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公開番号2023073983
公報種別公開特許公報(A)
公開日2023-05-26
出願番号2022175810
出願日2022-11-01
発明の名称バルブプレート
出願人バット ホールディング アーゲー
代理人弁理士法人創成国際特許事務所
主分類F16K 51/02 20060101AFI20230519BHJP(機械要素または単位;機械または装置の効果的機能を生じ維持するための一般的手段)
要約【課題】真空バルブの閉状態において、弾性シール部材の均一な圧縮を可能とする。
【解決手段】バルブプレートは、前側にシール部材2が取り付けられているプレート部1と、プレート部1の後側に配置され、バルブプレートを真空バルブの支持装置に連結するための連結装置と、を備えている。連結装置が、縦方向に延在している2つの連結部5を有している、縦方向3に離間している両端部において各連結部5がプレート部1に対して連結されている。各連結部5が、その両端部の間の領域においてプレート部1から間隔をあけて配置され、プレート部1と各連結部5との間に延在しているスロット6を形成している。各連結部5が、真空バルブの支持装置の各バルブロッドの端部に連結するための連結機構5cをその縦延在部分の中央部分において有している。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項1】
バルブプレートであって、
前側にエラストマー材料のシール部材(2)が取り付けられ、かつ、縦方向(3)の延在部分が当該縦方向(3)に対して垂直な幅方向(4)の延在部分より大きいプレート部(1)と、
前記プレート部(1)の前側とは反対側の後側に配置され、前記バルブプレートを真空バルブの支持装置に連結するための連結装置と、を備え、
前記連結装置が、縦方向に延在している第1連結部(5)および第2連結部(5)を備え、前記第1連結部(5)が前記プレート部(1)の縦中央部の一方側に配置され、前記第2連結部(5)が前記プレート部(1)の縦中央部の他方側に配置され、前記第1連結部(5)および前記第2連結部(5)のそれぞれが、前記縦方向(3)に離間している両端部において前記プレート部(1)に対して連結され、
前記第1連結部(5)および前記第2連結部(5)のそれぞれが、前記プレート部(1)と前記第1連結部(5)および前記第2連結部(5)のそれぞれとの間に延在しているスロット(6)を形成するため、それらの両端部の間の領域において前記プレート部(1)から離間しており、かつ、それらの縦方向の延在部分の中央部分において、前記真空バルブの前記支持装置のバルブロッド(8)のそれぞれに端部に連結するための連結機構(5c)をそれぞれ有している
バルブプレート。
続きを表示(約 1,400 文字)【請求項2】
請求項1に記載のバルブプレートにおいて、
前記第1連結部(5)および前記第2連結部(5)のそれぞれが、その端部のそれぞれから縦延在部分の中央部分に延在している板状の第1連結アーム(5e)および第2連結アーム(5f)を有している
バルブプレート。
【請求項3】
請求項2に記載のバルブプレートにおいて、
前記第1連結アーム(5e)および前記第2連結アーム(5f)のそれぞれが、前記プレート部(1)の前側に延在している平面に対して20°以下の角度をなす平面に存在し、当該平面が、前記前記第1連結部(5)および前記第2連結部(5)のそれぞれの端部のそれぞれから縦延在部分の中央部にかけて、前記プレート部(1)の前側から離間している
バルブプレート。
【請求項4】
請求項2または3に記載のバルブプレートにおいて、
前記第1連結アーム(5e)および前記第2連結アーム(5f)が、それぞれの縦延在部分の中央部分において、肉厚部を介して相互に連結され、当該肉厚部に前記連結機構(5c)が形成されている
バルブプレート。
【請求項5】
請求項1~4のうちいずれか1項に記載のバルブプレートにおいて、
前記連結機構(5c)が、前記第1連結部(5)および前記第2連結部(5)のそれぞれにおいて前記バルブロッドの端部を受け入れるための凹部を有する
バルブプレート。
【請求項6】
請求項1~5のうちいずれか1項に記載のバルブプレートにおいて、
前記プレート部(1)が、その前側と反対側の後側において、前記縦方向(3)に延在している補強リブ(1a)を有し、前記第1連結部(5)および前記第2連結部(5)のそれぞれの両端部が前記補強リブ(1a)に対して連結されている
バルブプレート。
【請求項7】
請求項1~6のうちいずれか1項に記載のバルブプレートにおいて、
前記連結機構(5c)が、前記第1連結部(5)および前記第2連結部(5)のそれぞれの第1狭小側面(5a)の領域に形成され前記第1連結部(5)および前記第2連結部(5)のそれぞれが、当該第1狭小側面(5a)の反対側にある第2狭小側面(5b)に対して前記幅方向(4)に連続している延在部分において、前記第1狭小側面(5a)に
対して前記幅方向(4)に連続している延在部分と比較して補強されている
バルブプレート。
【請求項8】
請求項7に記載のバルブプレートにおいて、
