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公開番号2024047926
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-04-08
出願番号2022153702
出願日2022-09-27
発明の名称バーンイン試験装置
出願人エスペック株式会社
代理人個人
主分類G01N 17/00 20060101AFI20240401BHJP(測定;試験)
要約【課題】占有面積が比較的小さいバーンイン試験装置を提供する。
【解決手段】試験室3a、3bと、通電装置配置室21a、21bと、試験室内の温度を調節する冷却装置が一組となった組合せセット10、11を二組有し、前記各組合せセットは、前記試験室の背面に通電装置配置室21a、21bが配された本体領域13a、13bと、少なくとも冷却装置の圧縮機が配された冷却装置領域15a、15bがあり、一方の組合せセット10に属する本体領域13aと、他方の組合せセット11に属する本体領域13bが間隔を空けた状態で配され、双方の本体領域13a、13bの間に一方の組合せセットに属する冷却装置領域15aと、他方の組合せセットに属する冷却装置領域15bが前後方向に入れ違い状に配置されている。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項1】
供試体を配置するための試験室と、前記試験室内の温度を調節する冷却装置と、を有するバーンイン試験装置において、
前記試験室と、当該試験室内の供試体に電力を供給する通電装置を設置するための通電装置配置室と、当該試験室内の温度を調節する前記冷却装置が一組となった組合せセットを二組有し、
前記各組合せセットの前記冷却装置は、いずれも圧縮機と凝縮器と膨張手段と蒸発器を有し、
前記各組合せセットは、前記試験室の背面に前記通電装置配置室が配された本体領域と、少なくとも前記圧縮機が配された冷却装置領域があり、
一方の組合せセットに属する本体領域と他方の組合せセットに属する本体領域が間隔を空けた状態で配され、双方の本体領域の間に、一方の組合せセットに属する冷却装置領域と他方の組合せセットに属する冷却装置領域が、前後方向に入れ違い状に配置されていることを特徴とするバーンイン試験装置。
続きを表示(約 520 文字)【請求項2】
前記各組合せセットは、ユニット化されていて、前記組合せセットごとに分離可能であることを特徴とする請求項1に記載のバーンイン試験装置。
【請求項3】
前記各組合せセットに属する前記試験室は、独立して温度調節可能であることを特徴とする請求項1に記載のバーンイン試験装置。
【請求項4】
前記各冷却装置領域は、少なくとも上下二段の領域に分かれており、下側の領域に前記圧縮機が設けられ、上側の領域に制御装置が設けられることを特徴とする請求項1に記載のバーンイン試験装置。
【請求項5】
前記冷却装置領域には、少なくとも一面に開放可能な開放部があり、一方の前記組合せセットは正面側に前記開放部があり、他方の組合せセットは裏面側に前記開放部があることを特徴とする請求項1に記載のバーンイン試験装置。
【請求項6】
前記冷却装置は水冷式の凝縮器を有し、一方の組合せセットに冷却水導入部があり、前記一方の組合せセットで配管が分岐されて、当該組合せセットの凝縮器と他方の組合せセットの凝縮器に冷却水が供給されることを特徴とする請求項1に記載のバーンイン試験装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【0001】
本発明は、電子機器等を所定の環境に置き、この状態で電子機器等に通電する試験を行うバーンイン試験装置に関するものである。
続きを表示(約 1,800 文字)【背景技術】
【0002】
ICやLSI等の電子機器に対して、バーンイン試験と称される試験が行われることがある。バーンイン試験とは、電子機器を高温等の所定の環境に置き、電子機器に電源電圧や所定の信号を入力して行われる試験である。
【0003】
バーンイン試験では電子機器を所定の環境等に置く必要から、所定の環境を維持することができる試験室を備えている。
そしてバーンイン試験では、試験室内に供試体たる電子機器を配置し、ヒータや冷却装置によって試験室内を所定の環境に維持する。即ち電子機器等の供試体を試験室内に置いて所定の環境にさらし、この状態で外部から電源電力や信号を電子機器に入力して電子機器の機能を試験する。
具体的なバーンイン試験装置は、例えば特許文献1に開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
特開平2-184778号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
バーンイン試験装置は、供試体たる電子機器が配置され内部を所定の環境に維持することができる試験室と、供試体に電力や信号を供給する通電装置と、ヒータや冷却装置等の空調機器の三者が組み合わされたものである。
ところで、電子機器の製造量が多く、バーンイン試験装置が複数台必要なユーザがある。従来、この様なユーザは、多くの場合同じ構造のバーンイン試験装置を例えば2台購入し、2台のバーンイン試験装置を並べて設置していた。
【0006】
このように、バーンイン試験装置を複数台並べて設置していたため、広い設置場所を確保する必要があった。
本発明は、占有面積が比較的小さいバーンイン試験装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【0007】
上記した課題を解決するための態様は、供試体を配置するための試験室と、前記試験室内の温度を調節する冷却装置と、を有するバーンイン試験装置において、前記試験室と、当該試験室内の供試体に電力を供給する通電装置を設置するための通電装置配置室と、当該試験室内の温度を調節する前記冷却装置が一組となった組合せセットを二組有し、前記各組合せセットの前記冷却装置は、いずれも圧縮機と凝縮器と膨張手段と蒸発器を有し、前記各組合せセットは、前記試験室の背面に前記通電装置配置室が配された本体領域と、少なくとも前記圧縮機が配された冷却装置領域があり、一方の組合せセットに属する本体領域と他方の組合せセットに属する本体領域が間隔を空けた状態で配され、双方の本体領域の間に、一方の組合せセットに属する冷却装置領域と他方の組合せセットに属する冷却装置領域が、前後方向に入れ違い状に配置されていることを特徴とするバーンイン試験装置である。
【0008】
本態様のバーンイン試験装置は、試験室と、当該試験室内の供試体に電力を供給する通電装置を設置するための通電装置配置室と、当該試験室内の温度を調節する冷却装置が一組となった組合せセットを二組有している。そのため本態様のバーンイン試験装置は、実質的にバーンイン試験装置2台分の構成を備えている。
本態様のバーンイン試験装置は、各機器の配置レイアウトに特徴がある。
本態様のバーンイン試験装置では、一方の組合せセットに属する本体領域と、他方の組合せセットに属する本体領域が間隔を空けた状態で配されている。そして両者の間に、一方の組合せセットに属する冷却装置領域と、他方の組合せセットに属する冷却装置領域が、前後方向に入れ違い状に配置されている。そのため、本態様のバーンイン試験装置を設置するのに必要な幅は、二つの本体領域の幅と、冷却装置領域一個分の幅で足る。そのため、本態様のバーンイン試験装置は、従来のバーンイン試験装置を2台、並列的に配置するレイアウトに比べて、占有面積が小さい。
【0009】
上記した態様において、前記各組合せセットは、組合せセットごとにユニット化されていて分離可能であることが望ましい。
【0010】
本態様のバーンイン試験装置は、組合せセットがユニット化されていて分離可能であるから、製造工場からユーザに向けての出荷が容易である。
(【0011】以降は省略されています)

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