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公開番号2023078784
公報種別公開特許公報(A)
公開日2023-06-07
出願番号2021192058
出願日2021-11-26
発明の名称チャンバ及び表面処理方法
出願人オリンパス株式会社
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類C23C 16/511 20060101AFI20230531BHJP(金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般)
要約【課題】少ない作業工数で、処理室の気密状態を十分に維持しつつ、棒状体の外面に表面処理を良好に施すこと。
【解決手段】チャンバ10は、棒状体TUの外面に表面処理を施すために用いられる。このチャンバ10は、第1の外装と、第1の外装に対して組み合わされることによって第1の外装との間で表面処理を施すための処理室TRを形成する第2の外装13と、第1の外装における第2の外装との合わせ面に設けられる第1のパッキンと、第2の外装13における第1の外装との合わせ面に設けられ、第1の外装と第2の外装とが組み合わされて棒状体TUが装填された状態で、第1のパッキンとともに処理室TRの気密状態を維持する第2のパッキン14とを備える。第1のパッキン及び第2のパッキン14には、合わせて棒状体TUを気密に挟み込む溝14Aがそれぞれ設けられている。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
棒状体の外面に表面処理を施すために用いられるチャンバであって、
第１の外装と、
前記第１の外装に対して組み合わされることによって前記第１の外装との間で前記表面処理を施すための処理室を形成する第２の外装と、
前記第１の外装における前記第２の外装との合わせ面に設けられる第１のパッキンと、
前記第２の外装における前記第１の外装との合わせ面に設けられ、前記第１の外装と前記第２の外装とが組み合わされて前記棒状体が装填された状態で、前記第１のパッキンとともに前記処理室の気密状態を維持する第２のパッキンと、を備え、
前記第１のパッキン及び前記第２のパッキンには、
合わせて前記棒状体を気密に挟み込む溝がそれぞれ設けられているチャンバ。
続きを表示（約 920 文字）【請求項２】
前記棒状体は、
チューブであり、
前記溝の内形形状は、
前記チューブの外形形状に倣う形状によって構成されている請求項１に記載のチャンバ。
【請求項３】
前記第１の外装と前記第２の外装との少なくとも一方の外装には、
前記溝への前記棒状体の設置を案内するガイド部材が設けられている請求項１または２に記載のチャンバ。
【請求項４】
前記ガイド部材における前記溝の延在方向の延長線上には、
前記棒状体が挿通されるガイド用溝が設けられ、
前記ガイド用溝は、
前記ガイド用溝の開口に向かうにしたがって幅寸法が拡がる形状を有している請求項３に記載のチャンバ。
【請求項５】
前記ガイド部材における前記溝の延在方向の延長線上には、
前記棒状体が挿通されるガイド用溝が設けられ、
前記ガイド用溝の底位置は、
前記溝の底位置よりも前記少なくとも一方の外装側に位置する請求項３または４に記載のチャンバ。
【請求項６】
前記溝は、
複数設けられている請求項１～５のいずれか１つに記載のチャンバ。
【請求項７】
複数の前記溝の少なくとも１つの溝は、
他の溝に対して、前記表面処理を施すための表面処理源から、設置される前記棒状体までの距離が異なる状態で設けられている請求項６に記載のチャンバ。
【請求項８】
前記表面処理は、
プラズマによる表面改質である請求項１～７のいずれか１つに記載のチャンバ。
【請求項９】
請求項１～８のいずれか１つに記載のチャンバを用いて棒状体の外面に表面処理を施す表面処理方法であって、
前記棒状体を前記第１のパッキン及び前記第２のパッキンの一方のパッキンの前記溝に嵌め込む工程と、
前記第１の外装と前記第２の外装とを組み合わせることによって、前記一方のパッキンの前記溝と前記第１のパッキン及び前記第２のパッキンの他方のパッキンの前記溝との間で前記棒状体を挟み込む工程と、を備える表面処理方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、チャンバ及び表面処理方法に関する。
