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公開番号2023040572
公報種別公開特許公報(A)
公開日2023-03-23
出願番号2021147648
出願日2021-09-10
発明の名称真空装置
出願人株式会社島津製作所
代理人個人
主分類H01J 49/02 20060101AFI20230315BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】真空とされる筐体内でのネジの落下を防止することができる真空装置を提供する。
【解決手段】
筐体内において被固定物がネジ74を介して固定対象物に固定され、筐体内を真空にすることが可能な真空装置10であって、ネジ74は、頭部74aと、雄ネジ部74cと、これらを連結し、雄ネジ部74cの外径よりも小さい外径とされる軸部74bとを備え、被固定物は、固定対象物に当接する当接面66aと、当接面66aに形成され、雄ネジ部74cの長さよりも深さが大きい第1凹部76と、第1凹部76の底面に形成され、軸部74bの外径よりも大きく、かつ、雄ネジ部74cの外径よりも小さい内径を有するとともに、軸部74bが挿通される貫通孔78と、第1凹部76を筐体内における被固定物よりも外側の空間と連通させる連通孔68とを備える。
【選択図】 図4
特許請求の範囲【請求項1】
筐体内において被固定物がネジを介して固定対象物に固定され、前記筐体内を真空にすることが可能な真空装置であって、
前記ネジは、頭部と、雄ネジ部と、前記頭部及び前記雄ネジ部を連結し、前記雄ネジ部の外径よりも小さい外径とされる軸部とを備え、
前記被固定物は、前記固定対象物に当接する当接面と、当該当接面に形成され、前記雄ネジ部の長さよりも深さが大きい第1凹部と、当該第1凹部の底面に形成され、前記軸部の外径よりも大きく、かつ、前記雄ネジ部の外径よりも小さい内径を有するとともに、前記軸部が挿通される貫通孔と、前記被固定物が前記固定対象物に固定されている状態で前記第1凹部を前記筐体内における当該被固定物よりも外側の空間と連通させる連通孔とを備え、
前記固定対象物は、前記被固定物の前記第1凹部に対向する位置に形成され、前記雄ネジ部を螺合可能な第1雌ネジ部を備える、真空装置。
続きを表示(約 310 文字)【請求項2】
前記貫通孔は、前記雄ネジ部を螺合可能とする第2雌ネジ部として形成される、請求項1に記載の真空装置。
【請求項3】
前記貫通孔の前記第1凹部側とは反対側に設けられ、前記貫通孔に挿通された前記ネジの前記頭部を前記貫通孔から離間する方向に付勢する付勢部材をさらに備える、請求項1又は2に記載の真空装置。
【請求項4】
前記被固定物は、前記付勢部材を収容しつつ前記貫通孔と連通する第2凹部を備える、請求項3に記載の真空装置。
【請求項5】
前記被固定物を介して、前記固定対象物に固定される検出器をさらに備える、請求項1から4のいずれか一項に記載の真空装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【0001】
本発明は、真空装置に関するものである。
続きを表示(約 1,600 文字)【背景技術】
【0002】
例えば、下記特許文献1で開示される飛行時間型質量分析装置では、必要に応じて真空にすることができる分析室に、検出器及びフライトチューブ等が設けられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
特許第6874906号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
上記飛行時間型質量分析装置のような装置では、メンテナンスの際には、作業者によってコンポーネントを固定するためのネジの取り付け及び取り外しが行われる。また、ネジの取り付けは、たとえば、装置の組み立てに伴って、筐体内のコンポーネントを固定する場合も行われる。
【0005】
作業者がネジの取り付け又は取り外しを行う際には、作業者が筐体内でネジを落としてしまい、そのネジがコンポーネントに衝突する虞がある。また、ネジがコンポーネントと衝突すると、そのコンポーネントに傷が付く虞がある。さらに、ネジの取り付け又は取り外しを行う際に周辺のコンポーネントに手が当たってしまい、これらを変形・故障させてしまう虞もある。
【0006】
特に、上記飛行時間型質量分析装置の分析室のような、適宜に真空とされる空間に配置されるコンポーネントは精密部品及び精密機器等であるため、ネジとの衝突に起因して、これらが変形又は故障した場合に、損害が大きくなる虞がある。また落下したネジを救出するための追加作業が必要となり、作業効率が低下する。
【0007】
本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであり、真空とされる筐体内でのネジの落下を防止することができる真空装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0008】
本発明の第1の態様は、筐体内において被固定物がネジを介して固定対象物に固定され、前記筐体内を真空にすることが可能な真空装置であって、前記ネジは、頭部と、雄ネジ部と、軸部とを備え、前記被固定物は、当接面と、第1凹部と、貫通孔と、連通孔とを備え、前記固定対象物は、第1雌ネジ部を備える。前記軸部は、前記頭部及び前記雄ネジ部を連結し、前記雄ネジ部の外径よりも小さい外径とされる。前記当接面は、前記固定対象物に当接する。前記第1凹部は、前記当接面に形成され、前記雄ネジ部の長さよりも深さが大きい。前記貫通孔は、前記第1凹部の底面に形成され、前記軸部の外径よりも大きく、かつ、前記雄ネジ部の外径よりも小さい内径を有するとともに、前記軸部が挿通される。前記連通孔は、前記被固定物が前記固定対象物に固定されている状態で前記第1凹部を前記筐体内における当該被固定物よりも外側の空間と連通させる。前記第1雌ネジ部は、前記被固定物の前記第1凹部に対向する位置に形成され、前記雄ネジ部を螺合可能とされる。
【発明の効果】
【0009】
本発明によれば、真空とされる筐体内でネジが取り付け又は取り外される際に、ネジが落下するのを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【0010】
本実施形態の真空装置の構成の一例を示す概略図である。
本実施形態のマウントの周辺の一例を示す斜視図である。
本実施形態のネジの構成の一例を示す概略図である。
本実施形態のマウントの構成の一例を示す概略断面図である。
本実施形態のマウントの構成の他の例を示す概略断面図である。
本実施形態のマウントの構成のさらに他の例を示す概略断面図である。
本実施形態のマウントの構成のさらにその他の例を示す概略断面図である。
図7の状態からネジを緩めた状態を示す概略断面図である。
【発明を実施するための形態】
(【0011】以降は省略されています)

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