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公開番号2022171524
公報種別公開特許公報(A)
公開日2022-11-11
出願番号2021150138
出願日2021-09-15
発明の名称基板保持装置
出願人中外炉工業株式会社
代理人個人,個人
主分類H01L 21/683 20060101AFI20221104BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】基板の吸着を解除するときに、給気流路からの給気によってダストが放出され基板に付着することを抑制できる基板保持装置を提供する。
【解決手段】基板保持装置1は、基板10が載置される保持面21を有する保持部2と、保持部に設けられ、基板を保持面に吸着させるための吸着孔3と、保持部に設けられる吸引流路4及び給気流路5と、を備える。基板の保持面に対する吸着を解除するとき、給気流路から基板に向けて給気し、さらに吸引流路によって吸着孔近傍の空気を吸引する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項1】
基板が載置される保持面を有する保持部と、
前記保持部に設けられ、前記基板を前記保持面に吸着させるための吸着孔と、
前記保持部に設けられる吸引流路及び給気流路と、を備え、
前記基板の前記保持面に対する吸着を解除するとき、前記給気流路から前記基板に向けて給気し、さらに前記吸引流路によって前記吸着孔近傍の空気を吸引する、基板保持装置。
続きを表示(約 320 文字)【請求項2】
前記吸引流路は、前記吸着孔に接続されており、
前記給気流路は、前記吸着孔の吸引流れ下流側の合流箇所で前記吸引流路に合流する、請求項1記載の基板保持装置。
【請求項3】
前記合流箇所は、前記吸着孔の近傍に設けられる、請求項2記載の基板保持装置。
【請求項4】
前記給気流路における給気流量は、前記吸引流路における吸引流量より大きくなっている、請求項1~3のいずれか1つに記載の基板保持装置。
【請求項5】
前記吸引流路の少なくとも1つは、前記基板を前記保持面から持ち上げるリフトピンが挿通されるピン孔を兼用している、請求項1~4のいずれか1つに記載の基板保持装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【0001】
本発明は、基板を保持する基板保持装置に関する。
続きを表示(約 1,100 文字)【背景技術】
【0002】
近年、基板を保持面に吸着保持しながら、基板に対して塗工等の加工を行った後、リフトピンで基板を持ち上げる前に、保持面に対する基板の吸着を解除し、さらに基板に空気圧を付与することによって基板を持ち上げやすくする機構が、特許文献1~3に開示されている。また、リフトピンの孔と基板を吸着するための吸着孔とを兼用した機構が、特許文献4に開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
特開2006-68592号公報
特開2019-83286号公報
特開2009-64950号公報
特開2017-174855号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
しかし、上記いずれの機構においても、保持面に対する基板の吸着を解除するためには、給気流路による給気によって基板に空気圧を付与するのみとなっており、この場合、基板の保持面に対する吸着が解除されると、給気流路の内部に存在するダストが給気と共に吸着孔から放出され、基板に付着するという懸念があった。
【0005】
そこで本発明では、基板の吸着を解除するときに、給気流路からの給気によってダストが放出され基板に付着することを抑制できる基板保持装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本発明の一実施形態は、基板保持装置は、基板が載置される保持面を有する保持部と、
前記保持部に設けられ、前記基板を前記保持面に吸着させるための吸着孔と、
前記保持部に設けられる吸引流路及び給気流路と、を備え、
前記基板の前記保持面に対する吸着を解除するとき、前記給気流路から前記基板に向けて給気し、さらに前記吸引流路によって前記吸着孔近傍の空気を吸引する。
【0007】
前記構成によれば、基板の吸着を解除するときに、吸引流路によって吸着孔近傍の空気を吸引することによって、給気流路からの給気によってダストが放出され基板に付着することを抑制できる。
【0008】
上記実施形態は、さらに、次のような構成を備えるのが好ましい。
【0009】
(1)前記吸引流路は、前記吸着孔に接続されており、
前記給気流路は、前記吸着孔の吸引流れ下流側の合流箇所で前記吸引流路に合流する。
【0010】
(2)前記構成(1)において、前記合流箇所は、前記吸着孔の近傍に設けられる。
(【0011】以降は省略されています)

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