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公開番号2024037033
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-03-18
出願番号2022141660
出願日2022-09-06
発明の名称X線厚さ計
出願人株式会社東芝,東芝インフラシステムズ株式会社
代理人弁理士法人iX
主分類G01B 15/02 20060101AFI20240311BHJP(測定;試験)
要約【課題】被測定板の厚さの測定精度を高くすることができるX線厚さ計を提供すること。
【解決手段】X線厚さ計は、X線を出射するX線源と、前記X線源を収容するケースと、前記X線源からのX線を前記ケース外に位置する被測定板に向けて透過させる窓とを有するX線発生器と、前記被測定板を透過したX線を検出する検出器と、前記検出器の検出信号を、検量線テーブルに基づいて前記被測定板の厚さに換算する処理装置と、を備え、前記X線発生器は、前記窓に付着した付着物で反射したX線を検出する補助検出器を前記ケース内に有する。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項1】
X線を出射するX線源と、前記X線源を収容するケースと、前記X線源からのX線を前記ケース外に位置する被測定板に向けて透過させる窓とを有するX線発生器と、
前記被測定板を透過したX線を検出する検出器と、
前記検出器の検出信号を、検量線テーブルに基づいて前記被測定板の厚さに換算する処理装置と、
を備え、
前記X線発生器は、前記窓に付着した付着物で反射したX線を検出する補助検出器を前記ケース内に有するX線厚さ計。
続きを表示(約 430 文字)【請求項2】
前記X線発生器は、前記ケース内に補助X線源をさらに有し、
前記補助検出器は、前記補助X線源から出射し、前記窓に付着した付着物で反射したX線を検出可能な位置に配置される請求項1に記載のX線厚さ計。
【請求項3】
複数の前記補助検出器が、平面視において前記窓を挟む位置に配置される請求項2に記載のX線厚さ計。
【請求項4】
前記補助X線源の出力は、前記X線源の出力よりも低い請求項2または3に記載のX線厚さ計。
【請求項5】
前記補助検出器は平面視における前記窓の周囲を回転移動され、前記補助検出器の位置と対応づけられた前記補助検出器の検出信号により、前記窓に付着した付着物を検出する請求項1に記載のX線厚さ計。
【請求項6】
前記窓は回転され、前記窓の回転角と対応づけられた前記補助検出器の検出信号により、前記窓に付着した付着物を検出する請求項1に記載のX線厚さ計。

発明の詳細な説明【技術分野】
【0001】
実施形態は、X線厚さ計に関する。
続きを表示(約 1,400 文字)【背景技術】
【0002】
X線厚さ計は、例えば鋼板等の被測定板を透過するX線の透過線量(透過したX線の減衰量)が、被測定板の厚さに応じて変化することを利用して、被測定板の厚さを測定する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
特開2008-3060号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
X線発生器はケースに納められており、ケースにはX線が透過する窓がついている。この窓に汚れが付着すると、被測定板に照射するX線量が減少し、被測定板の厚さの測定精度に誤差が生じ得る。測定開始前に校正を行うことで窓に付いた汚れによる誤差を取り除くことはできるが、被測定板の厚さの測定開始後に窓に汚れが付着した場合には、汚れが付着したことを検出することができないため、被測定板の厚さの測定に誤差が生じてしまう。
実施形態は、被測定板の厚さの測定精度を高くすることができるX線厚さ計を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0005】
実施形態によれば、X線厚さ計は、X線を出射するX線源と、前記X線源を収容するケースと、前記X線源からのX線を前記ケース外に位置する被測定板に向けて透過させる窓とを有するX線発生器と、前記被測定板を透過したX線を検出する検出器と、前記検出器の検出信号を、検量線テーブルに基づいて前記被測定板の厚さに換算する処理装置と、を備え、前記X線発生器は、前記窓に付着した付着物で反射したX線を検出する補助検出器を前記ケース内に有する。
【図面の簡単な説明】
【0006】
各実施形態のX線厚さ計の構成を示す模式図である。
第1実施形態のX線発生器の構成を示す模式図である。
第2実施形態のX線発生器の構成を示す模式図である。
(a)は第3実施形態における補助検出器を説明するための模式図であり、(b)は第4実施形態における窓を説明するための模式図である。
【発明を実施するための形態】
【0007】
以下、図面を参照し、実施形態について説明する。なお、各図面中、同じ構成には同じ符号を付している。
【0008】
図1に示すように、各実施形態のX線厚さ計は、X線発生器10と、検出器20と、処理装置30と、記憶装置40とを備える。図1において各構成をつなぐ線は、各構成を接続する信号線を表す。信号線は、有線でも無線でもよい。
【0009】
図2に示すように、第1実施形態のX線発生器10は、X線を出射するX線源11と、X線源11を収容するケース12とを有する。X線源11は、例えば、X線管(乾球)内の放電によりX線を発生する。ケース12は、X線に対して遮蔽性を有する材料からなり、例えば、ステンレスからなる。ケース12の天板14には、X線源11からのX線50をケース12外に位置する被測定板100に向けて透過させる窓13が形成されている。窓13は、X線に対して透過性を有する材料からなり、例えば、ベリリウムからなる。
【0010】
図1に示すように、X線発生器10の窓13を透過したX線は、被測定板100に照射される。被測定板100は、例えば、鉄やアルミニウムなどを主成分する金属板である。
(【0011】以降は省略されています)

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