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公開番号2023079172
公報種別公開特許公報(A)
公開日2023-06-07
出願番号2022166211
出願日2022-10-17
発明の名称ウェハポッドドア用の配置システム
出願人上海果納半導体技術有限公司
代理人弁理士法人後藤特許事務所
主分類H01L 21/677 20060101AFI20230531BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】サイズを大きくせず、組み立て、デバッグやメンテナンスに不自由が生じないウェハロードポート構造を提供する。
【解決手段】ウェハロードポート本体1には、ドッキングインターフェース2が設けられ、本体の、ロードテーブル103とは反対側面に配置機構が設けられ、スイングコンポーネント4、従動コンポーネント5及びドッキングプレート3を含む。スイングコンポーネントはドッキングインターフェースの上方に、従動コンポーネントはドッキングインターフェースの下方に夫々設けられ、スイングコンポーネント及び従動コンポーネントは夫々ドッキングプレートに接続される。スイングコンポーネントは、ドッキングプレートをドッキングインターフェースの側部上方に配置するようにドッキングプレートを駆動する。従動コンポーネントは、ドッキングプレートの回動自由度を拘束し、所定の位置に配置されたドッキングプレートの内側面を上向きにする。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
ウェハロードポート本体を含むウェハポッドドア用の配置システムであって、
前記ウェハロードポート本体は、基板と、タンクと、ロードテーブルと、を含み、前記基板にドッキングインターフェースが設けられ、前記ドッキングインターフェースのサイズがウェハポッドドアに適合し、前記基板のロードテーブルと反対する側面に配置機構が設けられ、前記配置機構は、スイングコンポーネントと、従動コンポーネントと、ドッキングプレートと、を含み、前記スイングコンポーネントはドッキングインターフェースの上方に設けられ、前記従動コンポーネントはドッキングインターフェースの下方に設けられ、かつ、前記スイングコンポーネント、従動コンポーネントはそれぞれドッキングプレートに接続され、前記スイングコンポーネントはドッキングプレートをドッキングインターフェースの側部上方に配置するようにドッキングプレートを駆動し、前記従動コンポーネントはドッキングプレートの回動自由度を拘束し、所定の位置に配置されたドッキングプレートの前側面を上向きにし、
前記スイングコンポーネントは、スイングロッドと、クロスロッドと、を含み、前記スイングロッドの一端は第１回転軸を介してドッキングプレートの後側面に固定された第１固定ベースにヒンジ連結され、スイングロッドの他端は基板に固定された第２固定ベースにヒンジ連結され、
前記従動コンポーネントは、接続ロッドと、可動ロッドと、を含み、前記接続ロッドと可動ロッドは第２回転軸を介してヒンジ連結され、前記接続ロッドの一端はドッキングプレートの後側面に固定され、他端は可動ロッドにヒンジ連結され、前記可動ロッドは基板に上下移動可能であり、
第１回転軸の軸線からドッキングプレートの後側面までの距離が、第２回転軸の軸線からドッキングプレートの後側面までの距離よりも小さい、ことを特徴とするウェハポッドドア用の配置システム。
続きを表示（約 1,100 文字）【請求項２】
前記スイングコンポーネントは駆動部材をさらに含み、前記スイングロッドは、前記ドッキングプレートの左右両側に対称に２つ設けられ、２つの前記スイングロッドの一端はそれぞれドッキングプレートに固定された２つの第１固定ベースにヒンジ連結され、他端はそれぞれ基板に固定された２つの第２固定ベースにヒンジ連結され、かつ、前記スイングロッドにボスが設けられ、前記クロスロッドの両端はそれぞれ２つのスイングロッドのボスに固定して接続され、前記クロスロッドと基板との間に駆動部材がさらにヒンジ連結される、ことを特徴とする請求項１に記載のウェハポッドドア用の配置システム。
