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公開番号2024006096
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-01-17
出願番号2022106664
出願日2022-06-30
発明の名称可動デバイス、MEMSデバイス、及び光走査装置
出願人ミツミ電機株式会社
代理人個人,個人
主分類B81B 3/00 20060101AFI20240110BHJP(マイクロ構造技術)
要約【課題】可動デバイスの検査を合理化する技術を提供する。
【解決手段】可動デバイス100は、可動部110と、可動部110を駆動する駆動部120と、可動部110を囲んでいて駆動部120を支持する支持枠130と、駆動部120に電気的に接続する電極部140と、駆動部120から電気的に絶縁された偽電極部150と、を備え、電極部140と偽電極部150が支持枠130に設けられる。可動デバイス100の検査時に偽電極部150とプローブとをコンタクトさせることにより検査時の固定が強化され、動作時の振動による支持枠130のバタつきを抑制することができる。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
可動部と、
前記可動部を駆動する駆動部と、
前記可動部を囲んでいて前記駆動部を支持する支持枠と、
前記駆動部に電気的に接続する電極部と、
前記駆動部から電気的に絶縁された偽電極部と、
を備え、
前記電極部と前記偽電極部が前記支持枠に設けられる、可動デバイス。
続きを表示（約 800 文字）【請求項２】
前記偽電極部が平面視で前記支持枠の中心に対して対称的な位置にある、請求項１に記載の可動デバイス。
【請求項３】
平面視における前記支持枠の形状が矩形であり、前記偽電極部が、前記支持枠の一辺を構成する枠体と、前記一辺に対向する対辺を構成する枠体とに設けられている、請求項１に記載の可動デバイス。
【請求項４】
平面視における前記支持枠の形状が矩形であり、前記駆動部は前記支持枠の一辺を構成する枠体と、前記一辺に対向する対辺を構成する枠体とにおいて支持され、
前記偽電極部は、前記一辺を構成する前記枠体と、前記対辺を構成する前記枠体とに設けられている、請求項１に記載の可動デバイス。
【請求項５】
平面視における前記支持枠の形状が矩形であり、前記偽電極部が前記支持枠の各辺を構成する各枠体に設けられている、請求項１に記載の可動デバイス。
【請求項６】
平面視における前記支持枠の形状が矩形であり、前記偽電極部が前記支持枠の各角を構成する枠体の端部に設けられている、請求項１に記載の可動デバイス。
【請求項７】
平面視における前記支持枠の形状が矩形であり、前記偽電極部が前記支持枠の一辺を構成する枠体の中央部と、前記一辺に対向する対辺を構成する枠体の中央部とに設けられている、請求項１に記載の可動デバイス。
【請求項８】
前記偽電極部の形状が直線形又はドット形である、請求項１に記載の可動デバイス。
【請求項９】
前記電極部が平面視で前記支持枠の中心に対して対称的な位置にある、請求項１に記載の可動デバイス。
【請求項１０】
前記偽電極部は検査用プローブが当接されて固定される、請求項１に記載の可動デバイス。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、可動デバイス、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）デバイス、及び光走査装置に関する。
続きを表示（約 1,100 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、電気により駆動する可動部を備えた可動デバイスが知られている。可動デバイスには、微細加工技術により形成されたＭＥＭＳデバイスがある。また、可動デバイスを用いて光を走査する光走査装置が知られている。
【０００３】
可動デバイスの検査は、プローブを可動デバイスの電極にコンタクトさせて行う。可動デバイスには、電極が可動デバイスの片側に設けられたものがある（例えば特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１２－５１０６２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１の可動デバイスの検査では、動作時の振動により、正常なプローブのコンタクトが得られず、十分な試験結果を得られないことがある。そのため、可動デバイスをパッケージに組立てた後に検査を行うが、組立て後の検査は、検査工数又は部品点数等の増加により、コスト増大を招く虜がある。
【０００６】
本開示は、可動デバイスの検査を合理化する技術を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本開示の一態様は、可動部と、前記可動部を駆動する駆動部と、前記可動部を囲んでいて前記駆動部を支持する支持枠と、前記駆動部に電気的に接続する電極部と、前記駆動部から電気的に絶縁された偽電極部と、を備え、前記電極部と前記偽電極部が前記支持枠に設けられる、可動デバイスを提供する。
【発明の効果】
【０００８】
本開示の一態様によれば、可動デバイスの検査を合理化する技術を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
一実施形態の可動デバイスの構成例を示す図である。
一実施形態の検査装置の一部断面図である。
一実施形態の検査装置の一部拡大図である。
一実施形態の可動デバイスの固定方法を示す図である。
一実施形態の可動デバイスの検査に用いたプローブを示す図である。
基準例、比較例、及び実施例の可動デバイスの試験結果を示す図である。
一実施形態の可動デバイスを用いた光走査装置の構成例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
図面を参照して、本開示の実施形態について詳細に説明する。各図面において、同一構成要素には同一符号を付与し、重複した説明を適宜省略する。
（【００１１】以降は省略されています）

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