前記第2狭小側面(5b)に対して前記幅方向(4)に連続している延在部分において、前記第1連結部(5)および前記第2連結部(5)のそれぞれから、補強リブ(5g)が前記バルブプレートの前記プレート部(1)に向かって突出している
バルブプレート。
【請求項9】
請求項1~8のうちいずれか1項に記載のバルブプレートを備えている真空バルブであって、
前記バルブプレートが、前記真空バルブを開閉するためのバルブ駆動機構(13、14)によって駆動される、前記真空バルブの第1バルブロッド(8)および第2バルブロッド(8)のそれぞれにより支持されている
真空バルブ。

発明の詳細な説明【技術分野】
【0001】
本発明は、バルブプレートであって、前側にエラストマー材料のシール部材が取り付けられ、かつ、縦方向の延在部分が当該縦方向に対して垂直な幅方向の延在部分より大きいプレート部と、前記プレート部の前側とは反対側の後側に配置され、前記バルブプレートを真空バルブの支持装置に連結するための連結装置と、を備えているバルブプレートに関する。
続きを表示(約 1,800 文字)【背景技術】
【0002】
バルブロッドにより構成されている真空バルブの支持装置に連結するための連結装置として、バルブロッドに対して垂直に延在している軸線まわりにバルブプレートの揺動を可能とするジョイントまたは関節機構を有するバルブプレートが知られている。真空バルブの閉状態において、構造上の公差および弾性変形、特にバルブロッドのわずかなたわみが補正されることにより、バルブプレートの前側に配置されたシール部材のより均一な圧縮を達成することができる。しかし、真空バルブの真空領域における関節機構を介した連結は、表面が相互に変位する際にパーティクルが発生するため、望ましくない。
【0003】
前記のようなタイプのバルブプレートが開示されている(例えば、特許文献1参照)。バルブプレートのプレート部がその前側にエラストマー材料からなるシール部材を備え、プレート部の後側において縦方向に延在している連結部が連結装置として配置され、その両端部がプレート部に対して連結されている。両端部の間には、連結部がプレート部から間隔をおいて配置され、連結部の縦中央部には、当該連結部をバルブロッドの端部に連結するための連結機構が設けられており、バルブロッドの端部が連結部の凹部に挿入されてそこに螺合されている。バルブプレートのバルブロッドに対する一定の揺動は、連結部のねじれ(ひねり)の形態の弾性変形によって可能となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
米国特許公開公報 US2011/0108750A1
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
本発明の目的は、真空バルブの閉状態において、弾性シール部材の均一な圧縮が可能となる、前述のタイプの有利なバルブプレートを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本発明によれば、この目的は、請求項1の特徴を有するバルブプレートによって達成される。
【0007】
本発明に係るバルブプレートは、縦方向に延在している第1連結部および第2連結部を備え、第1連結部が、プレート部の縦中央部(縦方向または長手方向の中央部)の一方側に配置され、第2連結部がプレート部の縦中央部の他方側に配置されている。縦方向に離間している両端部により、各連結部がプレート部の後側に連結されている。その両端部の間の領域において、プレート部と各連結部との間にそれぞれのスロットが形成されるように、各連結部がプレート部からそれぞれ間隔をあけて配置されている。その縦延在部分の中央部分において、各連結部が、真空バルブの支持装置のそれぞれのバルブロッドに連結するための連結機構を有している。
【0008】
連結部がねじれ(またはひねり)の携帯でたわむことにより、バルブプレートの角度がシール面の正確な位置に合わせられる。バルブプレートが、バルブロッドに対して垂直な軸線まわりに(わずかながら)傾動する。第1連結部および第2連結部を備えている本発明に係る連結装置の構成に起因して、バルブロッドに対して垂直な軸線に対するバルブプレートの偏向が低減されうる。この場合、バルブプレートの縦方向に延在しているシール部材の長手部分または長手脚部の圧縮の均一性を、当該長手部分の全長にわたって向上させることができる。幅方向に延在しているシール部材の短手部分または短手脚部の圧縮と、シール部材の長手部分の圧縮との偏差または相違がこれにより低減されうる。
【0009】
本発明の有利な実施形態において、各連結部が、その端部のそれぞれから連結部の縦延在部分の中央部分まで延在している板状の第1連結アームおよび第2連結アームを備えている。好ましくは、これらの板状の連結アームが、バルブプレートの平面に延在しているプレート部の前側に対して20°以下の角度をなす平面に存在し、これにより、当該平面は、連結部の各端部から縦中央部までプレート部の前側から離間している。
【0010】
板状の第1連結アームおよび第2連結アームが、各連結アームの縦延在部分の中央部分において、連結機構が形成されている肉厚部を介して相互に連結されてもよい。
(【0011】以降は省略されています)

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