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公開番号2024046070
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-04-03
出願番号2022151235
出願日2022-09-22
発明の名称アイソレータ
出願人株式会社東芝,東芝デバイス&ストレージ株式会社
代理人弁理士法人iX
主分類H01L 21/822 20060101AFI20240327BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】製造歩留りを向上させるアイソレータを提供する。
【解決手段】アイソレータは、基板と、第1乃至第3絶縁膜と、第1配線と、第1および第2コイルと、を備える。前記第1絶縁膜は、前記基板上に設けられ、前記第2絶縁膜は、前記第1絶縁膜上に設けられる。前記第1配線は、前記第2絶縁膜中に設けられ、前記基板から前記第2絶縁膜に向かう第1方向において、前記第2絶縁膜の膜厚と同じ厚さを有する。前記第1コイルは、前記第1絶縁膜および前記第2絶縁膜中に延在し、前記第2絶縁膜の上面から前記第1絶縁膜中に至る前記第1方向の長さを有し、前記第1コイルの前記第1方向の長さは、前記第1配線の前記第1方向の厚さよりも大きい。前記第3絶縁膜は、前記第2絶縁膜上に設けられ、前記第1配線および前記第1コイルを覆う。前記第2コイルは、前記第3絶縁膜の上表面側に設けられ、前記第1コイルに対向する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
基板と、
前記基板上に設けられる第１絶縁膜と、
前記第１絶縁膜上に設けられ、前記第１絶縁膜に向き合う裏面と、その反対側の表面とを有する第２絶縁膜と、
前記第２絶縁膜中に設けられ、前記基板から前記第２絶縁膜に向かう第１方向において、前記第２絶縁膜の膜厚と同じ厚さを有する第１配線と、
前記第２絶縁膜および前記第１絶縁膜中に延在し、前記第２絶縁膜の前記表面から前記第１絶縁膜中に至る前記第１方向の長さを有する第１コイルであって、前記第１コイルの前記第１方向の長さは、前記第１配線の前記第１方向の厚さよりも大きい、第１コイルと、
前記第２絶縁膜上に設けられ、前記第１配線および前記第１コイルを覆う第３絶縁膜と、
前記第３絶縁膜の前記第２絶縁膜に向き合う裏面とは反対の表面側に設けられ、前記第１コイルに対向する第２コイルと、
を備えたアイソレータ。
続きを表示（約 580 文字）【請求項２】
前記第１絶縁膜と前記第２絶縁膜との間に設けられる第４絶縁膜をさらに備え、
前記第１配線は、前記第４絶縁膜に接するように設けられる請求項１記載のアイソレータ。
【請求項３】
前記第４絶縁膜は、前記第１絶縁膜および前記第２絶縁膜のそれぞれの組成とは異なる組成を有する請求項２記載のアイソレータ。
【請求項４】
前記第４絶縁膜は、前記第１コイルに接しない位置に設けられる請求項２記載のアイソレータ。
【請求項５】
前記第１絶縁膜中に設けられ、前記基板と前記第１配線との間に位置する層間配線をさらに備え、
前記第１配線は、前記第１絶縁膜および前記第４絶縁膜中に設けられるコンタクトホールを介して、前記層間配線に接続される請求項２記載のアイソレータ。
【請求項６】
前記第１絶縁膜は、前記基板と前記第１コイルとの間に位置する導電部材を含まない請求項１記載のアイソレータ。
【請求項７】
前記第３絶縁膜は、前記第２絶縁膜とは異なる組成を有する請求項１記載のアイソレータ。
【請求項８】
前記第２絶縁膜の前記表面に沿った第２方向において、前記第１配線は、前記第１コイルの線幅よりも広い幅を有する請求項１乃至７のいずれか１つに記載のアイソレータ。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
実施形態は、アイソレータに関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
電力制御に用いられるアイソレータには、低コスト化が求められる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１９－１６７９９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
実施形態は、製造歩留りを向上させるアイソレータを提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
実施形態に係るアイソレータは、基板と、第１乃至第３絶縁膜と、第１配線と、第１および第２コイルと、を備える。前記第１絶縁膜は、前記基板上に設けられ、前記第２絶縁膜は、前記第１絶縁膜上に設けられる。前記第１配線は、前記第２絶縁膜中に設けられ、前記基板から前記第２絶縁膜に向かう第１方向において、前記第２絶縁膜の膜厚と同じ厚さを有する。前記第１コイルは、前記第２絶縁膜および前記第１絶縁膜中に延在し、前記第２絶縁膜の前記第１絶縁膜に向き合う裏面の反対側の表面から前記第１絶縁膜中に至る前記第１方向の長さを有し、前記第１コイルの前記第１方向の長さは、前記第１配線の前記第１方向の厚さよりも大きい。前記第３絶縁膜は、前記第２絶縁膜上に設けられ、前記第１配線および前記第１コイルを覆う。前記第２コイルは、前記第３絶縁膜の前記第２絶縁膜に向き合う裏面とは反対の表面側に設けられ、前記第１コイルに対向する。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
実施形態に係るアイソレータを示す模式断面図である。
実施形態に係るアイソレータを示す模式平面図である。
実施形態に係るアイソレータの製造過程を示す模式断面図である。
図３に続く製造過程を示す模式断面図である。
比較例に係るアイソレータの製造過程を示す模式断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
以下、実施の形態について図面を参照しながら説明する。図面中の同一部分には、同一番号を付してその詳しい説明は適宜省略し、異なる部分について説明する。なお、図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚みと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。また、同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
【０００８】
さらに、各図中に示すＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸を用いて各部分の配置および構成を説明する。Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、相互に直交し、それぞれＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向を表す。また、Ｚ方向を上方、その反対方向を下方として説明する場合がある。
【０００９】
図１は、実施形態に係るアイソレータ１を示す模式断面図である。アイソレータ１は、１次側コイル（以下、第１コイルＣ１）と、２次側コイル（以下、第２コイルＣ２）と、の間の磁気結合を介して、１次側から２次側へ信号を伝送するように構成される。
【００１０】
図１に示すように、アイソレータ１は、基板１０と、第１絶縁膜２０と、第２絶縁膜３０と、第３絶縁膜４０と、第１配線ＩＣ１と、第２配線ＩＣ２と、第１コイルＣ１と、第２コイルＣ２と、を備える。
（【００１１】以降は省略されています）

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