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公開番号2023076912
公報種別公開特許公報(A)
公開日2023-06-05
出願番号2021189944
出願日2021-11-24
発明の名称圧力センサ
出願人アズビル株式会社
代理人個人
主分類G01L 13/02 20060101AFI20230529BHJP(測定;試験)
要約【課題】複数の測定レンジのうちの少なくとも1つを容易に変更できるようにする。
【解決手段】圧力センサ10は、被測定流体の第1圧力P1を受圧することにより変形する第1ダイアフラム21と、被測定流体の第2圧力P2を受圧することにより変形する第2ダイアフラム22と、それぞれが第1圧力P1と第2圧力P2との差圧を検出するように構成され、かつ、測定レンジの異なる複数の差圧センサチップ61～63と、を備える。圧力センサ10は、さらに、第1圧力P1を複数の差圧センサチップ61～63のそれぞれに伝達する第1圧力伝達流体F1が封入された第1伝達路30Aと、第2圧力P2を複数の差圧センサチップ61～63に伝達する第2圧力伝達流体F2が封入された第2伝達路30Bと、を備える圧力伝達部材30と、を備える。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
被測定流体の第１圧力を受圧することにより変形する第１ダイアフラムと、
前記被測定流体の第２圧力を受圧することにより変形する第２ダイアフラムと、
それぞれが前記第１圧力と前記第２圧力との差圧を検出するように構成され、かつ、測定レンジの異なる複数の差圧センサチップと、
前記第１ダイアフラムが受圧した前記第１圧力を前記複数の差圧センサチップそれぞれに伝達する第１圧力伝達流体が封入された第１伝達路と、前記第２ダイアフラムが受圧した前記第２圧力を前記複数の差圧センサチップそれぞれに伝達する第２圧力伝達流体が封入された第２伝達路と、を備える圧力伝達部材と、
を備える圧力センサ。
続きを表示（約 810 文字）【請求項２】
前記第１伝達路は、
前記第１ダイアフラムが面する受圧室を第１端に有する第１－１伝達路と、
前記第１－１伝達路の前記第１端と反対の第２端から延びて途中で分岐し、前記複数のセンサチップのそれぞれに至る第１－２伝達路と、を備え、
前記第２伝達路は、
前記第２ダイアフラムに面する受圧室を第１端に有する第２－１伝達路と、
前記第２－１伝達路の前記第１端と反対の第２端から延びて途中で分岐し、前記複数のセンサチップのそれぞれに至る第２－２伝達路と、を備え、
前記圧力伝達部材は、
前記第１－１伝達路及び前記第２－１伝達路を形成している第１部材と、
前記第１部材に接続され、前記第１－２伝達路及び前記第２－２伝達路を形成している第２部材と、を備える、
請求項１に記載の圧力センサ。
【請求項３】
前記複数の差圧センサチップのそれぞれは、前記差圧により変形するセンサダイアフラムと、前記センサダイアフラムの変形を検出する検出素子と、を備え、
前記複数の差圧センサチップのそれぞれの前記センサダイアフラムの大きさ、形状、厚さ、及び、材料のうちの少なくとも１つが前記複数の差圧センサチップ間で異なることで、複数の差圧センサチップの各測定レンジが異なり、
前記複数の差圧センサチップは、最も高差圧側の測定レンジを有する第１差圧センサチップと、当該第１差圧センサチップの測定レンジよりも低差圧側の測定レンジを有する１以上の第２差圧センサチップと、からなり、
前記１以上の第２差圧センサチップのうちの少なくとも１つは、前記差圧により変形した前記センサダイアフラムが接触することで当該センサダイアフラムをそれ以上変形させないようにする過大圧保護機構を備える、
請求項１又は２に記載の圧力センサ。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧力センサに関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、複数の測定レンジを有する圧力センサが開示されている。この圧力センサでは、１つの差圧センサチップ内に複数のダイアフラムが設けられており、測定に使用するダイアフラムが切り替えられることで、測定レンジが変更される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２００２－１３９９６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載の圧力センサでは、１つの差圧センサチップ内に複数のダイアフラムが形成されているため、例えば、圧力センサの製造段階において、一部の測定レンジを変更したいときであったときには、差圧センサチップ全体の設計のし直しが必要となる。ここで、圧力センサで測定される圧力の測定レンジは、当該圧力センサの使用先に応じて異なることが多く、圧力センサの測定レンジは、当該圧力センサの納入先に応じて容易に変更可能とすることが望ましい。
【０００５】
本発明は、上記点に鑑みてなされたものであり、複数の測定レンジのうちの少なくとも１つを容易に変更できるようにすることを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この目的を達成するために本発明に係る圧力センサは、被測定流体の第１圧力を受圧することにより変形する第１ダイアフラムと、前記被測定流体の第２圧力を受圧することにより変形する第２ダイアフラムと、それぞれが前記第１圧力と前記第２圧力との差圧を検出するように構成され、かつ、測定レンジの異なる複数の差圧センサチップと、前記第１ダイアフラムが受圧した前記第１圧力を前記複数の差圧センサチップそれぞれに伝達する第１圧力伝達流体が封入された第１伝達路と、前記第２ダイアフラムが受圧した前記第２圧力を前記複数の差圧センサチップそれぞれに伝達する第２圧力伝達流体が封入された第２伝達路と、を備える圧力伝達部材と、を備える。
【０００７】
前記第１伝達路は、前記第１ダイアフラムが面する受圧室を第１端に有する第１－１伝達路と、前記第１－１伝達路の前記第１端と反対の第２端から延びて途中で分岐し、前記複数のセンサチップのそれぞれに至る第１－２伝達路と、を備え、前記第２伝達路は、前記第２ダイアフラムに面する受圧室を第１端に有する第２－１伝達路と、前記第２－１伝達路の前記第１端と反対の第２端から延びて途中で分岐し、前記複数のセンサチップのそれぞれに至る第２－２伝達路と、を備え、前記圧力伝達部材は、前記第１－１伝達路及び前記第２－１伝達路を形成している第１部材と、前記第１部材に接続され、前記第１－２伝達路及び前記第２－２伝達路を形成している第２部材と、を備える、ようにしてもよい。
【０００８】
前記複数の差圧センサチップのそれぞれは、前記差圧により変形するセンサダイアフラムと、前記センサダイアフラムの変形を検出する検出素子と、を備え、前記複数の差圧センサチップのそれぞれの前記センサダイアフラムの大きさ、形状、厚さ、及び、材料のうちの少なくとも１つが前記複数の差圧センサチップ間で異なることで、複数の差圧センサチップの各測定レンジが異なり、前記複数の差圧センサチップは、最も高差圧側の測定レンジを有する第１差圧センサチップと、当該第１差圧センサチップの測定レンジよりも低差圧側の測定レンジを有する１以上の第２差圧センサチップと、からなり、前記１以上の第２差圧センサチップのうちの少なくとも１つは、前記差圧により変形した前記センサダイアフラムが接触することで当該センサダイアフラムをそれ以上変形させないようにする過大圧保護機構を備える、ようにしてもよい。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、差圧センサチップの交換のみで圧力センサの測定レンジが変更可能となっており、複数の測定レンジのうちの少なくとも１つを容易に変更できる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
本発明の一実施の形態に係る圧力センサの概略構成を示す一部断面図である。
差圧センサチップの概略構成を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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