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公開番号
2024024311
公報種別
公開特許公報(A)
公開日
2024-02-22
出願番号
2022127070
出願日
2022-08-09
発明の名称
磁気センサ及び検査装置
出願人
株式会社東芝
代理人
弁理士法人iX
主分類
G01R
33/09 20060101AFI20240215BHJP(測定;試験)
要約
【課題】安定した動作が可能な磁気センサ及び検査装置を提供する。
【解決手段】実施形態によれば、磁気センサは、素子部及び導電層を含む。素子部は、第1第2磁気素子、第1、第2導電部材を含む。第1磁気素子は、第1端部及び第1他端部を含む。第1端部から第1他端部への方向は、第1方向に沿う。第2磁気素子は、第2端部及び第2他端部を含む。第2端部から第2他端部への方向は、第1方向に沿う。第2端部は、第1他端部と電気的に接続される。導電層から素子部への第2方向は、第1方向と交差する。導電層は、第1導電部分及び第1他導電部分を含む。第1導電部分から第1他導電部分への第3方向は、第1方向及び第2方向を含む平面と交差する。
【選択図】図1
特許請求の範囲
【請求項1】
第1磁気素子、第2磁気素子、第1導電部材、及び、第2導電部材を含む素子部であって、
前記第1磁気素子は、第1端部及び第1他端部を含み、前記第1端部から前記第1他端部への方向は、第1方向に沿い、
前記第2磁気素子は、第2端部及び第2他端部を含み、前記第2端部から前記第2他端部への方向は、前記第1方向に沿い、前記第2端部は、前記第1他端部と電気的に接続され、
前記第1導電部材は、第1部分及び第1他部分を含み、前記第1部分は前記第1端部に対応し、前記第1他部分は前記第1他端部に対応し、
前記第2導電部材は、第2部分及び第2他部分を含み、前記第2部分は前記第2端部に対応し、前記第2他部分は、前記第2他端部に対応する、前記素子部と、
導電層であって、前記導電層から前記素子部への第2方向は、前記第1方向と交差し、前記導電層は、第1導電部分及び第1他導電部分を含み、前記第1導電部分から前記第1他導電部分への第3方向は、前記第1方向及び前記第2方向を含む平面と交差する前記導電層と、
を備えた磁気センサ。
続きを表示(約 1,800 文字)
【請求項2】
電流回路と、
第1回路と、
をさらに備え、
前記電流回路は、第1期間において、前記第1導電部分と前記第1他導電部分との間に導電層電流を供給し、
前記電流回路は、第2期間において、前記第1導電部分と前記第1他導電部分との間に前記導電層電流を供給せず、
前記第1回路は、前記第2期間において、前記第1導電部材及び前記第2導電部材に交流成分を含む第1電流を供給可能である、請求項1に記載の磁気センサ。
【請求項3】
第2回路と、
第3回路と、
をさらに備え、
前記第2回路及び前記第3回路は、前記第2期間において、検出動作を実施可能であり、
前記検出動作において、前記第2回路は、前記第1磁気素子及び前記第2磁気素子に素子電流または素子電圧を供給し、前記第3回路は、前記第1磁気素子の第1電気抵抗と、前記第2磁気素子の第2電気抵抗と、の差に対応する信号を検出可能である、請求項2に記載の磁気センサ。
【請求項4】
前記素子電流は、前記第1他端部から前記第1端部へ流れ、
前記素子電流は、前記第2他端部から前記第2端部へ流れ、
前記第1電流が前記第2他部分から前記第2部分へ流れているときに、前記第1電流は、前記第1部分から前記第1他部分へ流れる、請求項3に記載の磁気センサ。
【請求項5】
前記素子部は、第3磁気素子、第4磁気素子、第3導電部材、及び、第4導電部材をさらに含み、
前記第3磁気素子は、第3端部及び第3他端部を含み、前記第3端部から前記第3他端部への方向は、前記第1方向に沿い、前記第3端部は、前記第1端部と電気的に接続され、
前記第4磁気素子は、第4端部及び第4他端部を含み、前記第4端部から前記第4他端部への方向は、前記第1方向に沿い、前記第4端部は、前記第3他端部と電気的に接続され、前記第4他端部は、前記第2他端部と電気的に接続され、
前記第3導電部材は、第3部分及び第3他部分を含み、前記第3部分は前記第3端部に対応し、前記第3他部分は前記第3他端部に対応し、
前記第4導電部材は、第4部分及び第4他部分を含み、前記第4部分は前記第4端部に対応し、前記第4他部分は、前記第4他端部に対応し、
前記第1回路は、前記第2期間において、前記第3導電部材及び前記第4導電部材に前記第1電流を供給可能であり、
前記検出動作において、前記第2回路は、前記第1端部と前記第3端部との第1接続点と、前記第2他端部と前記第4他端部との第2接続点と、の間に、前記素子電流または前記素子電圧を供給し、
前記素子電流は、前記第3他端部から前記第3端部へ流れ、
前記素子電流は、前記第4他端部から前記第4端部へ流れる、請求項4に記載の磁気センサ。
【請求項6】
前記第3回路は、前記検出動作において、前記第1他端部と前記第2端部との第3接続点と、前記第3他端部と前記第4端部との第4接続点と、の間の電位差に対応する検出信号を検出可能である、請求項5に記載の磁気センサ。
【請求項7】
前記第3回路は、前記検出信号を、前記交流成分を参照信号とした検波を実施可能である、請求項6に記載の磁気センサ。
【請求項8】
第1基板と、
第1絶縁部材と、
をさらに備え、
前記導電層は、前記第1基板と前記素子部との間に設けられ、