【請求項３】
前記駆動部材は直動シリンダであり、前記直動シリンダのシリンダ本体の末端が基板に固定されたシリンダ末端接続板に固定して接続され、前記シリンダ末端接続板は基板に固定された支持ベースにヒンジ連結され、前記直動シリンダのピストンロッドはＹ字形コネクタに固定して接続され、前記クロスロッドの中央部にボスが設けられ、前記Ｙ字形コネクタはクロスロッドのボスにヒンジ連結される、ことを特徴とする請求項２に記載のウェハポッドドア用の配置システム。
【請求項４】
前記従動コンポーネントはスライダとスライドレールをさらに含み、前記接続ロッドは、平行に２つ設けられ、ドッキングプレートの左右両側に対称に設けられ、２つの前記接続ロッドの一端は全てドッキングプレートの後側面に固定され、他端はそれぞれ可動ロッドにヒンジ連結され、前記可動ロッドは接続板を介してスライダに固定して接続され、前記スライダはスライドレールに外嵌され、前記スライドレールは基板に垂直に固定して設けられる、ことを特徴とする請求項１に記載のウェハポッドドア用の配置システム。
【請求項５】
前記可動ロッドは「凵」形状を呈し、前記可動ロッドの形状及びサイズがドッキングインターフェースに適合し、前記可動ロッドはスライダに同期してスライドレールの方向に沿って基板に平行な面内を直線並進運動する、ことを特徴とする請求項４に記載のウェハポッドドア用の配置システム。
【請求項６】
前記スイングコンポーネントのスイングロッドと第２固定ベースは第３回転軸を介してヒンジ連結される、ことを特徴とする請求項２に記載のウェハポッドドア用の配置システム。
【請求項７】
ウェハポッドドアが閉じられた状態で、ドッキングプレートは垂直に配設され、かつ基板に平行であり、第３回転軸の軸線と第２回転軸の軸線は基板に平行な垂直面をなす、ことを特徴とする請求項６に記載のウェハポッドドア用の配置システム。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は半導体加工分野に関し、特にウェハポッドドア用の配置システムに関する。
続きを表示（約 2,600 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体の加工において、生産ラインのさまざまな位置間でウェハを搬送、移送する必要があり、通常、ウェハロードポート（Ｌｏａｄｐｏｒｔ）はウェハの供給に用いられ、基本的な作動原理としては、ウェハロードポートはウェハポッドに対して作業を行い、所定の位置に達すると、ウェハポッドのドアを開き、マニピュレータや他の装置によりウェハを取り出し、このように、ウェハの供給が実現される。
【０００３】
半導体の加工において、さまざまな加工ステーション間でウェハを搬送、移送したり、ウェハを再分類して整備したりする必要があり、通常、上記の機能はウェハの機器フロントエンドモジュール（ＥＦＥＭ）、ウェハ選別機（Ｓｏｒｔｅｒ）によって実現される。ウェハロードポート（Ｌｏａｄｐｏｒｔ）は通常上記装置に配置され、主として、まず、ウェハポッドをドッキングインターフェースに搬送し、次に、ウェハポッドのドアを開いて所望の位置に配置し、さらにウェハセンサによってウェハのポースを検出する役割を果たす。ウェハロードポートが上記機能を完了した後、ＥＦＥＭ、Ｓｏｒｔｅｒのマニピュレータや他の装置はポッドからウェハを取り出して加工ステーションに搬送し、このように、ウェハの供給が完了される。
【０００４】
しかし、現在のウェハロードポート（Ｌｏａｄｐｏｒｔ）では、ドッキングプレートとウェハ検出センサが同時に下方へ移動するので、ウェハロードポートの構造が必要以上コンパクトになり、ウェハロードポートの組み立て、デバッグやメンテナンスに不利である。また、全過程に亘ってウェハポッドのドアを常に垂直配置状態にし、ドアの安定性がウェハロードポートのドッキングプレートの前側面吸盤による真空吸引力により保持され、気圧の波動による影響を受けやすい。また、ウェハロードポート（Ｌｏａｄｐｏｒｔ）はＥＦＥＭやＳｏｒｔｅｒにおいてウェハカセットのドアを開いた後、ＥＦＥＭ及びＳｏｒｔｅｒの底部にドアを配置するので、ＥＦＥＭ及びＳｏｒｔｅｒの底部に取り付けられるマニピュレータを避けるために、ＥＦＥＭ及びＳｏｒｔｅｒの体積のサイズを大きくする必要があるが、一方、実際にはＥＦＥＭ及びＳｏｒｔｅｒの頂部に大きな空きスペースがあり、ウェハロードポートはこの空きスペースを十分に結合、発揮、及び活用しておらず、浪費をもたらし、半導体加工に必要なクリーンな環境を維持するためのコストが高いので、装置の設計体積は冗長性を有するべきではない。
