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公開番号2024006691
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-01-17
出願番号2022107817
出願日2022-07-04
発明の名称センサ及び検査装置
出願人株式会社東芝
代理人弁理士法人iX
主分類G01R 33/09 20060101AFI20240110BHJP(測定;試験)
要約【課題】特性の向上が可能なセンサ及び検査装置を提供する。
【解決手段】実施形態によれば、センサは、第1素子を含む素子部を含む。前記第1素子は、第1磁気素子と第1導電部材と第1磁性部とを含む。前記第1磁気素子は、第1磁性層及び第1対向磁性層を含む。前記第1磁性層から前記第1対向磁性層への第1方向と交差する第2方向に沿う前記第1磁気素子の長さは、前記第1方向及び前記第2方向を含む平面と交差する第3方向に沿う前記第1磁気素子の長さよりも長い。前記第1導電部材は、第1導電部分と第1他導電部分とを含む。前記第1他導電部分から前記第1導電部分への方向は前記第2方向に沿う。前記第1磁性部から前記第1磁気素子への方向は、前記第2方向に沿う。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項1】
第1素子を含む素子部を備え、
前記第1素子は、第1磁気素子と第1導電部材と第1磁性部とを含み、
前記第1磁気素子は、第1磁性層及び第1対向磁性層を含み、
前記第1磁性層から前記第1対向磁性層への第1方向と交差する第2方向に沿う前記第1磁気素子の長さは、前記第1方向及び前記第2方向を含む平面と交差する第3方向に沿う前記第1磁気素子の長さよりも長く、
前記第1導電部材は、第1導電部分と第1他導電部分とを含み、
前記第1他導電部分から前記第1導電部分への方向は前記第2方向に沿い、
前記第1磁性部から前記第1磁気素子への方向は、前記第2方向に沿う、センサ。
続きを表示(約 1,600 文字)【請求項2】
前記第3方向に沿う前記第1磁性部の長さは、前記第3方向に沿う前記第1磁気素子の前記長さよりも長い、請求項1に記載のセンサ。
【請求項3】
(制御部)
第1回路を含む制御部をさらに備え、
前記第1回路は、前記第1導電部分及び前記第1他導電部分と電気的に接続され、
前記第1回路は、前記第1導電部材に第1電流を供給可能であり、
前記第1電流は、交流成分を含み、
前記第1電流の極小値は第1極性であり、
前記第1電流の極大値は前記第1極性である、請求項1に記載のセンサ。
【請求項4】
第1素子を含む素子部を備え、
前記第1素子は、第1磁気素子と第1導電部材と第1導電層とを含み、
前記第1磁気素子は、第1磁性層及び第1対向磁性層を含み、
前記第1磁性層から前記第1対向磁性層への第1方向と交差する第2方向に沿う前記第1磁気素子の長さは、前記第1方向及び前記第2方向を含む平面と交差する第3方向に沿う前記第1磁気素子の長さよりも長く、
前記第1導電部材は、第1導電部分と第1他導電部分とを含み、
前記第1他導電部分から前記第1導電部分への方向は前記第2方向に沿い、
前記第1導電層は、前記第1方向において前記第1磁気素子と重なり、
前記第1導電層は、第1導電層部分と第1他導電層部分とを含み、
前記第1導電層部分から前記第1他導電層部分への方向は、前記第3方向に沿い、
前記第1導電層部分と前記第1他導電層部分との間に第2電流が流れることが可能である、センサ。
【請求項5】
第4回路を備え、
前記第4回路は、前記第1導電層に前記第2電流を供給可能である、請求項4に記載のセンサ。
【請求項6】
第1回路を含む制御部をさらに備え、
前記第1回路は、前記第1導電部分及び前記第1他導電部分と電気的に接続され、
前記第1回路は、前記第1導電部材に第1電流を供給可能であり、
前記第1電流は、交流成分を含み、
前記第1電流の極小値は第1極性であり、
前記第1電流の極大値は前記第1極性である、請求項4に記載のセンサ。
【請求項7】
第1素子を含む素子部を備え、
前記第1素子は、第1磁気素子と第1導電部材と第1磁性部とを含み、
前記第1磁気素子は、第1磁性層及び第1対向磁性層を含み、
前記第1磁性層から前記第1対向磁性層への第1方向と交差する第2方向に沿う前記第1磁気素子の長さは、前記第1方向及び前記第2方向を含む平面と交差する第3方向に沿う前記第1磁気素子の長さよりも長く、
前記第1導電部材は、第1導電部分と第1他導電部分とを含み、
前記第1他導電部分から前記第1導電部分への方向は前記第2方向に沿い、
前記第1磁性部から前記第1磁気素子への方向は、前記第3方向に沿う、センサ。
【請求項8】
前記第2方向に沿う前記第1磁性部の長さは、前記第2方向に沿う前記第1磁気素子の前記長さよりも長い、請求項7に記載のセンサ。
【請求項9】
第1回路を含む制御部をさらに備え、
前記第1回路は、前記第1導電部分及び前記第1他導電部分と電気的に接続され、
前記第1回路は、前記第1導電部材に第1電流を供給可能であり、
前記第1電流は、交流成分を含む、請求項7に記載のセンサ。
【請求項10】
請求項1~9のいずれか1つに記載のセンサと、
前記センサから得られる出力信号を処理する処理部と、
を備えた検査装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【0001】
本発明の実施形態は、センサ及び検査装置に関する。
続きを表示(約 2,200 文字)【背景技術】
【0002】
例えば、磁性層を用いたセンサがある。センサにおいて、特性の向上が望まれる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
特開2018-155719号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
本発明の実施形態は、特性の向上が可能なセンサ及び検査装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【0005】
