特許ウォッチ

公開番号2023070578
公報種別公開特許公報(A)
公開日2023-05-19
出願番号2021182856
出願日2021-11-09
発明の名称基板収納容器
出願人ゴールド工業株式会社
代理人個人
主分類H01L 21/673 20060101AFI20230512BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】本発明は、トップフランジを利用した操作に対する剛性が向上された新規な基板収納委容器を提供することを目的とする。
【解決手段】容器本体2と、前記容器本体2の正面開口部を塞ぐ蓋体3と、前記容器本体2の天面23に固定されたトップフランジ4と、を具備してなるFOUPタイプの基板収納容器1において、基板(W)を一枚ずつ個別に支持するための支持片51が上下方向に沿って並べられた一組のパネルスロット5を、前記容器本体2内の両側面(22L、22R)寄りの各位置において前記容器本体2の天面23と底面21とを架橋するようにして配する。
【選択図】図1

特許請求の範囲【請求項１】
複数枚の基板を上下方向に並べた状態で収納するＦＯＵＰタイプの基板収納容器であって、
容器本体と、
前記容器本体の正面開口部を塞ぐ蓋体と、
前記容器本体の天面に固定されたトップフランジと、
を具備してなり、
更に、基板を一枚ずつ個別に支持するための支持片が上下方向に沿って並べられた一組のパネルスロットが、前記容器本体内の両側面寄りの各位置において前記容器本体の天面と底面とを架橋する状態で配されてなることを特徴とする基板収納容器。
続きを表示（約 360 文字）【請求項２】
請求項１に記載の基板収納容器において、
一対のトップフランジが前記容器本体の天面における両側面寄りの各位置に設けられてなる基板収納容器。
【請求項３】
請求項２に記載の基板収納容器において、
前記容器本体に固定された各トップフランジの固定端が、前記容器本体の側面と前記パネルスロットによって挟まれた範囲内に在る基板収納容器。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれか１項に記載の基板収納容器において、
前記容器本体と各パネルスロットとが別体となされ、
前記容器本体の天面と底面の所定位置に設けられたスリットに前記パネルスロットの上縁及び下縁を差し込むことによって、前記容器本体に各パネルスロットが取り付けられる仕組みとなされた基板収納容器。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数枚の基板を上下方向に並べた状態で収納するＦＯＵＰタイプの基板収納容器に関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体ウェハなどの基板は、基板収納容器の内部空間に収納された状態で保管、搬送、に供される。この基板収納容器は収納する基板のサイズに応じて様々なタイプのものが存在し、比較的大型の基板を収納する基板収納容器としては、複数枚の基板を上下方向に並べた状態で収納するＦＯＵＰ（ＦｒｏｎｔＯｐｅｎｉｎｇＵｎｉｆｉｅｄＰｏｄ）タイプのものが用いられている。
【０００３】
そして、この種の基板収納容器には、一般にＯＨＴ（ＯｖｅｒＨｅａｄＴｒａｎｓｆｅｒ）と称される天井走行装置やロボットなどの自動搬送装置によって操作し得るように、容器本体の天面にトップフランジ（或いはロボティックフランジ）と称される搬送用の把手が設けられている（例えば、下記特許文献１～３参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１１‐１８１８６７号公報
特開２００８‐０３４８７９号公報
特開２０２０‐０６１４９８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、近年の基板のサイズアップに応じた基板収納容器の大型化により、基板が収納された基板収納容器の総重量が増加しており、トップフランジを利用した基板収納容器の操作の際に基板収納容器の変形や破損等が生じる懸念が生じてきた。
【０００６】
本発明は、前記技術的課題に鑑みて完成されたものであり、トップフランジを利用した操作に対する剛性が向上された新規な基板収納委容器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記技術的課題を解決する本発明の基板収納容器は、複数枚の基板を上下方向に並べた状態で収納するＦＯＵＰタイプの基板収納容器であって、容器本体と、前記容器本体の正面開口部を塞ぐ蓋体と、前記容器本体の天面に固定されたトップフランジと、を具備してなり、更に、基板を一枚ずつ個別に支持するための支持片が上下方向に沿って並べられた一組のパネルスロットが、前記容器本体内の両側面寄りの各位置において前記容器本体の天面と底面とを架橋する状態で配されてなることを特徴とする（以下、「本発明容器」と称する。）。
【０００８】
前記本発明容器においては、一対のトップフランジが前記容器本体の天面における両側面寄りの各位置に設けられてなるものが好ましい態様となる。
【０００９】
前記本発明容器においては、前記容器本体に固定された各トップフランジの固定端が、前記容器本体の側面と前記パネルスロットによって挟まれた範囲内に在るものが好ましい態様となる。
【００１０】
前記本発明容器においては、前記容器本体と各パネルスロットとが別体となされ、前記容器本体の天面と底面の所定位置に設けられたスリットに前記パネルスロットの上縁及び下縁を差し込むことによって、前記容器本体に各パネルスロットが取り付けられる仕組みとなされたものが好ましい態様となる。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許