前記第1絶縁部材は、前記導電層と前記素子部との間に設けられた、請求項1に記載の磁気センサ。
【請求項9】
第1基板と、
第2基板と、
第1絶縁部材と、
をさらに備え、
前記第1絶縁部材は、前記第1基板と構造体との間に設けられ、
前記構造体は、前記素子部、前記導電層、及び、前記第2基板を含み、
前記導電層は、前記第2基板と前記素子部との間に設けられた、請求項1に記載の磁気センサ。
【請求項10】
請求項1~9のいずれか1つに記載の磁気センサと、
前記磁気センサから得られる出力信号を処理する処理部と、
を備えた検査装置。
発明の詳細な説明
【技術分野】
【0001】
本発明の実施形態は、磁気センサ及び検査装置に関する。
続きを表示(約 2,100 文字)
【背景技術】
【0002】
磁性層を用いた磁気センサがある。磁気センサを用いた検査装置がある。磁気センサにおいて、安定した動作が望まれる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
特開2019-207167号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
本発明の実施形態は、安定した動作が可能な磁気センサ及び検査装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【0005】
本発明の実施形態によれば、磁気センサは、素子部及び導電層を含む。前記素子部は、第1磁気素子、第2磁気素子、第1導電部材、及び、第2導電部材を含む。前記第1磁気素子は、第1端部及び第1他端部を含む。前記第1端部から前記第1他端部への方向は、第1方向に沿う。前記第2磁気素子は、第2端部及び第2他端部を含む。前記第2端部から前記第2他端部への方向は、前記第1方向に沿う。前記第2端部は、前記第1他端部と電気的に接続される。前記第1導電部材は、第1部分及び第1他部分を含む。前記第1部分は前記第1端部に対応する。前記第1他部分は前記第1他端部に対応する。前記第2導電部材は、第2部分及び第2他部分を含む。前記第2部分は前記第2端部に対応する。前記第2他部分は、前記第2他端部に対応する。前記導電層から前記素子部への第2方向は、前記第1方向と交差する。前記導電層は、第1導電部分及び第1他導電部分を含む。前記第1導電部分から前記第1他導電部分への第3方向は、前記第1方向及び前記第2方向を含む平面と交差する。
【図面の簡単な説明】
【0006】
図1は、第1実施形態に係る磁気センサを例示する模式図である。
図2は、第1実施形態に係る磁気センサを例示する模式図である。
図3は、第1実施形態に係る磁気センサを例示する模式図である。
図4(a)及び図4(b)は、第1実施形態に係る磁気センサを例示する模式的平面図である。
図5(a)~図5(c)は、第1実施形態に係る磁気センサにおける動作を例示する模式図である。
図6(a)~図6(d)は、第1実施形態に係る磁気センサにおける動作を例示する模式図である。
図7(a)及び図7(b)は、第1実施形態に係る磁気センサにおける動作を例示する模式図である。
図8は、第1実施形態に係る磁気センサの特性を例示するグラフ図である。
図9(a)~図9(c)は、第1実施形態に係る磁気センサの特性を例示するグラフ図である。
図10(a)及び図10(b)は、第1実施形態に係る磁気センサを例示する模式的平面図である。
図11(a)及び図11(b)は、第1実施形態に係る磁気センサを例示する模式的断面図である。
図12は、第1実施形態に係る磁気センサを例示する模式図である。
図13は、第2実施形態に係る検査装置を示す模式的斜視図である。
図14は、第2実施形態に係る検査装置を示す模式的平面図である。
図15は、実施形態に係るセンサ及び検査装置を示す模式図である。
図16は、実施形態に係る検査装置を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【0007】
以下に、本発明の各実施の形態について図面を参照しつつ説明する。
図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚さと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
【0008】
(第1実施形態)
図1~図3は、第1実施形態に係る磁気センサを例示する模式図である。
図1は、平面図である。図2は、図1のA1-A2線断面図である。図3は、図1のB1-B2線断面図である。
図4(a)及び図4(b)は、第1実施形態に係る磁気センサを例示する模式的平面図である。
【0009】
図1~図3に示すように、実施形態に係る磁気センサ110は、素子部10E及び導電層65を含む。素子部10Eは、第1磁気素子11、第2磁気素子12、第1導電部材21、及び、第2導電部材22を含む。この例では、素子部10Eは、第3磁気素子13、第4磁気素子14、第3導電部材23、及び、第4導電部材24を含む。第3磁気素子13、第4磁気素子14、第3導電部材23、及び、第4導電部材24に関しては後述する。
【0010】
図4(a)は、第1導電部材21、第2導電部材22、第3導電部材23、及び、第4導電部材24を例示している。図4(b)は、第1磁気素子11、第2磁気素子12、第3磁気素子13、及び、第4磁気素子14を例示している。
(【0011】以降は省略されています)
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