本発明の実施形態によれば、センサは、第1素子を含む素子部を含む。前記第1素子は、第1磁気素子と第1導電部材と第1磁性部とを含む。前記第1磁気素子は、第1磁性層及び第1対向磁性層を含む。前記第1磁性層から前記第1対向磁性層への第1方向と交差する第2方向に沿う前記第1磁気素子の長さは、前記第1方向及び前記第2方向を含む平面と交差する第3方向に沿う前記第1磁気素子の長さよりも長い。前記第1導電部材は、第1導電部分と第1他導電部分とを含む。前記第1他導電部分から前記第1導電部分への方向は前記第2方向に沿う。前記第1磁性部から前記第1磁気素子への方向は、前記第2方向に沿う。
【図面の簡単な説明】
【0006】
図1は、第1実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
図2(a)~図2(c)は、第1実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
図3(a)及び図3(b)は、センサの特性を例示するグラフである。
図4(a)及び図4(b)は、第1実施形態に係るセンサの動作を例示する模式図である。
図5は、センサの特性を例示するグラフである。
図6は、センサの特性を例示するグラフである。
図7は、第1実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
図8(a)~図8(c)は、第1実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
図9(a)~図9(c)は、第1実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
図10(a)~図10(c)は、第1実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
図11は、第1実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
図12(a)~図12(c)は、第1実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
図13は、第1実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
図14は、第1実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
図15(a)~図15(c)は、第1実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
図16は、第1実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
図17は、第1実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
図18は、第1実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
図19(a)~図19(c)は、第1実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
図20(a)~図20(c)は、第1実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
図21は、第1実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
図22は、第1実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
図23は、第1実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
図24は、第1実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
図25は、第1実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
図26は、第1実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
図27は、第1実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
図28は、第2実施形態に係る検査装置を示す模式的斜視図である。
図29は、第2実施形態に係る検査装置を示す模式的平面図である。
図30は、実施形態に係るセンサ及び検査装置を示す模式図である。
図31は、実施形態に係る検査装置を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【0007】
以下に、本発明の実施形態について図面を参照しつつ説明する。
図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚さと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
【0008】
(第1実施形態)
図1及び図2(a)~図2(c)は、第1実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
図2(a)は、平面図である、図2(b)は、図2(a)のA1-A2線断面図である。図2(c)は、図2(a)のB1-B2線断面図である。
【0009】
図1に示すように、実施形態に係るセンサ110は、素子部10Uを含む。素子部10Uは、第1素子10Aを含む。
【0010】
第1素子10Aは、第1磁気素子11と第1導電部材21と第1磁性部41とを含む。図2(b)及び図2(c)に示すように、第1磁気素子11は、第1磁性層11a及び第1対向磁性層11bを含む。
(【0011】以降は省略されています)

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