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公開番号2024006691
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-01-17
出願番号2022107817
出願日2022-07-04
発明の名称センサ及び検査装置
出願人株式会社東芝
代理人弁理士法人iX
主分類G01R 33/09 20060101AFI20240110BHJP(測定;試験)
要約【課題】特性の向上が可能なセンサ及び検査装置を提供する。
【解決手段】実施形態によれば、センサは、第1素子を含む素子部を含む。前記第1素子は、第1磁気素子と第1導電部材と第1磁性部とを含む。前記第1磁気素子は、第1磁性層及び第1対向磁性層を含む。前記第1磁性層から前記第1対向磁性層への第1方向と交差する第2方向に沿う前記第1磁気素子の長さは、前記第1方向及び前記第2方向を含む平面と交差する第3方向に沿う前記第1磁気素子の長さよりも長い。前記第1導電部材は、第1導電部分と第1他導電部分とを含む。前記第1他導電部分から前記第1導電部分への方向は前記第2方向に沿う。前記第1磁性部から前記第1磁気素子への方向は、前記第2方向に沿う。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
第１素子を含む素子部を備え、
前記第１素子は、第１磁気素子と第１導電部材と第１磁性部とを含み、
前記第１磁気素子は、第１磁性層及び第１対向磁性層を含み、
前記第１磁性層から前記第１対向磁性層への第１方向と交差する第２方向に沿う前記第１磁気素子の長さは、前記第１方向及び前記第２方向を含む平面と交差する第３方向に沿う前記第１磁気素子の長さよりも長く、
前記第１導電部材は、第１導電部分と第１他導電部分とを含み、
前記第１他導電部分から前記第１導電部分への方向は前記第２方向に沿い、
前記第１磁性部から前記第１磁気素子への方向は、前記第２方向に沿う、センサ。
続きを表示（約 1,600 文字）【請求項２】
前記第３方向に沿う前記第１磁性部の長さは、前記第３方向に沿う前記第１磁気素子の前記長さよりも長い、請求項１に記載のセンサ。
【請求項３】
（制御部）
第１回路を含む制御部をさらに備え、
前記第１回路は、前記第１導電部分及び前記第１他導電部分と電気的に接続され、
前記第１回路は、前記第１導電部材に第１電流を供給可能であり、
前記第１電流は、交流成分を含み、
前記第１電流の極小値は第１極性であり、
前記第１電流の極大値は前記第１極性である、請求項１に記載のセンサ。
【請求項４】
第１素子を含む素子部を備え、
前記第１素子は、第１磁気素子と第１導電部材と第１導電層とを含み、
前記第１磁気素子は、第１磁性層及び第１対向磁性層を含み、
前記第１磁性層から前記第１対向磁性層への第１方向と交差する第２方向に沿う前記第１磁気素子の長さは、前記第１方向及び前記第２方向を含む平面と交差する第３方向に沿う前記第１磁気素子の長さよりも長く、
前記第１導電部材は、第１導電部分と第１他導電部分とを含み、
前記第１他導電部分から前記第１導電部分への方向は前記第２方向に沿い、
前記第１導電層は、前記第１方向において前記第１磁気素子と重なり、
前記第１導電層は、第１導電層部分と第１他導電層部分とを含み、
前記第１導電層部分から前記第１他導電層部分への方向は、前記第３方向に沿い、
前記第１導電層部分と前記第１他導電層部分との間に第２電流が流れることが可能である、センサ。
【請求項５】
第４回路を備え、
前記第４回路は、前記第１導電層に前記第２電流を供給可能である、請求項４に記載のセンサ。
【請求項６】
第１回路を含む制御部をさらに備え、
前記第１回路は、前記第１導電部分及び前記第１他導電部分と電気的に接続され、
前記第１回路は、前記第１導電部材に第１電流を供給可能であり、
前記第１電流は、交流成分を含み、
前記第１電流の極小値は第１極性であり、
前記第１電流の極大値は前記第１極性である、請求項４に記載のセンサ。
【請求項７】
第１素子を含む素子部を備え、
前記第１素子は、第１磁気素子と第１導電部材と第１磁性部とを含み、
前記第１磁気素子は、第１磁性層及び第１対向磁性層を含み、
前記第１磁性層から前記第１対向磁性層への第１方向と交差する第２方向に沿う前記第１磁気素子の長さは、前記第１方向及び前記第２方向を含む平面と交差する第３方向に沿う前記第１磁気素子の長さよりも長く、
前記第１導電部材は、第１導電部分と第１他導電部分とを含み、
前記第１他導電部分から前記第１導電部分への方向は前記第２方向に沿い、
前記第１磁性部から前記第１磁気素子への方向は、前記第３方向に沿う、センサ。
【請求項８】
前記第２方向に沿う前記第１磁性部の長さは、前記第２方向に沿う前記第１磁気素子の前記長さよりも長い、請求項７に記載のセンサ。
【請求項９】
第１回路を含む制御部をさらに備え、
前記第１回路は、前記第１導電部分及び前記第１他導電部分と電気的に接続され、
前記第１回路は、前記第１導電部材に第１電流を供給可能であり、
前記第１電流は、交流成分を含む、請求項７に記載のセンサ。
【請求項１０】
請求項１～９のいずれか１つに記載のセンサと、
前記センサから得られる出力信号を処理する処理部と、
を備えた検査装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、センサ及び検査装置に関する。
続きを表示（約 2,200 文字）【背景技術】
【０００２】
