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公開番号2023074896
公報種別公開特許公報(A)
公開日2023-05-30
出願番号2021188073
出願日2021-11-18
発明の名称液体吐出装置及びインプリント装置
出願人キヤノン株式会社
代理人弁理士法人大塚国際特許事務所
主分類B05C 5/00 20060101AFI20230523BHJP(霧化または噴霧一般;液体または他の流動性材料の表面への適用一般)
要約【課題】装置の大型化を招くことなく液体の不吐出を抑制することができる液体吐出装置を提供する。
【解決手段】第1の液体を収容する第1の収容部と、第1の収容部に収容された第1の液体を吐出するための吐出素子と、第1の収容部に隣接し、第1の収容部に収容された第1の液体の圧力を制御するための第2の液体を収容する第2の収容部と、第1の収容部と第2の収容部を隔てる気体透過性の材料からなる隔壁と、第2の収容部に収容された第2の液体中の気体を脱気するための脱気手段と、を備える。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
第１の液体を収容する第１の収容部と、
前記第１の収容部に収容された第１の液体を吐出するための吐出素子と、
前記第１の収容部に隣接し、前記第１の収容部に収容された第１の液体の圧力を制御するための第２の液体を収容する第２の収容部と、
前記第１の収容部と前記第２の収容部を隔てる気体透過性の材料からなる隔壁と、
前記第２の収容部に収容された第２の液体中の気体を脱気するための脱気手段と、
を備えることを特徴とする液体吐出装置。
続きを表示（約 870 文字）【請求項２】
前記脱気手段は、前記第２の収容部に気体透過性の膜を介して接続される、前記第２の収容部の内部を減圧する減圧機構を有することを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置。
【請求項３】
前記第２の収容部に前記第２の液体を供給する流路をさらに備え、前記流路の少なくとも一部に、気体透過性の材料で形成された透過部が形成され、前記減圧機構は、前記透過部を覆うカバーを備え、該カバーの内部を減圧することにより、前記透過部を介して前記第２の液体中の気体を脱気することを特徴とする請求項２に記載の液体吐出装置。
【請求項４】
前記脱気手段は、前記第２の液体の減圧状態を維持するためのバルブを有することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の液体吐出装置。
【請求項５】
前記隔壁が鉛直方向に延びて配置されていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の液体吐出装置。
【請求項６】
前記隔壁が水平方向に延びて配置されていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の液体吐出装置。
【請求項７】
前記隔壁が２枚の気体透過性のフィルムで構成され、前記２枚の気体透過性のフィルム間の空間が真空排気されていることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の液体吐出装置。
【請求項８】
前記第１の収容部、前記第２の収容部、前記流路の少なくともいずれかに配置された加熱装置をさらに備えることを特徴とする請求項３に記載の液体吐出装置。
【請求項９】
前記流路に接続され、前記第２の収容部の内部の圧力を制御する圧力制御手段をさらに備えることを特徴とする請求項３または８に記載の液体吐出装置。
【請求項１０】
前記流路は、前記第２の収容部と前記圧力制御手段との間で前記第２の液体を循環させるための循環流路を構成することを特徴とする請求項９に記載の液体吐出装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体吐出装置に関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスやＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）などの微細化の要求が進み、従来のフォトリソグラフィー技術に加え、基板上の未硬化樹脂をモールドで成形し、樹脂のパターンを基板上に形成する微細加工技術が注目を集めている。この技術は、インプリント技術と呼ばれ、基板上に数ナノメートルオーダーの微細な構造体を形成することができる。
【０００３】
例えば、インプリント技術の１つとして光硬化法がある。この光硬化法を採用したインプリント装置では、基板上のインプリント領域に紫外線硬化性樹脂を液滴として吐出して塗布する。次に、この樹脂をパターンが刻まれたモールドを押し付けることにより成形する。そして、紫外線を照射して樹脂を硬化させたうえでモールドを引き離すことにより、樹脂のパターンが基板上に形成される。
【０００４】
特にインプリント装置で半導体デバイスを作成する場合、モールドのパターンが微細であるため、液体吐出装置に吐出不良があると、塗布した樹脂に厚みムラが生じてしまい、モールドに対する樹脂の充填性が低下し、樹脂のパターンに欠陥が生じる可能性がある。そのため、吐出不良を抑制する必要がある。
【０００５】
この吐出不良の一つとして不吐出が挙げられる。不吐出の原因の一つとして、吐出を制御する圧力室内への気泡の混入が挙げられる。圧力室内の液に気泡が混入すると、気泡がエアダンパとして機能し、吐出のための圧力変動が減衰され、吐出口から液が吐出されず不吐出が発生する。気泡は液に溶存した気体が印字ヘッドの圧力変動などによって気泡化することで発生する。また、インプリント材の吐出時にメニスカスが大きく振動し、気泡を巻き込むこともある。
【０００６】
特許文献１では、圧力室内における気泡発生の対策として、脱気ユニットを吐出液体の循環流路に配置する方法が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
特開２０１５－１４７３６５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、特許文献１に記載の技術では、スペースをとる脱気ユニットを循環流路に配置する必要があるため、液体吐出装置が大型化してしまうという課題がある。
【０００９】
本発明は上述した課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、装置の大型化を招くことなく液体の不吐出を抑制することができる液体吐出装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明に係わる液体吐出装置は、第１の液体を収容する第１の収容部と、前記第１の収容部に収容された第１の液体を吐出するための吐出素子と、前記第１の収容部に隣接し、前記第１の収容部に収容された第１の液体の圧力を制御するための第２の液体を収容する第２の収容部と、前記第１の収容部と前記第２の収容部を隔てる気体透過性の材料からなる隔壁と、前記第２の収容部に収容された第２の液体中の気体を脱気するための脱気手段と、を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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