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公開番号2023072609
公報種別公開特許公報(A)
公開日2023-05-24
出願番号2021185304
出願日2021-11-12
発明の名称ウエハの帯電防止装置
出願人株式会社東京精密
代理人個人
主分類H01L 21/677 20060101AFI20230517BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】ウエハの種類や設置環境によることなく、最適な除電を行うことができ、タクトタイムの改善と生産性の向上を図ることができるウエハの帯電防止装置を提供する。
【解決手段】搬送アーム17により搬送されるウエハの帯電防止装置であって、ウエハWに帯電している静電気の帯電量を測定し、測定した結果を出力する帯電量測定器14と、ウエハWに除電エアを供給し、ウエハWに帯電されている静電気を取り除く除電器15と、帯電量が所定閾値以下を維持するように、搬送アーム17によるウエハWの搬送動作、除電器15による除電エアの供給量、又は、ウエハWの加工に要するプロセス時間の、少なくともいずれかを調整する制御装置16と、を備える。
【選択図】図1

特許請求の範囲【請求項１】
搬送アームにより搬送されるウエハの帯電防止装置であって、
前記ウエハに帯電している静電気の帯電量を測定し、測定した結果を出力する帯電量測定手段と、
前記ウエハに除電エアを供給し、前記ウエハに帯電されている前記静電気を取り除く除電手段と、
前記帯電量が所定閾値以下を維持するように、前記搬送アームによる前記ウエハの搬送動作、前記除電手段による除電エアの供給量、又は、前記ウエハの加工に要するプロセス時間の、少なくともいずれかを調整する制御手段と、
を備える、
ことを特徴とするウエハの帯電防止装置。
続きを表示（約 240 文字）【請求項２】
前記制御手段は、前記帯電量を所定閾値以下まで低下させるのに必要な前記除電エアの必要供給量を算出し、前記除電エアの必要供給量を前記除電エアの供給範囲を通過する前記搬送アームの搬送経路長で除し、前記搬送アームによる前記ウエハの搬送する速度を調整する、ことを特徴とする請求項１に記載のウエハの帯電防止装置。
【請求項３】
前記除電手段は、イオン化された除電エアを供給するイオナイザーである、ことを特徴とする請求項１または２に記載のウエハの帯電防止装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウエハの帯電防止装置に関するものであり、特に、半導体製造装置においてウエハ載置台に搬送アームで搬入・搬出されるウエハの帯電防止装置に関するものである。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体製造工程などでは、薄い円板状の半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」と言う）を、搬送アームを用いてウエハ載置台に搬送し、ウエハ載置台でウエハを保持して各種の処理を施す。ウエハ載置台上に載置されたウエハには、色々な原因で静電気が帯電する。
【０００３】
例えば、半導体製造工程などでは、ウエハの裏面にダイアタッチフィルム（ＤＡＦ）と呼ばれるダイボンディング用のフィルム状接着剤が付いたダイシングテープを貼り付け、ダイシングテープを拡張（エキスパンド）してウエハ及びダイアタッチフィルムを個々のチップに分割するようにしている。その分割加工の際、静電気が発生し、発生した静電気がウエハ側に帯電する。また、ウエハを搬送アームで搬送しているとき、空気との摩擦によりウエハに静電気が帯電する。この静電気は、ウエハにデブリの付着を誘引する原因となる。したがって、ウエハへの帯電量を極力抑えることが必要である。
【０００４】
そこで、従来では、ウエハの帯電量を抑えるための除電機器として、例えばイオナイザーを使用し、イオナイザーからイオン化された除電エアを供給して除電する方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
また、除電の方法としては、イオナイザーの性能（例えば、搬送後から１０秒後におけるウエハの帯電量等）を測定し、イオナイザーによる除電をする時間を管理して、除電エアを所定時間供給する等が行われている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
特開２０１７－５９８４１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
したがって、従来における除電の方法としては、イオナイザーによるイオン化された除電エアを付与する時間を延ばせば、帯電量を十分に抑えることはできる。しかしながら、イオナイザーなどの除電機器を用いて除電時間を延ばすと、タクトタイムが増加し、生産性が低下してしまうという問題点があった。
【０００８】
また、ウエハの帯電量は、ウエハの種類（例えば、半導体チップのパターン、ウエハに貼り付けられたテープの種類など）によっても帯電量が異なり、さらに装置の設置環境によっても帯電量が異なることがある。そこで、一般には、除電エアを付与する時間を、帯電量が最も多くなるワークに合わせて設定しているが、ウエハによっては過剰に除電時間をかけている場合があった。このため、生産性が悪いという問題点があった。
【０００９】
そこで、ウエハの種類や設置環境によることなく、最適な除電を行うことができ、タクトタイムの改善と生産性の向上を図ることができるウエハの帯電防止装置を提供するために解決すべき技術的課題が生じてくるのであり、本発明はこの課題を解決することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は上記目的を達成するために提案されたものであり、請求項１に記載の発明は、搬送アームにより搬送されるウエハの帯電防止装置であって、前記ウエハに帯電している静電気の帯電量を測定し、測定した結果を出力する帯電量測定手段と、前記ウエハに除電エアを供給し、前記ウエハに帯電されている前記静電気を取り除く除電手段と、前記帯電量が所定閾値以下を維持するように、前記搬送アームによる前記ウエハの搬送動作、前記除電手段による除電エアの供給量、又は、前記ウエハの加工に要するプロセス時間の、少なくともいずれかを調整する制御手段と、を備える、ウエハの帯電防止装置を提供する。
（【００１１】以降は省略されています）

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