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公開番号2023068260
公報種別公開特許公報(A)
公開日2023-05-17
出願番号2021179170
出願日2021-11-02
発明の名称フォトマスク、感光性導電樹脂シートの製造方法および感光性導電樹脂シート
出願人東レ株式会社
代理人
主分類G03F 1/38 20120101AFI20230510BHJP(写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ)
要約【課題】大面積であってかつ導電性に優れた透明導電膜などにも適用可能な感光性導電樹脂シートおよびそのためのフォトマスクを提供することを目的とする。
【解決手段】基体シート上に、導電性粒子が含有された面積200,000～2,160,000mm²の感光性導電樹脂組成物層が形成され、前記感光性導電樹脂組成物層がフォトマスクを介して露光され、パターン形成されたシート。
基板上に遮光膜が形成され、前記基板および遮光膜を貫通する斜め方向の孔が形成された以下の式(1)の関係を有するフォトマスクを使用する。
t×COSθ/7≦D≦t×COSθ/1.5 (1)
D;孔の平均直径(mm)
t;フォトマスクの平均厚み(mm)
θ;基板と遮光膜とが接する面に対して斜め方向に形成した孔の角度(40°≦θ≦85°)
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
基板上に遮光膜が形成され、前記基板および遮光膜を貫通する斜め方向の孔が形成された以下の式（１）の関係を有するフォトマスク。
ｔ×ＣＯＳθ／７≦Ｄ≦ｔ×ＣＯＳθ／１．５（１）
Ｄ；孔の平均直径（ｍｍ）
ｔ；フォトマスクの平均厚み（ｍｍ）
θ；基板と遮光膜とが接する面に対して斜め方向に形成した孔の角度（４０°≦θ≦８５°）
続きを表示（約 560 文字）【請求項２】
前記孔の内面の算術平均表面粗さＲａが、１３μｍ～１２０μｍである請求項１に記載のフォトマスク。
【請求項３】
前記孔の開口外周部が、Ｃ面またはＲ面になっている請求項１または２に記載のフォトマスク。
【請求項４】
前記孔の内面に遮光膜が形成されている請求項１～３のいずれかに記載のフォトマスク。
【請求項５】
ソーダライムガラスフォトマスクであって、以下の式（２）の関係を有する請求項１～４のいずれかに記載のフォトマスク。
１１０００≦Ｓ/ｔ
2
≦１２０００（２）
Ｓ；フォトマスクの面積（ｍｍ
２
）
ｔ；フォトマスクの平均厚み（ｍｍ）
【請求項６】
請求項１～５のいずれかに記載のフォトマスクを用いて、導電性粒子が含有された面積２００，０００～２，２５０，０００ｍｍ
２
の感光性導電樹脂組成物層をパターン形成する感光性導電樹脂シートの製造方法。
【請求項７】
基体シート上に、導電性粒子が含有された面積２００，０００～２，２５０，０００ｍｍ
２
の感光性導電樹脂組成物層がパターン形成された感光性導電樹脂シート。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、フォトマスク、それを用いた感光性導電樹脂シートの製造方法および感光性導電樹脂シートに関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、基体シート上に導電性粒子が含有された感光性導電ペーストを塗布して、表示領域及び加飾領域に導電塗布膜を得、その導電塗布膜を一括露光及び現像して、線幅が２～６μｍの導電パターンと線幅が７～１００μｍの導電パターンとからなるタッチセンサー用部材が知られている（特許文献１）。
【０００３】
これは、携帯電話や携帯情報端末（ＰＤＡ）等の機器に組み込まれるタッチセンサー用部材であり、検出電極の骨見えや光反射といった問題を伴うことなく、断線や導通不良を抑止し、接続性が極めて良好な導電配線とするという効果を有する。そして、導電パターンのパターン化はマスク露光等によりなされている。
【０００４】
また、大面積のフォトマスクを対象として、前記基板と対向する面に、外部との間で気体を給排気する溝部とその溝部に設けられた給排気孔とを備えたフォトマスクが知られている（特許文献２）。
【０００５】
これは、そのフォトマスクに設けられた溝部と給排気孔により、ギャップへの空気の流入を迅速にし、マスクホルダーに装着されるフォトマスクにズレや脱落が生じるのを防止するという効果を有する。そして、その給排気孔を斜めに開けることによって、気体を通過させる一方で露光光線の光束を透過させないようにするという特徴もある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
国際公開第２０１５／０８７８５９号
特開２００４－２９４７６０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、特許文献１の発明は、携帯電話や携帯情報端末（ＰＤＡ）等のサイズの小さな機器を対象とする発明であり、使用するフォトマスクのサイズがそれらよりも大幅に大きくなると、フォトマスクが撓んで対象物と接触したりフォトマスクにズレが生じたりしてパターニング性が低下し、同様の実施をしても特許文献１に記載された性能が得られない場合があった。
【０００８】
その対策として、特許文献２のような溝部や給排気孔を形成したフォトマスクを適用しても、効果は十分ではなかった。例えば、比較的厚みの厚いフォトマスクを使用した場合、その厚みが厚くなるに従って気体の給排気量が少なくなり、フォトマスクにズレや脱落が生じて露光装置のスループットが低下する問題があった。一方で、比較的厚みの薄いフォトマスクを使用した場合、その厚みが薄くなるに従って露光光線の光束を透過させないようにする効果が低下する問題があった。
【０００９】
また、給排気孔を遮光膜に対して斜めに開ける加工をしたとしても、ほとんどの場合、気体を通過させかつ光束を透過させないようにする効果が得られなかった。それは、そのような効果が得られる設定の組み合わせが、無数にある組み合わせの中のほんの僅かであって、その選択指針となる記載が上記特許文献２にないために、当業者であってもその組み合わせを見いだすことが困難であったからである。そのため、何度も試行錯誤を繰り返し、その度に高価なフォトマスクの廃棄をせざるを得ない問題もあった。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
そこで本発明は、上記の課題を解決し、大面積であってかつ導電性に優れた透明導電膜などにも適用可能なシートおよびそのためのフォトマスクを提供することを目的とする。
（【００１１】以降は省略されています）

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