【０００５】
本願は、装置の体積を小さくし、生産コストを低減させることを目的とするウェハポッドドア用の配置システムを提供する。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記欠点を克服するために、本発明の目的はウェハポッドドア用の配置システムを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
以上の目的を達成させるために、本発明が採用する技術的解決手段は以下の通りである。ウェハロードポート本体を含むウェハポッドドア用の配置システムであって、前記ウェハロードポート本体は、基板と、タンクと、ロードテーブルと、を含み、前記基板にドッキングインターフェースが設けられ、前記ドッキングインターフェースのサイズがウェハポッドドアに適合し、前記基板のロードテーブルと反対する側面に配置機構が設けられ、前記配置機構は、スイングコンポーネントと、従動コンポーネントと、ドッキングプレートと、を含み、前記スイングコンポーネントはドッキングインターフェースの上方に設けられ、前記従動コンポーネントはドッキングインターフェースの下方に設けられ、かつ、前記スイングコンポーネント、従動コンポーネントはそれぞれドッキングプレートに接続され、前記スイングコンポーネントはドッキングプレートをドッキングインターフェースの側部上方に配置するようにドッキングプレートを駆動することができ、前記従動コンポーネントはドッキングプレートの回動自由度を拘束し、所定の位置に配置されたドッキングプレートの前側面を上向きにすることができる。
【０００８】
好ましくは、前記スイングコンポーネントは、スイングロッドと、クロスロッドと、駆動部材と、を含み、前記スイングロッドは前記ドッキングプレートの左右両側に対称に２つ設けられ、２つの前記スイングロッドの一端はそれぞれドッキングプレートに固定された２つの第１固定ベースにヒンジ連結され、他端はそれぞれ基板に固定された２つの第２固定ベースにヒンジ連結され、かつ、前記スイングロッドにボスが設けられ、前記クロスロッドの両端はそれぞれ２つのスイングロッドのボスに固定して接続され、前記クロスロッドと基板との間に駆動部材がさらにヒンジ連結される。ドッキングプレートが開かれた後にドッキングインターフェースの上方に位置し、駆動部材が駆動するときに、スイングロッドは上端のヒンジ連結点の周りにスイングし、ドッキングインターフェースの側部上方に位置するようにドッキングプレートを駆動することを目的とする。
【０００９】
好ましくは、前記駆動部材は直動シリンダであり、前記直動シリンダのシリンダ本体の末端が基板に固定されたシリンダ末端接続板に固定して接続され、前記シリンダ末端接続板は基板に固定された支持ベースにヒンジ連結され、前記直動シリンダのピストンロッドはＹ字形コネクタに固定して接続され、前記クロスロッドの中央部にボスが設けられ、前記Ｙ字形コネクタはクロスロッドのボスにヒンジ連結される。
【００１０】
好ましくは、前記従動コンポーネントは、接続ロッドと、可動ロッドと、スライダと、スライドレールと、を含み、前記接続ロッドは平行に２つ設けられ、ドッキングプレートの左右両側に対称に設けられ、２つの前記接続ロッドの一端は全てドッキングプレートの後側面に固定され、他端はそれぞれ可動ロッドにヒンジ連結され、前記可動ロッドは接続板を介してスライダに固定して接続され、前記スライダはスライドレールに外嵌され、前記スライドレールは基板に垂直に固定して設けられる。即ち、従動コンポーネントはドッキングプレートの回動自由度を制限する。
（【００１１】以降は省略されています）

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