II線での断面図である。
【0009】
図1、図2に示すように、本実施形態が適用される磁気センサ1は、非磁性の基板10と、基板10上に設けられ、磁界を感受する感受部30および感受部30から突出する突出部40とを含むセンサ部20と、センサ部20の突出部40に対向して設けられ磁力線を誘導する誘導部50とを備えている。
【0010】
磁気センサ1は、一例として、長手方向と短手方向とを有する長方形の平面形状を有している。磁気センサ1の平面形状は、数mm角である。例えば、磁気センサ1の長手方向(図1における左右方向)の長さが5mm~20mm、短手方向(図1における上下方向)の長さが3mm~5mm程度とすることができる。なお、磁気センサ1の平面形状の大きさは、他の値であってもよい。また、磁気センサ1の平面形状は、長方形以外の形状であってもよい。
(【0011】以降は省略されています)

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