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公開番号2024027591
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-03-01
出願番号2022130499
出願日2022-08-18
発明の名称光学部材の製造方法
出願人日亜化学工業株式会社
代理人個人,個人
主分類G02B 1/115 20150101AFI20240222BHJP(光学)
要約【課題】ベーマイト層の破損を低減できる光学部材の製造方法を提供する。
【解決手段】光学部材の製造方法は、透光性基板の上に、酸化アルミニウムからなり、第1厚さを有する第1層を原子層堆積法により形成する工程と、前記第1層の表層をベーマイト層とする工程と、前記第1厚さより小さい第2厚さを有し、前記ベーマイト層を覆う第2層を原子層堆積法により形成する工程と、を有する。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
透光性基板の上に、酸化アルミニウムからなり、第１厚さを有する第１層を原子層堆積法により形成する工程と、
前記第１層の表層をベーマイト層とする工程と、
前記第１厚さより小さい第２厚さを有し、前記ベーマイト層を覆う第２層を原子層堆積法により形成する工程と、
を有する、光学部材の製造方法。
続きを表示（約 650 文字）【請求項２】
前記第１層の表層を前記ベーマイト層とする工程は、前記第１層を温度が７０℃以上の水に浸漬する工程を有する、請求項１に記載の光学部材の製造方法。
【請求項３】
前記第１層を形成する工程の前に、前記透光性基板の上に第３層を形成する工程を有し、
前記第１層は前記第３層の上に形成され、
前記第３層の屈折率は、前記透光性基板の屈折率よりも低く、かつ前記ベーマイト層の屈折率よりも高い、請求項１又は２に記載の光学部材の製造方法。
【請求項４】
前記第３層を形成する工程の前に、前記透光性基板の上に酸化アルミニウムからなる第４層を形成する工程を有し、
前記第３層は前記第４層の上に形成される、請求項３に記載の光学部材の製造方法。
【請求項５】
前記第１厚さは、５ｎｍ以上１００ｎｍ以下である、請求項１又は２に記載の光学部材の製造方法。
【請求項６】
前記第２厚さは、４ｎｍ以上１５ｎｍ以下である、請求項１又は２に記載の光学部材の製造方法。
【請求項７】
前記第２層は、酸化珪素、酸化アルミニウム、五酸化ニオブ、五酸化タンタル、酸化ハフニウム、酸化ジルコニウム、酸化チタン及び酸化亜鉛からなる群から選択された少なくとも１種を含む、請求項１又は２に記載の光学部材の製造方法。
【請求項８】
前記透光性基板は、サファイア基板である、請求項１又は２に記載の光学部材の製造方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、光学部材の製造方法に関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
反射防止機能を有する部材の製造方法として、基材の上に原子層堆積法により酸化アルミニウム膜を形成し、酸化アルミニウム膜の水熱処理を施して微細凹凸構造を形成する方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。酸化アルミニウム膜の水熱処理により形成される微細凹凸構造はベーマイトから構成される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１５－１１４３８１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ベーマイトから構成される微細な凹凸構造は強度が低く、微細な凹凸構造が破損しやすい。微細な凹凸構造は、例えば、指で擦る程度でも破損してしまう。このため、上記の微細な凹凸構造を備えた光学部材においては、安定した光学特性を得ることができない。
【０００５】
本開示は、ベーマイト層の破損を低減できる光学部材の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
開示の技術の一態様によれば、光学部材の製造方法は、透光性基板の上に、酸化アルミニウムからなり、第１厚さを有する第１層を原子層堆積法により形成する工程と、前記第１層の表層をベーマイト層とする工程と、前記第１厚さより小さい第２厚さを有し、前記ベーマイト層を覆う第２層を原子層堆積法により形成する工程と、を有する。
【発明の効果】
【０００７】
本開示によれば、ベーマイト層の破損を低減できる光学部材の製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
第１実施形態に係る光学部材の製造方法を説明するための断面図（その１）である。
第１実施形態に係る光学部材の製造方法を説明するための断面図（その２）である。
第１実施形態に係る光学部材の製造方法を説明するための断面図（その３）である。
第１実施形態に係る光学部材の製造方法を説明するための断面図（その４）である。
ベーマイト層の表面の形状の一例を説明するための模式図である。
ベーマイト層の表面の走査型電子顕微鏡写真の一例を示す図である。
酸化珪素層の表面の走査型電子顕微鏡写真の一例を示す図である。
第２実施形態に係る光学部材の製造方法を説明するための断面図（その１）である。
第２実施形態に係る光学部材の製造方法を説明するための断面図（その２）である。
第２実施形態に係る光学部材の製造方法を説明するための断面図（その４）である。
光学部材を含む発光装置の例を説明するための図である。
酸化珪素層の厚さと反射率との関係を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、図面を参照しながら、本開示を実施するための実施形態を説明する。以下の説明は、本開示の技術思想を具体化するためのものであって、特定的な記載がない限り、本開示を以下の記載に限定するものではない。
【００１０】
各図面中、同一の機能を有する部材には、同一符号を付している場合がある。要点の説明または理解の容易性を考慮して、便宜上実施形態に分けて示す場合があるが、異なる実施形態や実施例で示した構成の部分的な置換または組み合わせは可能である。後に示す実施形態では、先に示した実施形態との異なる事項について主に説明し、先に示した実施形態と共通の事柄について重複する説明を省略することがある。各図面が示す部材の大きさや位置関係等は、説明を明確にするため、誇張して示している場合がある。
（【００１１】以降は省略されています）

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