例えば、磁性層を用いたセンサがある。センサにおいて、特性の向上が望まれる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１８－１５５７１９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の実施形態は、特性の向上が可能なセンサ及び検査装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の実施形態によれば、センサは、第１素子を含む素子部を含む。前記第１素子は、第１磁気素子と第１導電部材と第１磁性部とを含む。前記第１磁気素子は、第１磁性層及び第１対向磁性層を含む。前記第１磁性層から前記第１対向磁性層への第１方向と交差する第２方向に沿う前記第１磁気素子の長さは、前記第１方向及び前記第２方向を含む平面と交差する第３方向に沿う前記第１磁気素子の長さよりも長い。前記第１導電部材は、第１導電部分と第１他導電部分とを含む。前記第１他導電部分から前記第１導電部分への方向は前記第２方向に沿う。前記第１磁性部から前記第１磁気素子への方向は、前記第２方向に沿う。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
図１は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
図２（ａ）～図２（ｃ）は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
図３（ａ）及び図３（ｂ）は、センサの特性を例示するグラフである。
図４（ａ）及び図４（ｂ）は、第１実施形態に係るセンサの動作を例示する模式図である。
図５は、センサの特性を例示するグラフである。
図６は、センサの特性を例示するグラフである。
図７は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
図８（ａ）～図８（ｃ）は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
図９（ａ）～図９（ｃ）は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
図１０（ａ）～図１０（ｃ）は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
図１１は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
図１２（ａ）～図１２（ｃ）は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
図１３は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
図１４は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
図１５（ａ）～図１５（ｃ）は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
図１６は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
図１７は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
図１８は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
図１９（ａ）～図１９（ｃ）は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
図２０（ａ）～図２０（ｃ）は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
図２１は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
図２２は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
図２３は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
図２４は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
図２５は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
図２６は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
図２７は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
図２８は、第２実施形態に係る検査装置を示す模式的斜視図である。
図２９は、第２実施形態に係る検査装置を示す模式的平面図である。
図３０は、実施形態に係るセンサ及び検査装置を示す模式図である。
図３１は、実施形態に係る検査装置を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
以下に、本発明の実施形態について図面を参照しつつ説明する。
図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚さと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
【０００８】
（第１実施形態）
図１及び図２（ａ）～図２（ｃ）は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
図２（ａ）は、平面図である、図２（ｂ）は、図２（ａ）のＡ１－Ａ２線断面図である。図２（ｃ）は、図２（ａ）のＢ１－Ｂ２線断面図である。
【０００９】
図１に示すように、実施形態に係るセンサ１１０は、素子部１０Ｕを含む。素子部１０Ｕは、第１素子１０Ａを含む。
【００１０】
第１素子１０Ａは、第１磁気素子１１と第１導電部材２１と第１磁性部４１とを含む。図２（ｂ）及び図２（ｃ）に示すように、第１磁気素子１１は、第１磁性層１１ａ及び第１対向磁性層１１ｂを含む。
（【００１１】以降は省略されています）

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