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公開番号2024046070
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-04-03
出願番号2022151235
出願日2022-09-22
発明の名称アイソレータ
出願人株式会社東芝,東芝デバイス&ストレージ株式会社
代理人弁理士法人iX
主分類H01L 21/822 20060101AFI20240327BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】製造歩留りを向上させるアイソレータを提供する。
【解決手段】アイソレータは、基板と、第1乃至第3絶縁膜と、第1配線と、第1および第2コイルと、を備える。前記第1絶縁膜は、前記基板上に設けられ、前記第2絶縁膜は、前記第1絶縁膜上に設けられる。前記第1配線は、前記第2絶縁膜中に設けられ、前記基板から前記第2絶縁膜に向かう第1方向において、前記第2絶縁膜の膜厚と同じ厚さを有する。前記第1コイルは、前記第1絶縁膜および前記第2絶縁膜中に延在し、前記第2絶縁膜の上面から前記第1絶縁膜中に至る前記第1方向の長さを有し、前記第1コイルの前記第1方向の長さは、前記第1配線の前記第1方向の厚さよりも大きい。前記第3絶縁膜は、前記第2絶縁膜上に設けられ、前記第1配線および前記第1コイルを覆う。前記第2コイルは、前記第3絶縁膜の上表面側に設けられ、前記第1コイルに対向する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項1】
基板と、
前記基板上に設けられる第1絶縁膜と、
前記第1絶縁膜上に設けられ、前記第1絶縁膜に向き合う裏面と、その反対側の表面とを有する第2絶縁膜と、
前記第2絶縁膜中に設けられ、前記基板から前記第2絶縁膜に向かう第1方向において、前記第2絶縁膜の膜厚と同じ厚さを有する第1配線と、
前記第2絶縁膜および前記第1絶縁膜中に延在し、前記第2絶縁膜の前記表面から前記第1絶縁膜中に至る前記第1方向の長さを有する第1コイルであって、前記第1コイルの前記第1方向の長さは、前記第1配線の前記第1方向の厚さよりも大きい、第1コイルと、
前記第2絶縁膜上に設けられ、前記第1配線および前記第1コイルを覆う第3絶縁膜と、
前記第3絶縁膜の前記第2絶縁膜に向き合う裏面とは反対の表面側に設けられ、前記第1コイルに対向する第2コイルと、
を備えたアイソレータ。
続きを表示(約 580 文字)【請求項2】
前記第1絶縁膜と前記第2絶縁膜との間に設けられる第4絶縁膜をさらに備え、
前記第1配線は、前記第4絶縁膜に接するように設けられる請求項1記載のアイソレータ。
【請求項3】
前記第4絶縁膜は、前記第1絶縁膜および前記第2絶縁膜のそれぞれの組成とは異なる組成を有する請求項2記載のアイソレータ。
【請求項4】
前記第4絶縁膜は、前記第1コイルに接しない位置に設けられる請求項2記載のアイソレータ。
【請求項5】
前記第1絶縁膜中に設けられ、前記基板と前記第1配線との間に位置する層間配線をさらに備え、
前記第1配線は、前記第1絶縁膜および前記第4絶縁膜中に設けられるコンタクトホールを介して、前記層間配線に接続される請求項2記載のアイソレータ。
【請求項6】
前記第1絶縁膜は、前記基板と前記第1コイルとの間に位置する導電部材を含まない請求項1記載のアイソレータ。
【請求項7】
前記第3絶縁膜は、前記第2絶縁膜とは異なる組成を有する請求項1記載のアイソレータ。
【請求項8】
前記第2絶縁膜の前記表面に沿った第2方向において、前記第1配線は、前記第1コイルの線幅よりも広い幅を有する請求項1乃至7のいずれか1つに記載のアイソレータ。

発明の詳細な説明【技術分野】
【0001】
実施形態は、アイソレータに関する。
続きを表示(約 1,400 文字)【背景技術】
【0002】
電力制御に用いられるアイソレータには、低コスト化が求められる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
特開2019-16799号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
実施形態は、製造歩留りを向上させるアイソレータを提供する。
【課題を解決するための手段】
【0005】
実施形態に係るアイソレータは、基板と、第1乃至第3絶縁膜と、第1配線と、第1および第2コイルと、を備える。前記第1絶縁膜は、前記基板上に設けられ、前記第2絶縁膜は、前記第1絶縁膜上に設けられる。前記第1配線は、前記第2絶縁膜中に設けられ、前記基板から前記第2絶縁膜に向かう第1方向において、前記第2絶縁膜の膜厚と同じ厚さを有する。前記第1コイルは、前記第2絶縁膜および前記第1絶縁膜中に延在し、前記第2絶縁膜の前記第1絶縁膜に向き合う裏面の反対側の表面から前記第1絶縁膜中に至る前記第1方向の長さを有し、前記第1コイルの前記第1方向の長さは、前記第1配線の前記第1方向の厚さよりも大きい。前記第3絶縁膜は、前記第2絶縁膜上に設けられ、前記第1配線および前記第1コイルを覆う。前記第2コイルは、前記第3絶縁膜の前記第2絶縁膜に向き合う裏面とは反対の表面側に設けられ、前記第1コイルに対向する。
【図面の簡単な説明】
【0006】
実施形態に係るアイソレータを示す模式断面図である。
実施形態に係るアイソレータを示す模式平面図である。
実施形態に係るアイソレータの製造過程を示す模式断面図である。
図3に続く製造過程を示す模式断面図である。
比較例に係るアイソレータの製造過程を示す模式断面図である。
【発明を実施するための形態】
【0007】
以下、実施の形態について図面を参照しながら説明する。図面中の同一部分には、同一番号を付してその詳しい説明は適宜省略し、異なる部分について説明する。なお、図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚みと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。また、同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
【0008】
さらに、各図中に示すX軸、Y軸およびZ軸を用いて各部分の配置および構成を説明する。X軸、Y軸、Z軸は、相互に直交し、それぞれX方向、Y方向、Z方向を表す。また、Z方向を上方、その反対方向を下方として説明する場合がある。
【0009】
図1は、実施形態に係るアイソレータ1を示す模式断面図である。アイソレータ1は、1次側コイル(以下、第1コイルC1)と、2次側コイル(以下、第2コイルC2)と、の間の磁気結合を介して、1次側から2次側へ信号を伝送するように構成される。
【0010】
図1に示すように、アイソレータ1は、基板10と、第1絶縁膜20と、第2絶縁膜30と、第3絶縁膜40と、第1配線IC1と、第2配線IC2と、第1コイルC1と、第2コイルC2と、を備える。
(【0011】以降は省略されています)

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