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公開番号2023166615
公報種別公開特許公報(A)
公開日2023-11-21
出願番号2023158310,2022078904
出願日2023-09-22,2022-05-12
発明の名称加工パラメータを調整可能な放電加工装置及び放電加工方法
出願人日揚科技股分有限公司
代理人個人,個人,個人
主分類B23H 7/02 20060101AFI20231114BHJP(工作機械;他に分類されない金属加工)
要約【課題】加工パラメータを調整可能な放電加工装置及び方法を提供する。
【解決手段】載置ステージ及び放電加工(EDM)ユニットを含む。載置ステージは、加工対象領域が画定される被加工物を載置することに用いられる。放電加工(EDM)ユニットの放電電極を用いて少なくとも1つの加工パラメータで第1の切断方向に沿って被加工物の加工対象領域を切断し、加工パラメータは、被加工物の指定されたパラメータが第1の数値に変化した時に応じて調整されることにより、調整された加工パラメータを用いて被加工物の加工対象領域に対して第2の切断ステップを実行する。本発明は、段階的切断技術を提供し、放電加工切断の指定されたパラメータが変化するため、切断速度(Cutting speed、mm²/min)が遅くなり、総切断時間が長くなるという問題を解決することができる。
【選択図】図4b
特許請求の範囲【請求項１】
切断手順を実行するための加工パラメータを調整可能な放電加工装置であって、
加工対象領域が画定される少なくとも１つの被加工物を載置するための載置ステージと、
前記切断手順の第１の切断ステップで、少なくとも１つの放電電極を用いて少なくとも１つの加工パラメータで第１の切断方向に沿って前記被加工物の前記加工対象領域を切断するための放電加工（ＥＤＭ）ユニットであって、前記加工パラメータは、前記被加工物の指定されたパラメータが第１の数値に変化した時に応じて調整されることにより、調整された前記加工パラメータを用いて前記被加工物の前記加工対象領域に対して第２の切断ステップを実行する、放電加工（ＥＤＭ）ユニットと、を含み、
前記加工対象領域には、前記切断手順で前記加工対象領域に形成された表面亀裂を埋めるように埋め材があることを特徴とする加工パラメータを調整可能な放電加工装置。
続きを表示（約 190 文字）【請求項２】
前記埋め材は、前記切断手順で前記加工対象領域に形成された表面亀裂を埋めるように、熱源によって前記加工対象領域に形成される、請求項１に記載の加工パラメータを調整可能な放電加工装置。
【請求項３】
前記切断手順で前記加工対象領域の表面亀裂を前記埋め材で埋めるようにする外力外乱源をさらに含む、請求項１に記載の加工パラメータを調整可能な放電加工装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、加工装置及び加工方法に関し、特に加工パラメータを調整可能な放電加工装置及び放電加工方法に関する。
続きを表示（約 2,100 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体産業が盛んに発展していることに伴い、放電加工技術は、一般的にインゴット又はウエハの加工処理に使用されている。放電加工（ＥｌｅｃｔｒｉｃａｌＤｉｓｃｈａｒｇｅＭａｃｈｉｎｉｎｇ、ＥＤＭ）は、放電によって火花を発生させ、被加工物を必要な形状にする製造プロセスである。誘電体材料は、２つの電極を分離して電圧を印加し、周期的で高速に変化する電流放電を発生させて、上記被加工物を加工する。放電加工技術では、２つの電極が使用され、一方の電極は、工具電極又は放電電極と呼ばれ、他方の電極は、ワーク電極と呼ばれ、上記被加工物に接続されている。放電加工中に、放電電極とワーク電極との間が実際に接触することはない。
【０００３】
２つの電極間の電位差が大きくなると、電界強度が絶縁耐力よりも高くなるまで、２つの電極間の電界も大きくなり、このとき、絶縁破壊が発生し、電流が２つの電極を流れ、材料の一部が除去される。電流が停止すると、新たな誘電体材料が電極間の電界に流れ込み、上記材料の一部が除去され、誘電体の絶縁効果が再提供される。電流が流れた後、２つの電極間の電位差が絶縁破壊の発生前に戻り、このように新たな絶縁破壊を繰り返すことができる。しかしながら、従来の放電加工技術では、切断厚さが大きいため、切断速度（すなわち、加工時の放電電極の加工物における送り速度と切断厚さとの積、ｍｍ
２
／ｍｉｎ）が遅くなるという問題が存在する。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
これに鑑みて、本発明の目的は、上記従来技術の課題を解決するために、加工パラメータを調整可能な放電加工装置及び放電加工方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
前記目的を達成するために、本発明は、切断手順を実行するための加工パラメータを調整可能な放電加工装置であって、加工対象領域が画定される少なくとも１つの被加工物を載置するための載置ステージと、前記切断手順の第１の切断ステップで、少なくとも１つの放電電極を用いて少なくとも１つの加工パラメータで第１の切断方向に沿って前記被加工物の前記加工対象領域を切断するための放電加工（ＥＤＭ）ユニットであって、前記加工パラメータは、前記被加工物の指定されたパラメータが第１の数値に変化した時に応じて調整されることにより、調整された前記加工パラメータを用いて前記被加工物の前記加工対象領域に対して第２の切断ステップを実行する、放電加工（ＥＤＭ）ユニットと、を含み、前記加工対象領域には、前記切断手順で前記加工対象領域に形成された表面亀裂を埋めるように埋め材があることを特徴とする加工パラメータを調整可能な放電加工装置を提供する。
【０００６】
本発明に係る加工パラメータを調整可能な放電加工装置によると、前記加工パラメータは、配向パラメータ、放電電気的パラメータ、残渣排出パラメータ、及び、移動及び張力パラメータのうちの１つ又は複数を含む。
【０００７】
本発明に係る加工パラメータを調整可能な放電加工装置によると、前記配向パラメータは、前記被加工物に対する加工方向であり、前記放電電気的パラメータは、ピーク電流、前記被加工物が前記放電電極から離れた時の電圧、放電パルス持続時間、放電パルス休止時間、及び、前記放電電極と前記被加工物との間のサーボ基準電圧のうちの１つ又は複数を含み、前記残渣排出パラメータは、前記放電電極に提供された残渣排出溶液の流速を含み、前記移動及び張力パラメータは、前記放電電極の移動速度及び前記放電電極の張力のうちの１つ又は複数を含む。
【０００８】
本発明に係る加工パラメータを調整可能な放電加工装置によると、前記指定されたパラメータは、前記被加工物の第１の切断すべき厚さを含み、前記加工パラメータは、前記被加工物の前記第１の切断すべき厚さが前記第１の数値に増加した時に応じて調整されることにより、調整された前記加工パラメータを用いて前記被加工物の前記加工対象領域に対して前記第２の切断ステップを実行する。
【０００９】
本発明に係る加工パラメータを調整可能な放電加工装置によると、前記加工パラメータは配向パラメータであり、前記被加工物の前記第１の切断すべき厚さが前記第１の数値に増加した時に、前記放電加工（ＥＤＭ）ユニットは、前記配向パラメータを前記第１の切断方向から第２の切断方向に変更することにより、前記第２の切断方向に沿って前記被加工物の前記加工対象領域に対して前記第２の切断ステップを実行する。
【００１０】
本発明に係る加工パラメータを調整可能な放電加工装置によると、前記第２の切断方向と前記第１の切断方向との間には、０度～３６０度の間の範囲の第１の夾角がある。
（【００１１】以降は省略されています）

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