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公開番号2023015538
公報種別公開特許公報(A)
公開日2023-02-01
出願番号2021119375
出願日2021-07-20
発明の名称構造体およびその製造方法
出願人キヤノン株式会社
代理人弁理士法人秀和特許事務所
主分類B41J 2/16 20060101AFI20230125BHJP(印刷;線画機;タイプライター;スタンプ)
要約【課題】非接着領域を基板間に容易に形成することのできる構造体の製造方法、および当該製造方法で製造された構造体を提供する。
【解決手段】本発明の構造体の生成方法は、第1の基板の表面のうちの第1の領域に凹凸を形成する凹凸形成工程と、前記第1の領域の表面自由エネルギーを、前記第1の基板の表面のうちの第2の領域の表面自由エネルギーよりも低くするエネルギー調整工程と、前記凹凸が形成され且つ前記表面自由エネルギーが調整された前記第1の基板に、第2の基板を接着剤で接着する接着工程とを有することを特徴とする。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
第１の基板の表面のうちの第１の領域に凹凸を形成する凹凸形成工程と、
前記第１の領域の表面自由エネルギーを、前記第１の基板の表面のうちの第２の領域の表面自由エネルギーよりも低くするエネルギー調整工程と、
前記凹凸が形成され且つ前記表面自由エネルギーが調整された前記第１の基板に、第２の基板を接着剤で接着する接着工程と
を有することを特徴とする構造体の製造方法。
続きを表示（約 830 文字）【請求項２】
前記接着工程よりも後に、前記接着剤の粘度を下げる粘度調整工程をさらに有する
請求項１に記載の構造体の製造方法。
【請求項３】
前記凹凸が形成され且つ前記表面自由エネルギーが調整された前記第１の基板の表面に前記接着剤を塗布する塗布工程と、
前記接着工程よりも前に、前記第１の基板の表面に塗布された前記接着剤の粘度を下げる粘度調整工程と
をさらに有する
請求項１に記載の構造体の製造方法。
【請求項４】
前記接着剤を加熱することで前記接着剤の粘度を下げる
請求項２または３に記載の構造体の製造方法。
【請求項５】
前記接着剤に溶媒を加えることで前記接着剤の粘度を下げる
請求項２または３に記載の構造体の製造方法。
【請求項６】
前記接着剤の粘度を２９７２Ｐａ・ｓｅｃ以下に下げる
請求項２～５のいずれか１項に記載の構造体の製造方法。
【請求項７】
前記エネルギー調整工程では、前記第１の領域と前記第２の領域との少なくとも一方に、表面改質処理を施す
請求項１～６のいずれか１項に記載の構造体の製造方法。
【請求項８】
前記エネルギー調整工程では、前記第１の領域に、前記第２の領域よりも表面自由エネルギーが低い膜を形成する
請求項１～６のいずれか１項に記載の構造体の製造方法。
【請求項９】
前記エネルギー調整工程では、前記第２の領域に、前記第１の領域よりも表面自由エネルギーが高い膜を形成する
請求項１～６および８のいずれか１項に記載の構造体の製造方法。
【請求項１０】
前記凹凸形成工程では、前記凹凸をエッチングによって形成する
請求項１～９のいずれか１項に記載の構造体の製造方法。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の基板を積層した構造体およびその製造方法に関するものであり、特に液体吐出ヘッドに関するものである。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
微細加工業界では、複数の基板を積層した様々な構造体が知られている。そのような構造体では、所望の機能が得られるように、基板の構造（形状）が工夫されている。各種インクジェット記録装置に搭載されている液体吐出ヘッドは、複数の基板を積層した構造体の一種である。液体吐出ヘッドでは、インクを吐出する機能が得られるように、基板の構造が工夫されている。例えば、液体吐出ヘッドは内部に圧電素子と圧力室を有し、圧電素子に電圧を印加することにより圧電素子が変形し、圧電素子の変形により圧力室が収縮する。そして、圧力室の収縮により、圧力室内のインクが、圧力室の一端に形成された吐出口から吐出される。液体吐出ヘッドなどの構造体は、接着剤で基板同士を接着（接合）して製造される。
【０００３】
このような構造体として、非接着領域（基板同士が接着していない領域；接着剤が存在しない領域）を基板間に形成することが必要な構造体がある。非接着領域の形成方法として、接着剤の塗布後にフォトレジスト（マスクレジスト）を用いて接着剤をパターニングする第１の方法と、撥液処理を行って撥液領域の接着剤を撥ねる第２の方法とが知られている。撥液処理を行って撥液領域の接着剤を撥ねる第２の方法は特許文献１に記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１１－４９２１０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、第１の方法では、接着剤のパターニングに使用するマスクレジストと、接着剤との密着を考慮する必要があるため、接着剤の選定に制約が生じることが懸念される。第２の方法では、接着剤の結合が強い場合に、撥液処理を行っても、撥液領域の接着剤が撥ねにくく、撥液領域に接着剤の膜が張ることが懸念される。そのため、第１の方法や第２の方法といった従来の方法では、非接着領域の形成が困難である。なお、接着剤の結合が強い場合とは、例えば、接着剤の粘度が高い場合や、接着剤が厚く塗られた場合などである。
【０００６】
そこで、本発明は、非接着領域を基板間に容易に形成することのできる構造体の製造方法、および当該製造方法で製造された構造体を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の構造体の生成方法は、第１の基板の表面のうちの第１の領域に凹凸を形成する凹凸形成工程と、前記第１の領域の表面自由エネルギーを、前記第１の基板の表面のうちの第２の領域の表面自由エネルギーよりも低くするエネルギー調整工程と、前記凹凸が形成され且つ前記表面自由エネルギーが調整された前記第１の基板に、第２の基板を接着剤で接着する接着工程とを有することを特徴とする。
【０００８】
本発明の構造体は、第１の基板、第２の基板、および接着剤層を備える構造体であって
、前記第１の基板の表面のうち、前記接着剤層が存在しない第１の領域では、前記接着剤層を介して前記第２の基板に接着されている第２の領域よりも、表面自由エネルギーが低く、前記第１の領域には凹凸が形成されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、非接着領域を基板間に容易に形成することのできる構造体の製造方法、および当該製造方法で製造された構造体を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
本発明の第１の実施形態に係る構造体を示す平面図および断面図である。
本発明の第１の実施形態に係る構造体の製造方法を示す断面図である。
本発明の第１の実施形態の作用・効果を説明するための断面図である。
本発明の第２の実施形態に係る構造体を示す断面図である。
本発明の第２の実施形態に係る構造体の製造方法を示す断面図である。
本発明の第２の実施形態の作用・効果を説明するための断面図である。
開口実験の結果を示す断面図である。
液体吐出ヘッドの平面図と断面図である。
液体吐出ヘッドの製造方法を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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