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公開番号2024049079
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-04-09
出願番号2022155332
出願日2022-09-28
発明の名称磁気センサ
出願人株式会社レゾナック
代理人個人,個人,個人
主分類G01R 33/02 20060101AFI20240402BHJP(測定;試験)
要約【課題】磁気インピーダンス効果を用いた磁気センサの感度を向上させる。
【解決手段】磁気センサは、軟磁性体を含み、長手方向と短手方向とを有し、長手方向と交差する方向に一軸磁気異方性を有し、磁気インピーダンス効果により磁界を感受する感受素子と、軟磁性体を含み、感受素子における長手方向の端部から長手方向に突出する突出部と、突出部に対向して設けられ、軟磁性体からなり、突出部に対して磁力線を誘導する誘導部材とを備える。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
軟磁性体を含み、長手方向と短手方向とを有し、当該長手方向と交差する方向に一軸磁気異方性を有し、磁気インピーダンス効果により磁界を感受する感受素子と、
軟磁性体を含み、前記感受素子における前記長手方向の端部から当該長手方向に突出する突出部と、
前記突出部に対向して設けられ、軟磁性体からなり、当該突出部に対して磁力線を誘導する誘導部材と
を備える磁気センサ。
続きを表示（約 470 文字）【請求項２】
前記誘導部材は、前記突出部に重なって設けられていることを特徴とする請求項１に記載の磁気センサ。
【請求項３】
前記誘導部材が前記突出部に重なっている領域の前記長手方向の長さは、当該突出部の当該長手方向の長さの１０％以上１００％以下であることを特徴とする請求項２に記載の磁気センサ。
【請求項４】
前記誘導部材は、前記長手方向の端部が、前記突出部よりも当該長手方向にはみ出していることを特徴とする請求項２または３のいずれか１項に記載の磁気センサ。
【請求項５】
前記短手方向に並ぶ複数の前記感受素子と、
それぞれの前記感受素子における前記長手方向の端部から当該長手方向に突出する複数の前記突出部とを備え、
前記誘導部材は、複数の前記突出部に対向して設けられていることを特徴とする請求項１に記載の磁気センサ。
【請求項６】
前記誘導部材は、前記感受素子に含まれる軟磁性体よりも透磁率が高い軟磁性体を含むことを特徴とする請求項１に記載の磁気センサ。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気センサに関する。
続きを表示（約 2,000 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、一軸異方性を付与された複数個の軟磁性体膜からなる感磁部と、軟磁性体膜からなり磁束を感磁部に誘導するヨーク部とを備えた磁気インピーダンス効果素子が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２００８－２４９４０６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
磁気インピーダンス効果によって磁界を感受する感受素子を用いた磁気センサには、磁界の変化に対する感度が高いことが求められる。
本発明は、磁気インピーダンス効果を用いた磁気センサの感度を向上させることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明によれば、下記（１）～（６）に係る発明が提供される。
（１）軟磁性体を含み、長手方向と短手方向とを有し、当該長手方向と交差する方向に一軸磁気異方性を有し、磁気インピーダンス効果により磁界を感受する感受素子（感受素子３１）と、
軟磁性体を含み、前記感受素子における前記長手方向の端部から当該長手方向に突出する突出部（突出部４０）と、
前記突出部に対向して設けられ、軟磁性体からなり、当該突出部に対して磁力線を誘導する誘導部材（第１誘導部材５１、第２誘導部材５２）と
を備える磁気センサ。
（２）前記誘導部材は、前記突出部に重なって設けられていることを特徴とする（１）に記載の磁気センサ。
（３）前記誘導部材が前記突出部に重なっている領域の前記長手方向の長さは、当該突出部の当該長手方向の長さの１０％以上１００％以下であることを特徴とする（２）に記載の磁気センサ。
（４）前記誘導部材は、前記長手方向の端部が、前記突出部よりも当該長手方向にはみ出していることを特徴とする（２）または（３）のいずれかに記載の磁気センサ。
（５）前記短手方向に並ぶ複数の前記感受素子と、
それぞれの前記感受素子における前記長手方向の端部から当該長手方向に突出する複数の前記突出部とを備え、
前記誘導部材は、複数の前記突出部に対向して設けられていることを特徴とする（１）～（４）のいずれかに記載の磁気センサ。
（６）前記誘導部材は、前記感受素子に含まれる軟磁性体よりも透磁率が高い軟磁性体を含むことを特徴とする（１）～（５）のいずれかに記載の磁気センサ。
【発明の効果】
【０００６】
本発明によれば、磁気インピーダンス効果を用いた磁気センサの感度を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
本実施形態が適用される磁気センサの一例を説明する図である。
本実施形態が適用される磁気センサの一例を説明する図である。
（ａ）～（ｂ）は、本実施形態が適用されるセンサ部の一例を説明する図である。
誘導部の変形例を説明する図であって、磁気センサを上方から見た図である。
磁気センサにおける感受素子の長手方向に印加された磁界と感受部のインピーダンスとの関係を示す図である。
本実施形態が適用される磁気センサおよび従来の磁気センサにおけるインピーダンスと磁界との関係の一例を示した図である。
磁気センサの誘導部の構成と異方性磁界との関係を示した図である。
磁気センサの誘導部の構成と感度との関係を示した図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、添付図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。
（磁気センサ１の構成）
図１、図２は、本実施形態が適用される磁気センサ１の一例を説明する図である。図１は、磁気センサ１の平面図であり、図２は、図１におけるＩＩ－ＩＩ線での断面図である。
【０００９】
図１、図２に示すように、本実施形態が適用される磁気センサ１は、非磁性の基板１０と、基板１０上に設けられ、磁界を感受する感受部３０および感受部３０から突出する突出部４０とを含むセンサ部２０と、センサ部２０の突出部４０に対向して設けられ磁力線を誘導する誘導部５０とを備えている。
【００１０】
磁気センサ１は、一例として、長手方向と短手方向とを有する長方形の平面形状を有している。磁気センサ１の平面形状は、数ｍｍ角である。例えば、磁気センサ１の長手方向（図１における左右方向）の長さが５ｍｍ～２０ｍｍ、短手方向（図１における上下方向）の長さが３ｍｍ～５ｍｍ程度とすることができる。なお、磁気センサ１の平面形状の大きさは、他の値であってもよい。また、磁気センサ１の平面形状は、長方形以外の形状であってもよい。
（【００１１】以降は省略されています）

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