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公開番号2024046695
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-04-03
出願番号2024024530,2021196341
出願日2024-02-21,2021-12-02
発明の名称蒸着用坩堝及び蒸着装置
出願人キヤノントッキ株式会社
代理人弁理士法人秀和特許事務所
主分類C23C 14/24 20060101AFI20240327BHJP(金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般)
要約【課題】蒸着材料が固着することを抑制できる蒸着用坩堝及び蒸着装置を提供する。
【解決手段】第1坩堝と、前記第1坩堝の内側に設けられ、蒸着材料を収容する第2坩堝と、を備え、前記第2坩堝の材料の熱伝導率は前記第1坩堝の材料の熱伝導率より大きいことを特徴とする蒸着用坩堝。第1坩堝と、前記第1坩堝の内側に設けられ、蒸着材料を収容する第2坩堝と、を備え、前記第2坩堝の材料はモリブデン、タンタル、タングステンのいずれかであることを特徴とする蒸着用坩堝。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項1】
第1坩堝と、
前記第1坩堝の内側に設けられ、蒸着材料を収容する第2坩堝と、を備え、
前記第2坩堝の材料の熱伝導率は前記第1坩堝の材料の熱伝導率より大きいことを特徴とする蒸着用坩堝。
続きを表示(約 860 文字)【請求項2】
第1坩堝と、
前記第1坩堝の内側に設けられ、蒸着材料を収容する第2坩堝と、を備え、
前記第2坩堝の材料はモリブデン、タンタル及びタングステンのいずれかであることを特徴とする蒸着用坩堝。
【請求項3】
前記第1坩堝の材料はチタンである請求項1又は2に記載の蒸着用坩堝。
【請求項4】
前記第1坩堝と前記第2坩堝は底部で接触しており、
前記第2坩堝の外壁面の高さは、前記第1坩堝の内壁面の高さより低い請求項1から3のいずれか1項に記載の蒸着用坩堝。
【請求項5】
前記第2坩堝の外壁面の高さは、前記第1坩堝の内壁面の高さの2/3以下である請求項4に記載の蒸着用坩堝。
【請求項6】
前記第2坩堝の側壁部の厚さは0.1mm以上かつ0.5mm以下である請求項1から5のいずれか1項に記載の蒸着用坩堝。
【請求項7】
蒸着材料を放出するノズルを有し、前記第1坩堝の上部を覆う蓋部と、
前記蓋部より下方に設けられ、前記蒸着材料の通過する開口を有する板部と、をさらに備える請求項1から6のいずれか1項に記載の蒸着用坩堝。
【請求項8】
前記板部は、前記第1坩堝の内壁面における、前記第2坩堝の上端から離れた位置に設けられる請求項7に記載の蒸着用坩堝。
【請求項9】
前記板部は、前記第2坩堝の上端から離れた位置において、前記第1坩堝によって支持される請求項7又は8に記載の蒸着用坩堝。
【請求項10】
前記蓋部は、
前記ノズルを構成する第1壁部と、
上面部と、
前記第1壁部より大きい外周径を有し、前記第1坩堝との連結部を構成する第2壁部と、を有し、
前記第1壁部の厚さ、及び、前記上面部の厚さが、それぞれ、前記第2壁部の厚さより大きい請求項7から9のいずれか1項に記載の蒸着用坩堝。
(【請求項11】以降は省略されています)

発明の詳細な説明【技術分野】
【0001】
本発明は、蒸着用坩堝及び蒸着装置に関する。
続きを表示(約 1,400 文字)【背景技術】
【0002】
有機EL表示装置等に用いられる有機EL発光素子を製造する方法として、蒸着材料を昇華させて基板に付着させることで基板上に発光層や金属層等の薄膜を形成する蒸着法がある。蒸着法により基板に成膜する蒸着装置は、基板を保持する基板ホルダと、蒸着材料を収容する坩堝と、坩堝を加熱するためのヒータとを有する。坩堝は上部に開口を有し、基板ホルダの下方に配置され、ヒータによって加熱された坩堝内の蒸着材料が昇華して坩堝の開口に対向する基板の成膜対象面に薄膜が形成される。
【0003】
特許文献1には、材質の異なる二種類の材料の坩堝からなる二重構造の坩堝が開示されている。この坩堝は、熱伝導率の高い材料からなる外側坩堝と、外側坩堝の内側に配置され赤外線放射率の高い材料からなる内側坩堝とを有し、外側坩堝に設けられた加熱手段により、内側坩堝内に収容された蒸着材料を加熱することで、蒸着材料を昇華させる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
特開2018-104804号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
蒸着法によって基板に成膜処理を行った後に坩堝内に残留した蒸着材料は、坩堝内から除去し、新たな蒸着材料を坩堝内に投入することで、次の成膜処理に備える。しかしながら、蒸着材料が坩堝の内壁面に固着するような態様で残留することがある。これは成膜処理中に加熱された蒸着材料の一部が融解し、冷却過程で凝固して坩堝の内壁面に固着するためと推測される。固着した蒸着材料は坩堝から容易に取り出すことができないため、坩堝を再度加熱して昇華させることによって坩堝から除去する必要がある。そのため、成膜処理後の蒸着材料の交換や坩堝の洗浄に手間がかかるという課題がある。
【0006】
本発明は、蒸着材料が固着することを抑制できる蒸着用坩堝及び蒸着装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0007】
本発明は、第1坩堝と、
前記第1坩堝の内側に設けられ、蒸着材料を収容する第2坩堝と、を備え、
前記第2坩堝の材料の熱伝導率は前記第1坩堝の材料の熱伝導率より大きいことを特徴とする蒸着用坩堝である。
【0008】
本発明は、第1坩堝と、
前記第1坩堝の内側に設けられ、蒸着材料を収容する第2坩堝と、を備え、
前記第2坩堝の材料はモリブデン、タンタル及びタングステンのいずれかであることを特徴とする蒸着用坩堝である。
【発明の効果】
【0009】
本発明によれば、蒸着材料が固着することを抑制できる蒸着用坩堝及び蒸着装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【0010】
実施例1に係る蒸着用坩堝を有する蒸着装置を示す模式的断面図
実施例1に係る蒸着用坩堝の斜視図及び断面図
実施例1におけるコントローラによるヒータの制御態様を模式的に示す図
実施例2に係る蒸着用坩堝を有する蒸着装置を示す模式的断面図
実施例3に係る蒸着用坩堝を有する蒸着装置を示す模式的断面図
実施例4に係る蒸着用坩堝を有する蒸着装置を示す模式的断面図
実施例5に係る有機EL表示装置の構成を示す図
【発明を実施するための形態】
(【0011】以降は省略されています)

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