続きを表示（約 2,000 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、例えばチューブやケーブルといった棒状体の外面に表面処理を施すために用いられるチャンバにおいて、以下に示すパッキンを用いた技術が知られている（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１に記載のチャンバは、棒状体である光ファイバ心線の端面に薄膜を形成するための処理室を有する。そして、パッキンは、当該チャンバにおいて、当該処理室を気密状態に維持するために用いられる。具体的に、パッキンは、チャンバの外装を構成する蓋板と中間リングとの間に介装される。また、パッキンには、当該パッキンの幅方向に貫通し、光ファイバ心線の直径に見合った孔径の貫通孔と、当該パッキンの上面または下面から当該貫通孔に至る切込みとが設けられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特許第３６３３９９４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載の技術では、蓋体と中間リングとの間に設けた１つのみのパッキンを通して光ファイバ心線の端面を処理室内に配置するために、当該パッキンに上述した貫通孔及び切込みを設けている。そして、このような構成では、当該パッキンの切込みを開いて光ファイバ心線を貫通孔まで導くのに工数がかかり、また処理室の減圧時において、貫通孔及び切込みと光ファイバ心線との間の隙間をパッキンの弾性力のみでは小さくすることが難しく、当該処理室の気密状態を十分に維持することができない、という問題がある。
そこで、作業工数を削減するとともに、処理室の気密状態を十分に維持しつつ、棒状体の外面に表面処理を良好に施すことができる技術が要望されている。
【０００５】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、少ない作業工数で、処理室の気密状態を十分に維持しつつ、棒状体の外面に表面処理を良好に施すことができるチャンバ及び表面処理方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明に係るチャンバは、棒状体の外面に表面処理を施すために用いられるチャンバであって、第１の外装と、前記第１の外装に対して組み合わされることによって前記第１の外装との間で前記表面処理を施すための処理室を形成する第２の外装と、前記第１の外装における前記第２の外装との合わせ面に設けられる第１のパッキンと、前記第２の外装における前記第１の外装との合わせ面に設けられ、前記第１の外装と前記第２の外装とが組み合わされて前記棒状体が装填された状態で、前記第１のパッキンとともに前記処理室の気密状態を維持する第２のパッキンと、を備え、前記第１のパッキン及び前記第２のパッキンには、合わせて前記棒状体を気密に挟み込む溝がそれぞれ設けられている。
【０００７】
本発明に係る表面処理方法は、上述したチャンバを用いて棒状体の外面に表面処理を施す表面処理方法であって、前記棒状体を前記第１のパッキン及び前記第２のパッキンの一方のパッキンの前記溝に嵌め込む工程と、前記第１の外装と前記第２の外装とを組み合わせることによって、前記一方のパッキンの前記溝と前記第１のパッキン及び前記第２のパッキンの他方のパッキンの前記溝との間で前記棒状体を挟み込む工程と、を備える。
【発明の効果】
【０００８】
本発明に係るチャンバ及び表面処理方法によれば、少ない作業工数で、処理室の気密状態を十分に維持しつつ、棒状体の外面に表面処理を良好に施すことができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
図１は、実施の形態に係る表面処理装置を示す図である。
図２は、チャンバの構成を説明する図である。
図３は、チャンバの構成を説明する図である。
図４は、第２の溝とガイド用溝との位置関係を示す図である。
図５は、実施の形態の変形例１を説明する図である。
図６Ａは、実施の形態の変形例２を説明する図である。
図６Ｂは、実施の形態の変形例２を説明する図である。
図７は、実施の形態の変形例３を説明する図である。
図８は、実施の形態の変形例４を説明する図である。
図９は、実施の形態の変形例５を説明する図である。
図１０は、実施の形態の変形例６を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下に、図面を参照して、本発明を実施するための形態（以下、実施の形態）について説明する。なお、以下に説明する実施の形態によって本発明が限定されるものではない。さらに、図面の記載において、同一の部分には同一の符号を付している。
（【００１１】以降は省略されています）

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