TOP特許意匠商標
特許ウォッチ Twitter
公開番号2024020786
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-02-15
出願番号2022123230
出願日2022-08-02
発明の名称磁気センサ
出願人アズビル株式会社
代理人個人
主分類G01R 33/09 20060101AFI20240207BHJP(測定;試験)
要約【課題】回路の信号線に流れる微弱電流を精度よく計測する。
【解決手段】この磁気センサは、まず、4つの第1磁気抵抗素子101、第2磁気抵抗素子102、第3磁気抵抗素子103、第4磁気抵抗素子104が接続されたブリッジ回路110を備える。ブリッジ回路110は、第1接続点111と第2接続点112との間の差動電圧を検出可能に構成されている。また、この磁気センサは、第1磁気抵抗素子101、第2磁気抵抗素子102、第3磁気抵抗素子103、第4磁気抵抗素子104の各々において、固定層201の磁化方向で磁気抵抗素子を挟む状態に設けられた磁気収束板105a、105b、106a、106b、107a、107b、108a、108bを備える。
【選択図】 図1
特許請求の範囲【請求項1】
入力される磁界の向きに応じて出力する抵抗値が変化する4つの磁気抵抗素子が接続され、所定の接続点間の差動電圧を検出可能に構成されたブリッジ回路と、
前記4つの磁気抵抗素子の各々において、固定層の磁化方向で磁気抵抗素子を挟む状態に設けられた2つの磁気収束板と
を備え、
前記4つの磁気抵抗素子は、直線上に配列され、
前記ブリッジ回路で直列に接続されて隣り合う磁気抵抗素子は、固定層の磁化方向が180°異なる
ことを特徴とする磁気センサ。
続きを表示(約 210 文字)【請求項2】
請求項1記載の磁気センサにおいて、
前記4つの磁気抵抗素子の固定層の磁化方向は、測定対象の磁界の方向に対して平行とされていることを特徴とする磁気センサ。
【請求項3】
請求項1または2記載の磁気センサにおいて、
前記4つの磁気抵抗素子の固定層の磁化方向は、前記4つの磁気抵抗素子が配列される直線に対して90°異なる方向とされていることを特徴とする磁気センサ。

発明の詳細な説明【技術分野】
【0001】
本発明は、磁気センサに関する。
続きを表示(約 1,200 文字)【背景技術】
【0002】
近年、業務効率化・生産性向上・品質向上を目的として工場のIoT化が活発になっている。既存工場をIoT化するにあたり、通信機能を持たない装置において状態監視の実現が求められる。装置状態を監視するために、信号線に流れる電流を計測する方法がある。一般に、制御機器の回路の信号線に流れる電流を計測するために、回路内に抵抗を直列接続し、接続した抵抗の電圧降下を測定する方法がある。
【0003】
しかし、この方法では、制御系とは異なる負荷が回路に加わることとなり、何らかの悪影響を与える可能性が生じてしまう。これに対し、回路に流れる電流によって発生する電流磁界の勾配を測定することによって、回路の信号線に流れる電流を間接的に測定する方法がある。例えば、電流線に電流が流れる事で生じる磁束をホール素子によって測定する。しかし、ホール素子では、検出感度が不足する場合がある。
【0004】
より高い検出感度を得るために、磁気抵抗効果素子でブリッジ回路を形成し、測定対象で発生する磁界の向きの変化を、磁気抵抗効果素子に入力させる磁気センサが開発されている(特許文献1)。この磁気センサによれば、磁気抵抗効果素子に入力される磁界の向きが、磁気抵抗素子間で異なる方向に変化するため、ブリッジ回路から大きな差動出力が得られ、測定精度を向上することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0005】
特開2009-276159号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
しかし、微弱電流を検出する場合には、上述した方法でも元の磁界が微小なため、精度良く測定することが困難な場合がある。
【0007】
本発明は、以上のような問題点を解消するためになされたものであり、回路の信号線に流れる微弱電流が精度よく計測できるようにすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0008】
本発明に係る磁気センサは、入力される磁界の向きに応じて出力する抵抗値が変化する4つの磁気抵抗素子が接続され、所定の接続点間の差動電圧を検出可能に構成されたブリッジ回路と、4つの磁気抵抗素子の各々において、固定層の磁化方向で磁気抵抗素子を挟む状態に設けられた2つの磁気収束板とを備え、4つの磁気抵抗素子は、直線上に配列され、ブリッジ回路で直列に接続されて隣り合う磁気抵抗素子は、固定層の磁化方向が180°異なる。
【0009】
上記磁気センサの一構成例において、4つの磁気抵抗素子の固定層の磁化方向は、測定対象の磁界の方向に対して平行とされている。
【0010】
上記磁気センサ一構成例において、4つの磁気抵抗素子の固定層の磁化方向は、4つの磁気抵抗素子が配列される直線に対して90°異なる方向とされている。
【発明の効果】
(【0011】以降は省略されています)

この特許をJ-PlatPatで参照する

関連特許

アズビル株式会社
金型
9日前
アズビル株式会社
流量制御装置
5日前
アズビル株式会社
AD変換回路
12日前
アズビル株式会社
圧力センサの製造方法
4日前
アズビル株式会社
隔膜真空計の製造方法
4日前
アズビル株式会社
制御装置および制御方法
6日前
アズビル株式会社
樹脂ライニングの成型方法
9日前
アズビル株式会社
制御装置、制御方法及び制御プログラム
4日前
アズビル株式会社
圧力センサおよび圧力センサの製造方法
4日前
アズビル株式会社
設定装置、設定方法、及び設定プログラム
6日前
アズビル株式会社
制御盤、配線基板、及び、配線基板の形成方法
5日前
アズビル株式会社
超音波センサの製造方法、超音波センサ、及び、超音波流量計
11日前
アズビル株式会社
フィールド機器監視装置、フィールド機器監視方法およびフィールド機器監視プログラム
4日前
ユニパルス株式会社
ロードセル
24日前
株式会社トプコン
測定装置
5日前
株式会社トプコン
測量装置
4日前
株式会社SUBARU
車両
6日前
ニデック株式会社
検出装置
5日前
日本精機株式会社
車両用表示装置
5日前
株式会社トプコン
測量装置
4日前
株式会社SUBARU
車両
6日前
株式会社トプコン
植物センサ
12日前
株式会社トプコン
植物センサ
12日前
本多電子株式会社
水中探知装置
5日前
株式会社島津製作所
圧力センサ
18日前
本多電子株式会社
超音波流量計
16日前
株式会社XMAT
点検システム
6日前
個人
地震予測方法及び火山活動予測方法
19日前
大和製衡株式会社
計量装置
16日前
相模石油株式会社
駐車場案内装置
23日前
エスペック株式会社
環境形成装置
23日前
株式会社JVCケンウッド
端末装置
12日前
個人
光ファイバー型センサー
18日前
中部電力株式会社
スミヤ濾紙
4日前
日立建機株式会社
作業機械
3日前
東レ株式会社
センサー素子及びガスセンサー
3日前
続きを見る