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公開番号2023131606
公報種別公開特許公報(A)
公開日2023-09-22
出願番号2022036460
出願日2022-03-09
発明の名称透光性基板
出願人日本放送協会
代理人個人,個人,個人,個人
主分類H01L 27/146 20060101AFI20230914BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】電源と透明導電膜とを容易に接続可能な接合型固体撮像素子が備える透光性基板を提供する。
【解決手段】端部がテーパ状であり、接合型固体撮像素子100が備える透光性基板10。
【選択図】図1A
特許請求の範囲【請求項1】
端部がテーパ状であり、接合型固体撮像素子が備える透光性基板。
続きを表示(約 240 文字)【請求項2】
前記端部は、光が入射する入射面に対して、一段の傾斜を有する、
請求項1に記載の透光性基板。
【請求項3】
前記端部は、光が入射する入射面に対して、複数段の傾斜を有する、
請求項1に記載の透光性基板。
【請求項4】
端部が扇状であり、接合型固体撮像素子が備える透光性基板。
【請求項5】
前記端部を覆うように透明導電膜が形成される、
請求項1から4のいずれか一項に記載の透光性基板。

発明の詳細な説明【技術分野】
【0001】
本開示は、透光性基板に関する。
続きを表示(約 1,200 文字)【背景技術】
【0002】
従来、透光性基板上に、透明導電膜としてITO(酸化インジウムスズ)膜、N型半導体として動作する酸化ガリウム膜を順番に形成し、酸素雰囲気中で800度の高温処理を施して酸化ガリウム膜を結晶化させ、さらに、結晶酸化ガリウム膜上にP型半導体として動作するセレン膜を非晶質な状態で形成し、その後、200度の加熱を施すことで、光電変換膜として良質な結晶セレン膜を得られることが知られている(例えば、非特許文献1参照)。
【0003】
このような光電変換膜を備える固体撮像素子として、例えば、図5Aに示すように、信号読み出し回路基板上に、P型半導体として動作するセレン膜を非晶質な状態で形成し、その後、200度の加熱を施すことで、光電変換膜として良質な結晶セレン膜を形成し、その後、N型半導体として動作する酸化ガリウム膜、透明導電膜としてITO(酸化インジウムスズ)膜を順番に形成して得られる積層型固体撮像素子が知られている。また、例えば、図5Bに示すように、信号読み出し回路基板上に、非晶質セレン膜を形成し、透光性基板上に、透明導電膜、非晶質セレン膜を順番に形成し、これらの非晶質セレン膜を接合して結晶化させた接合型固体撮像素子が知られている。
【先行技術文献】
【非特許文献】
【0004】
峰尾ほか、NHK技研、「酸化ガリウム/結晶セレンフォトダイオードの電気特性」、応用物理学会春季大会2019年予稿集、10P-PB4-11、2019
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
ところで、積層型固体撮像素子は、最上面に透明導電膜が設けられるため、透明導電膜の露出部分が多く、電源と透明導電膜とを容易に接続できる(図5A参照)。一方、接合型固体撮像素子は、最上面に透光性基板が設けられるため、透明導電膜の露出部分が少なく、電源と透明導電膜とを接続することが困難である(図5B参照)。
【0006】
かかる事情に鑑みてなされた本発明の目的は、電源と透明導電膜とを容易に接続可能な接合型固体撮像素子が備える透光性基板を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0007】
一実施形態に係る透光性基板は、端部がテーパ状であり、接合型固体撮像素子が備えることを特徴とする。
【0008】
さらに、一実施形態に係る透光性基板において、前記端部は、光が入射する入射面に対して、一段の傾斜を有することを特徴とする。
【0009】
さらに、一実施形態に係る透光性基板において、前記端部は、光が入射する入射面に対して、複数段の傾斜を有することを特徴とする。
【0010】
一実施形態に係る透光性基板は、端部が扇状であり、接合型固体撮像素子が備えることを特徴とする。
(【0011】以降は省略されています)

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