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公開番号2023079150
公報種別公開特許公報(A)
公開日2023-06-07
出願番号2022100052
出願日2022-06-22
発明の名称異物検査装置および異物検査方法
出願人東レ株式会社
代理人
主分類G01N 21/892 20060101AFI20230531BHJP(測定;試験)
要約【課題】
簡易な構成でありながら、シート状物の長手方向に抜けなく、シート状物に微小な異物が付着していたかの判定および/またはシート状物に付着していた異物の種類の分類と付着量の測定を行う装置および方法を提供する。
【解決手段】
本発明の異物検査装置は、シート状物が走行しているときに、上記シート状物の表面に付着している異物を捕捉する捕捉体と、上記捕捉体を撮像する撮像装置と、上記撮像装置の撮像範囲に光を照射する光源と、上記撮像装置により撮像された画像データを処理し、処理結果から得られる特徴量に基づいて、上記シート状物に異物が付着していたかの判定、上記シート状物に付着していた異物の種類の分類、および/または上記シート状物に付着していた異物の付着量の測定を行う判定装置と、を備えている。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
走行するシート状物の異物を検査する装置であって、
シート状物が走行しているときに、
前記シート状物の表面に付着している異物を捕捉する捕捉体と、
前記捕捉体の前記異物を捕捉する領域を撮像する撮像装置と、
前記撮像装置の撮像範囲に光を照射する光源と、
前記撮像装置により撮像された画像データを処理し、処理結果から得られる特徴量に基づいて、前記シート状物に異物が付着していたかの判定、前記シート状物に付着していた異物の種類の分類、および／または前記シート状物に付着していた異物の付着量の測定を行う判定装置と、
を備えた異物検査装置。
続きを表示（約 1,100 文字）【請求項２】
前記判定装置が、前記特徴量、前記特徴量の時間変化、前記特徴量の分布状態、または前記特徴量の分布状態の時間変化から、前記シート状物に異物が付着していたかの判定、前記シート状物に付着していた異物の種類の分類、および／または前記シート状物に付着していた異物の付着量の測定を行う、請求項１の異物検査装置
【請求項３】
前記捕捉体が、磁気、静電気および空気からなる群より選ばれる少なくとも一つ以上を用いて前記シート状物に接触せずに当該シート状物に付着している異物を捕捉する、請求項１または２の異物検査装置。
【請求項４】
前記捕捉体が、前記シート状物の一方の面に接触して当該シート状物に付着している異物を捕捉する粘着ロールであり、
前記撮像装置が、前記シート状物の一方の面側から、前記粘着ロールの前記異物を捕捉する領域を撮像し、
前記光源が、前記シート状物の一方の面側から前記撮像装置の撮像範囲に光を照射する、
請求項１または２の異物検査装置。
【請求項５】
前記捕捉体が、前記シート状物の一方の面に接触して当該シート状物に付着している異物を捕捉する捕捉シートであり、
前記撮像装置が、前記シート状物の他方の面側から当該シート状物を介して、当該シート状物と前記捕捉シートとが接触している領域を撮像し、
前記光源が、前記シート状物の他方の面側から前記撮像装置の撮像範囲に光を照射する、
請求項１の異物検査装置。
【請求項６】
前記判定装置が、前記特徴量の分布状態から前記シート状物に異物が付着していたかどうかを判定する、請求項５の異物検査装置。
【請求項７】
前記捕捉シートが不織布である、請求項５または６の異物検査装置。
【請求項８】
シート状物が走行しているときに、前記捕捉シートの前記シート状物がある側とは反対側に配置され、前記光源から照射されて当該シート状物と当該捕捉シートとを透過した光を散乱させる散乱体を備えた、請求項５または６の異物検査装置。
【請求項９】
前記判定装置が、
前記特徴量の分布状態から特徴量の総和を算出し、
前記特徴量の総和、または、前記特徴量の総和の時間に対する増加率を所定の閾値と対比して、前記シート状物に異物が付着していたかの判定を行う、
請求項１または５の異物検査装置。
【請求項１０】
前記特徴量が、前記異物の輝度および／または大きさである、請求項１、２、５または６の異物検査装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、フィルムなどシート状物の異物を検査する装置と方法に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
フィルムなどのシート状物を連続的に製造する工程において、シート状物に異物欠点が発生する場合があり問題となっている。
【０００３】
ポリエステル樹脂は、機械特性、熱特性、電気特性、耐薬品性、成形性などに優れるため、様々な用途に用いられている。そのポリエステル樹脂をフィルム化したポリエステルフィルム、中でも二軸方向に延伸して分子配向させた二軸配向ポリエステルフィルムは、光学装置の部材、太陽電池バックシート、電気絶縁材料、感熱転写用途、工程紙などの各種工業材料として幅広く用いられている。
【０００４】
特に、透明性を有する光学用途においては、液晶デバイスのハードコート層の基材として用いると、フィルム自体の欠陥は小さく認識しづらいが、液晶デバイスなどの構成体とすると光源の拡散等によって欠点が認識されやすく、製品の欠陥となる。また、光学用フィルムの表面擦過傷を抑制するための保護フィルムとして用いる場合には、当該保護フィルムに欠陥があると、当該保護フィルムの欠陥であるのか商品である光学用フィルムの欠陥であるのかわからず品質検査に影響を及ぼすことがある。
【０００５】
こういったフィルムの欠陥の一つとして、製膜途中に搬送用装置からの潤滑油や鉄粉が飛散してフィルムに付着したり、空気中の埃やオリゴマ等がフィルムに付着したりすることがある。この異物を検査する装置として、カメラで撮像する方法が提案されている（例えば、特許文献１、２）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
特開２０１８－１７９９３９号公報
特開２０２１－３８９８８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１、２に開示されている検査装置と検査方法は、直接シート状物をカメラで撮像して、シート状物に付着している異物を検査する手法であり、微小の異物を認識できる解像度で、シート状物長手方向に連続的に撮像して異物を検査することは実際には困難である。仮にその対策として、シート状物長手方向に間欠的に撮像すると、検査をすり抜ける部分ができる。
【０００８】
本発明は上記課題を解決し、シート状物の長手方向に抜けなく、シート状物に微小な異物が付着していたかの判定、シート状物に付着していた異物の種類の分類、および／またはシート状物に付着していた異物の付着量の測定を行う装置および方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
［１］上記課題を解決する本発明のシート状物の異物検査装置は、走行するシート状物の異物を検査する装置であって、
シート状物が走行しているときに、上記シート状物の表面に付着している異物を捕捉する捕捉体と、上記捕捉体の上記異物を捕捉する領域を撮像する撮像装置と、上記撮像装置の撮像範囲に光を照射する光源と、
上記撮像装置により撮像された画像データを処理し、処理結果から得られる特徴量に基づいて、上記シート状物に異物が付着していたかの判定、上記シート状物に付着していた異物の種類の分類、および／または上記シート状物に付着していた異物の付着量の測定を行う判定装置と、
を備えている。
【００１０】
ここで、「シート状物が走行しているときに」とは、捕捉体、撮像装置、光源が、走行しているシート状物の上記の場所をそれぞれ捕捉、撮像、照射できるように配置されていることを意味しており、異物検査装置の構成にシート状物を含んでいることは意味していない。
（【００１１】以降は省略されています）

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