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公開番号2023076268
公報種別公開特許公報(A)
公開日2023-06-01
出願番号2021189593
出願日2021-11-22
発明の名称観察装置
出願人株式会社エビデント
代理人個人,個人,個人,個人
主分類G02B 21/06 20060101AFI20230525BHJP(光学)
要約【課題】様々な試料を良好に観察可能な技術を提供する。
【解決手段】観察装置は、試料Sを撮像する撮像部と、試料Sの光学像を撮像部へ投影する観察光学系と、観察光学系の光軸に対して互いに異なる角度で試料Sへ照明光を照射する複数の照明部(照明部241、照明部242、照明部243)と、複数の照明部のうちの点灯状態にある照明部が異なる複数の照明状態へ順番に切り替えて撮像部で撮像した試料Sの複数の画像を取得する制御部と、を備える。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
試料を撮像する撮像部と、
前記試料の光学像を前記撮像部へ投影する観察光学系と、
前記観察光学系の光軸に対して互いに異なる角度で前記試料へ照明光を照射する複数の照明部と、
複数の照明部のうちの点灯状態にある照明部が異なる複数の照明状態へ順番に切り替えて前記撮像部で撮像した前記試料の複数の画像を取得する制御部と、を備える
ことを特徴とする観察装置。
続きを表示（約 1,400 文字）【請求項２】
請求項１に記載の観察装置において、
前記制御部は、前記複数の照明状態へ順番に切り替えて取得した前記複数の画像に基づいて、前記試料の新たな画像を生成する
ことを特徴とする観察装置。
【請求項３】
請求項１に記載の観察装置において、さらに、
前記試料と前記観察光学系の間の距離を変更する焦準部を備え、
前記制御部は、前記焦準部に前記距離を変更させる第１の処理と、前記第１の処理後に前記複数の照明状態へ順番に切り替えて前記複数の画像を取得する第２の処理とを、繰り返す
ことを特徴とする観察装置。
【請求項４】
請求項３に記載の観察装置において、
前記制御部は、前記第１の処理と前記第２の処理とを繰り返すことで取得した前記複数の画像に基づいて、全焦点画像又は三次元画像である前記試料の新たな画像を生成する
ことを特徴とする観察装置。
【請求項５】
請求項４に記載の観察装置において、
前記制御部は、前記試料の領域毎に、前記新たな画像の当該領域に対応する画素値を、前記第１の処理と前記第２の処理とを繰り返すことで取得した前記複数の画像の当該領域に対応する画素値に基づいて決定する
ことを特徴とする観察装置。
【請求項６】
請求項４又は請求項５に記載の観察装置において、
前記制御部は、前記試料の領域毎に、前記新たな画像の当該領域に対応する画素値を、前記第１の処理と前記第２の処理とを繰り返すことで取得した前記複数の画像の当該領域に対応する画素値の最大値に決定する
ことを特徴とする観察装置。
【請求項７】
請求項４又は請求項５に記載の観察装置において、
前記制御部は、前記試料の領域毎に、前記新たな画像の当該領域に対応する画素値を、前記第１の処理と前記第２の処理とを繰り返すことで取得した前記複数の画像の当該領域に対応する画素値のうちの閾値以下で最も高い値に決定する
ことを特徴とする観察装置。
【請求項８】
請求項４又は請求項５に記載の観察装置において、
前記制御部は、前記試料の領域毎に、前記新たな画像の当該領域に対応する画素値を、前記第１の処理と前記第２の処理とを繰り返すことで取得した前記複数の画像の当該領域に対応する画素値の中から、利用者の選択に従って決定する
ことを特徴とする観察装置。
【請求項９】
請求項４に記載の観察装置において、
前記制御部は、
前記試料の領域毎の高さを算出し、
前記試料の領域毎に、前記新たな画像の当該領域に対応する画素値を、算出した当該領域の高さに合焦しながら前記複数の照明状態で取得した前記複数の画像の当該領域に対応する画素値に基づいて、決定する
ことを特徴とする観察装置。
【請求項１０】
請求項９に記載の観察装置において、
前記制御部は、前記試料の領域毎に、前記新たな画像の当該領域に対応する画素値を、算出した当該領域の高さに合焦しながら前記複数の照明状態で取得した前記複数の画像の当該領域に対応する画素値の最大値に決定する
ことを特徴とする観察装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本明細書の開示は、観察装置に関する。
続きを表示（約 1,100 文字）【背景技術】
【０００２】
顕微鏡で使用される観察法として、光軸に対して傾斜した方向から試料に照明光を照射する偏斜観察や暗視野観察が知られている。これらの観察法に関連する技術は、例えば、特許文献１、特許文献２に記載されている。
【０００３】
特許文献１には、複数の発光素子を環状に配置したリング照明部により照明した試料を、光軸に対して偏心した位置に開口部を有する絞りを介して観察する観察装置が記載されている。特許文献１に記載の観察装置では、照明方向と観察方向を独立に調整することができる。
【０００４】
特許文献２には、出射方向が互いに異なる光を観察対象物に照射する投光部を有する拡大観察装置が記載されている。特許文献２に記載の拡大観察装置では、複数の出射方向の光がそれぞれ観察対象物に照射されたときの観察対象物の画像を示す複数の画像データを生成することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２００９－１７５３１６号公報
特開２０１８－０１３７３７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、上述した偏斜観察や暗視野観察では、光軸に対して傾斜した方向から試料に照明光を照射することで、通常の照明条件下では良好なイメージングが難しい試料のコントラストを強調することができる。しかしながら、最適な照射角度は試料によってさまざまであり、また、同じ試料内でも場所によって異なり得る。
【０００７】
例えば、深い溝のある試料の場合、照射角度が大きすぎると溝の底面に照明光が照射されず、底面を良好に可視化できない。一方で、照明角度が小さすぎると試料全体のコントラストが低下して立体感のある画像が得られない。
【０００８】
以上のような実情を踏まえ、本発明の一側面に係る目的は、様々な試料を良好に観察可能な技術を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の一態様に係る観察装置は、試料を撮像する撮像部と、前記試料の光学像を撮像部へ投影する観察光学系と、前記観察光学系の光軸に対して互いに異なる角度で前記試料へ照明光を照射する複数の照明部と、複数の照明部のうちの点灯状態にある照明部が異なる複数の照明状態へ順番に切り替えて前記撮像部で撮像した前記試料の複数の画像を取得する制御部と、を備える。
【発明の効果】
【００１０】
上記の態様によれば、様々な試料を良好に観察することができる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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