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公開番号2023069982
公報種別公開特許公報(A)
公開日2023-05-18
出願番号2021203746
出願日2021-11-05
発明の名称露光方法
出願人個人
代理人
主分類G03F 7/20 20060101AFI20230511BHJP(写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ)
要約【課題】安価で集積度が高い回路を製作する露光方法。
【解決手段】フオトレジスを保護するカバーをフオトレジストにかけ、フオトレジストとカバーの間隙を固体で埋めて、フオトレジストの垂直方向、水平方向の圧力によるフオトレジストの変形が生じ難く、カつフオトレジストと固体の相互作用のしみ出しを少なくする。
特許請求の範囲【請求項1】
ホトレジストとそのカバーの間に固体を満たして露光する露光方法。
続きを表示(約 250 文字)【請求項2】
ホトレジストのカバーの外から液浸露光する請求項1記載の露光方法。
【請求項3】
ホトレジストのカバーとしてグラフェン又はグラファイトを使用し、その上にマスクを密着して露光する請求項1記載の露光方法。
【請求項4】
マスクの回路パターンにグラフェン又はグラファイトのカバーをかけて露光する請求項3記載の露光方法。
【請求項5】
グラフェン又はグラファイト間に回路パターンを挟んでできたマスクを密着して露光する請求項3記載の露光方法。

発明の詳細な説明【0001】
本発明は集積回路を製造する露光方法に関する。
続きを表示(約 1,000 文字)【背景技術】
【0002】
集積回路を高密度化すれば、高精能となるため、今まで高密度化の努力が続けられてきた。
【0003】
そこで集積回路の製作の要である露光について安価でランニングコストが安く微細パターンを得る露光方法が求められていた。
【先行技術文献】
【0004】
特開2020-184051
日経XTECH プロセス製造技術総覧 出典:2006年2~11月号 日経マイクロデバイス
2-メチル-2-プロパノール Wikipedia
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
液浸露光は水を使用し高度に進化したが、水よりも高光屈折率の液体を使用時、使用している液体にフオトレジストの微粒子の混入、フオトレジスト成分のしみ出し、又使用している液体の露光光による分解等の問題があった。
【0006】
高密度回路パターン結像には、短波長光源と高精度光学系が必要であり、非常に高額で又高輝度短波長の光源が必要にて、ランニングコストも増大していた。
【0007】
本発明露光方法は、この様な従来の問題を解決しようとするものであり、高密度回路パターンを安価の装置で又ランニングコストも安い露光方法を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【0008】
そして本発明方法は、上記目的を達成するために、フオトレジストにカバーをかけ、フオトレジストとそのカバーを密着しその間のわずかな空間を液体で満たし、その液体を冷却して固体化して露光している。
【本発明の効果】
【0009】
本発明露光方法は、上記のような方法をとっているので、フオトレジストとそのカバーとの間のわずかな空間を固体化した物質で埋めていて、カバーに垂直方向又水平方向にかかる圧力によるフオトレジスト変形、又温度変化による微小気体の発生を防いでいる。
【0010】
又フオトレジストとそのカバーとの間隙を液体を固体化して埋めているので、その固体にフオトレジストからのしみ出しや、反対に固体からフオトレジストへのしみ込みもほとんどない。そのため高屈折率のアルコールや油の使用が可能となった。
(【0011】以降は省略されています)

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