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公開番号2024037033
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-03-18
出願番号2022141660
出願日2022-09-06
発明の名称X線厚さ計
出願人株式会社東芝,東芝インフラシステムズ株式会社
代理人弁理士法人iX
主分類G01B 15/02 20060101AFI20240311BHJP(測定;試験)
要約【課題】被測定板の厚さの測定精度を高くすることができるX線厚さ計を提供すること。
【解決手段】X線厚さ計は、X線を出射するX線源と、前記X線源を収容するケースと、前記X線源からのX線を前記ケース外に位置する被測定板に向けて透過させる窓とを有するX線発生器と、前記被測定板を透過したX線を検出する検出器と、前記検出器の検出信号を、検量線テーブルに基づいて前記被測定板の厚さに換算する処理装置と、を備え、前記X線発生器は、前記窓に付着した付着物で反射したX線を検出する補助検出器を前記ケース内に有する。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
Ｘ線を出射するＸ線源と、前記Ｘ線源を収容するケースと、前記Ｘ線源からのＸ線を前記ケース外に位置する被測定板に向けて透過させる窓とを有するＸ線発生器と、
前記被測定板を透過したＸ線を検出する検出器と、
前記検出器の検出信号を、検量線テーブルに基づいて前記被測定板の厚さに換算する処理装置と、
を備え、
前記Ｘ線発生器は、前記窓に付着した付着物で反射したＸ線を検出する補助検出器を前記ケース内に有するＸ線厚さ計。
続きを表示（約 430 文字）【請求項２】
前記Ｘ線発生器は、前記ケース内に補助Ｘ線源をさらに有し、
前記補助検出器は、前記補助Ｘ線源から出射し、前記窓に付着した付着物で反射したＸ線を検出可能な位置に配置される請求項１に記載のＸ線厚さ計。
【請求項３】
複数の前記補助検出器が、平面視において前記窓を挟む位置に配置される請求項２に記載のＸ線厚さ計。
【請求項４】
前記補助Ｘ線源の出力は、前記Ｘ線源の出力よりも低い請求項２または３に記載のＸ線厚さ計。
【請求項５】
前記補助検出器は平面視における前記窓の周囲を回転移動され、前記補助検出器の位置と対応づけられた前記補助検出器の検出信号により、前記窓に付着した付着物を検出する請求項１に記載のＸ線厚さ計。
【請求項６】
前記窓は回転され、前記窓の回転角と対応づけられた前記補助検出器の検出信号により、前記窓に付着した付着物を検出する請求項１に記載のＸ線厚さ計。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
実施形態は、Ｘ線厚さ計に関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
Ｘ線厚さ計は、例えば鋼板等の被測定板を透過するＸ線の透過線量（透過したＸ線の減衰量）が、被測定板の厚さに応じて変化することを利用して、被測定板の厚さを測定する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２００８－３０６０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
Ｘ線発生器はケースに納められており、ケースにはＸ線が透過する窓がついている。この窓に汚れが付着すると、被測定板に照射するＸ線量が減少し、被測定板の厚さの測定精度に誤差が生じ得る。測定開始前に校正を行うことで窓に付いた汚れによる誤差を取り除くことはできるが、被測定板の厚さの測定開始後に窓に汚れが付着した場合には、汚れが付着したことを検出することができないため、被測定板の厚さの測定に誤差が生じてしまう。
実施形態は、被測定板の厚さの測定精度を高くすることができるＸ線厚さ計を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
実施形態によれば、Ｘ線厚さ計は、Ｘ線を出射するＸ線源と、前記Ｘ線源を収容するケースと、前記Ｘ線源からのＸ線を前記ケース外に位置する被測定板に向けて透過させる窓とを有するＸ線発生器と、前記被測定板を透過したＸ線を検出する検出器と、前記検出器の検出信号を、検量線テーブルに基づいて前記被測定板の厚さに換算する処理装置と、を備え、前記Ｘ線発生器は、前記窓に付着した付着物で反射したＸ線を検出する補助検出器を前記ケース内に有する。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
各実施形態のＸ線厚さ計の構成を示す模式図である。
第１実施形態のＸ線発生器の構成を示す模式図である。
第２実施形態のＸ線発生器の構成を示す模式図である。
（ａ）は第３実施形態における補助検出器を説明するための模式図であり、（ｂ）は第４実施形態における窓を説明するための模式図である。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
以下、図面を参照し、実施形態について説明する。なお、各図面中、同じ構成には同じ符号を付している。
【０００８】
図１に示すように、各実施形態のＸ線厚さ計は、Ｘ線発生器１０と、検出器２０と、処理装置３０と、記憶装置４０とを備える。図１において各構成をつなぐ線は、各構成を接続する信号線を表す。信号線は、有線でも無線でもよい。
【０００９】
図２に示すように、第１実施形態のＸ線発生器１０は、Ｘ線を出射するＸ線源１１と、Ｘ線源１１を収容するケース１２とを有する。Ｘ線源１１は、例えば、Ｘ線管（乾球）内の放電によりＸ線を発生する。ケース１２は、Ｘ線に対して遮蔽性を有する材料からなり、例えば、ステンレスからなる。ケース１２の天板１４には、Ｘ線源１１からのＸ線５０をケース１２外に位置する被測定板１００に向けて透過させる窓１３が形成されている。窓１３は、Ｘ線に対して透過性を有する材料からなり、例えば、ベリリウムからなる。
【００１０】
図１に示すように、Ｘ線発生器１０の窓１３を透過したＸ線は、被測定板１００に照射される。被測定板１００は、例えば、鉄やアルミニウムなどを主成分する金属板である。
（【００１１】以降は省略されています）

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