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公開番号2024021231
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-02-16
出願番号2022123928
出願日2022-08-03
発明の名称イオン源
出願人日新イオン機器株式会社
代理人
主分類H01J 37/08 20060101AFI20240208BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】メンテナンス作業を容易に行うことができるイオン源を提供する。
【解決手段】
イオン源10は内部からイオンビームが引き出される容器11を備え、容器11は、内部でプラズマが生成されるプラズマ生成部12と、イオンビームを取り出すための電極を収容する電極収容部13を有する。イオン源10は、電極収容部13が装置本体2に固定された状態で、プラズマ生成部12が所定の軌道で電極収容部13から離脱し得るよう構成されている。
【選択図】図1

特許請求の範囲【請求項１】
装置本体に取り付けられる容器を備え、前記容器の内部からイオンビームを一方向に引き出すイオン源であって、
前記容器が、
内部でプラズマが生成されるプラズマ生成部と、
前記イオンビームを取り出すための電極を収容し、前記プラズマ生成部に前記一方向に重ね合わされた状態で前記装置本体に固定される電極収容部と、を有し、
前記プラズマ生成部が、前記電極収容部が前記装置本体に固定された状態で、所定の軌道で前記電極収容部から離脱し得るよう構成されているイオン源。
続きを表示（約 400 文字）【請求項２】
前記電極収容部が前記装置本体に固定された状態で、前記プラズマ生成部が水平方向に平行な所定の回転軸中心の回転動作を行うことによって、前記プラズマ生成部が前記電極収容部から離脱するよう構成されている請求項１に記載のイオン源。
【請求項３】
前記容器が前記装置本体に取り付けられた状態における、前記プラズマ生成部の下端部と前記電極収容部の下端部とを連結するとともに、前記プラズマ生成部が前記回転動作を行うことを可能とする連結部材をさらに備える請求項２に記載のイオン源。
【請求項４】
遠隔操作によって駆動され、前記プラズマ生成部と前記電極収容部とが互いに対向した状態で前記プラズマ生成部または前記電極収容部に押圧力を加えることによって、前記プラズマ生成部を前記電極収容部に相対的に近づける押圧部材をさらに備える請求項２または３に記載のイオン源。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、イオン源に関し、特に、イオン注入装置に使用されるイオン源に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
フラットパネルディスプレイ製造工程や半導体製造工程において使用されるイオン注入装置は、イオンビームを生成するイオン源を装置本体に固定するようにして組み立てられる。従来、イオン源内に配置された部品の交換作業やイオン源内部の清掃作業等を行う場合には、イオン源を装置本体から取り外して当該作業を行った後、再びイオン源を装置本体に取り付けていた。このように、イオン源の装置本体に対する着脱作業を行う際に使用されるイオン源の移動機構として、特許文献１に開示された移動機構が知られている。
【０００３】
特許文献１に開示された移動機構は、チェーンブロックを使用し、チェーンに吊り下げられたイオン源を鉛直方向および水平方向に移動させることができる吊下機構を備えている。この移動機構は、イオン源の一部にチェーンを掛けた後、チェーンブロックを駆動させてイオン源を徐々に吊り上げていくことで、イオン源を倒伏姿勢から起立姿勢に変えることができるよう構成されている。また、チェーンでイオン源を吊り下げた状態でチェーンを徐々に下ろしていくことによって、イオン源を起立姿勢から倒伏姿勢に変えられるよう構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１９－５７３８５
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
従来のイオン源においては、イオン源内部のメンテナンス作業を行う場合には、例えば特許文献１に開示された移動機構を使用してイオン源全体を装置本体から取り外し、所定の作業を行った後、再びイオン源全体を装置本体に取り付ける必要があった。この一連の作業は、イオン源が大型になるにつれて大掛かりなものとなることから、より容易にメンテナンス作業を行えるイオン源が求められていた。
【０００６】
本発明は、上記課題を解決するものであり、従来と比較してイオン源のメンテナンス作業を容易に行うことができるイオン源を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のイオン源は、装置本体に取り付けられる容器を備え、前記容器の内部からイオンビームを一方向に引き出すイオン源であって、前記容器が、内部でプラズマが生成されるプラズマ生成部と、前記イオンビームを取り出すための電極を収容し、前記プラズマ生成部に前記一方向に重ね合わされた状態で前記装置本体に固定される電極収容部と、を有し、前記プラズマ生成部が、前記電極収容部が前記装置本体に固定された状態で、所定の軌道で前記電極収容部から離脱し得るよう構成されている。
【０００８】
この構成によれば、電極収容部が装置本体に固定された状態で、電極収容部からプラズマ生成部を離脱させることができる。したがって、プラズマ生成部を対象とした部品交換や清掃等のメンテナンス作業を行う場合には、電極収容部からプラズマ生成部を離脱させればよく、容器全体を装置本体から取り外す必要がない。
さらに、プラズマ生成部が所定の軌道で電極収容部から離脱するよう構成されていることから、プラズマ生成部を電極収容部から離脱させる作業におけるプラズマ生成部の動作が定まっており、当該作業の安全性が確保される。
【０００９】
また、本発明のイオン源は、前記電極収容部が前記装置本体に固定された状態で、前記プラズマ生成部が水平方向に平行な所定の回転軸中心の回転動作を行うことによって、前記プラズマ生成部が前記電極収容部から離脱するよう構成されている。
【００１０】
また、本発明のイオン源は、前記容器が前記装置本体に取り付けられた状態における前記プラズマ生成部の下端部と前記電極収容部の下端部とを連結するとともに、前記プラズマ生成部が前記回転動作を行うことを可能とする連結部材をさらに備えるよう構成されていてもよい。
（【００１１】以降は省略されています）

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