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公開番号2022135580
公報種別公開特許公報(A)
公開日2022-09-15
出願番号2021035492
出願日2021-03-05
発明の名称マイクロ波終端器
出願人三菱電機株式会社
代理人個人
主分類H01P 1/26 20060101AFI20220908BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】広帯域化と小型化とを実現可能とするマイクロ波終端器を得ること。
【解決手段】マイクロ波終端器10は、マイクロ波信号が入力される入力端子8と、地導体に短絡された第1端13と、第1端13とは逆側の第2端14とを有する薄膜抵抗1と、第2端14の全体に接する第1辺15と、第1辺15とは逆側の第2辺16とを有する第1の伝送線路4と、一端が第2辺16の中心部につながれ、かつ他端が入力端子8につながれた第2の伝送線路7と、一端が第2辺16のうち中心部以外の部分につながれ、かつ他端が地導体に短絡されたショートスタブ5と、を備える。薄膜抵抗1の寸法は、第1の伝送線路4から薄膜抵抗1の第1端13の側を見込んだアドミッタンスについて、マイクロ波信号の中心周波数における規格化アドミッタンスの実部が1S以上かつ虚部が0S以下となる寸法である。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項1】
裏面に地導体を具備した誘電体基板の表面に設けられるマイクロ波終端器であって、
マイクロ波信号が入力される入力端子と、
前記地導体に短絡された第1端と、前記第1端とは逆側の第2端とを有する薄膜抵抗と、
前記第2端の全体に接する第1辺と、前記第1辺とは逆側の第2辺とを有する第1の伝送線路と、
一端が前記第2辺の中心部につながれ、かつ他端が前記入力端子につながれた第2の伝送線路と、
一端が前記第2辺のうち前記中心部以外の部分につながれ、かつ他端が前記地導体に短絡されたショートスタブと、
を備え、
前記薄膜抵抗の寸法は、前記第1の伝送線路から前記薄膜抵抗の前記第1端の側を見込んだアドミッタンスについて、前記マイクロ波信号の中心周波数における規格化アドミッタンスの実部が1S以上かつ虚部が0S以下となる寸法であることを特徴とするマイクロ波終端器。
続きを表示(約 490 文字)【請求項2】
前記ショートスタブの寸法は、前記第2辺から前記ショートスタブの側および前記薄膜抵抗の前記第1端の側を見込んだアドミッタンスについて、前記中心周波数における規格化アドミッタンスの実部が1S以上かつ虚部が0Sとなる寸法であることを特徴とする請求項1に記載のマイクロ波終端器。
【請求項3】
前記第2の伝送線路の寸法は、前記第2の伝送線路の前記一端から前記薄膜抵抗の前記第1端の側を見込んだインピーダンスについて、前記中心周波数における規格化インピーダンスの実部が1Ωかつ虚部が0Ωとなる寸法であることを特徴とする請求項1または2に記載のマイクロ波終端器。
【請求項4】
前記第2の伝送線路の前記一端と前記他端との間の長さは、前記中心周波数における波長の4分の1であることを特徴とする請求項1から3のいずれか1つに記載のマイクロ波終端器。
【請求項5】
前記ショートスタブの前記他端は、前記誘電体基板を貫いたスルーホールを介して前記地導体に接続されていることを特徴とする請求項1から4のいずれか1つに記載のマイクロ波終端器。

発明の詳細な説明【技術分野】
【0001】
本開示は、マイクロ波回路に用いられるマイクロ波終端器に関する。
続きを表示(約 1,900 文字)【背景技術】
【0002】
マイクロ波回路には、マイクロ波帯の高周波信号であるマイクロ波信号を吸収するマイクロ波終端器が広く使用されている。マイクロ波終端器の構造として、伝送線路と地導体との間に薄膜抵抗が接続された構造が知られている。マイクロ波回路が適用される装置の大電力化に伴い、マイクロ波終端器には高い耐電力が要求されている。マイクロ波終端器には、終端可能なマイクロ波信号の周波数帯域を広くすること、すなわち広帯域化と、構成の小型化とが要求されることもある。
【0003】
特許文献1には、薄膜抵抗の終端側を見込んだ規格化インピーダンスの実部が1Ω以下かつ虚部が0Ωとなる寸法の薄膜抵抗を有し、伝送線路とオープンスタブとによるインピーダンス整合がなされるマイクロ波終端器が開示されている。薄膜抵抗の終端側とは、薄膜抵抗のうち地導体に短絡された第1端とは逆側の第2端から第1端の側とする。特許文献1にかかるマイクロ波終端器は、薄膜抵抗の周波数特性を伝送線路とオープンスタブとにより打ち消すことによって広帯域化が可能となる。また、特許文献1にかかるマイクロ波終端器は、伝送線路とオープンスタブとからなる1段の整合回路による広帯域整合が可能であるため、多段の整合回路が必要である場合に比べて回路構成を小型化できる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
特開2013-187839号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
しかしながら、薄膜抵抗の寸法を、薄膜抵抗の終端側を見込んだ規格化インピーダンスの実部が1Ω以下かつ虚部が0Ωとなる寸法にするためには、薄膜抵抗の寸法には厳しい条件が課せられることとなる。薄膜抵抗の寸法の条件が厳しくなることによって、マイクロ波終端器の設計の自由度が低くなる。この場合、マイクロ波終端器以外の部品とともに実装される際の制約に合うようにマイクロ波終端器の寸法を決定することが困難であることによって、マイクロ波終端器は、構成の小型化が困難となる。このため、特許文献1の技術によると、マイクロ波終端器は、広帯域化と小型化との実現が困難であるという問題があった。
【0006】
本開示は、上記に鑑みてなされたものであって、広帯域化と小型化とを実現可能とするマイクロ波終端器を得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0007】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本開示にかかるマイクロ波終端器は、裏面に地導体を具備した誘電体基板の表面に設けられるマイクロ波終端器である。本開示にかかるマイクロ波終端器は、マイクロ波信号が入力される入力端子と、地導体に短絡された第1端と、第1端とは逆側の第2端とを有する薄膜抵抗と、第2端の全体に接する第1辺と、第1辺とは逆側の第2辺とを有する第1の伝送線路と、一端が第2辺の中心部につながれ、かつ他端が入力端子につながれた第2の伝送線路と、一端が第2辺のうち中心部以外の部分につながれ、かつ他端が地導体に短絡されたショートスタブと、を備える。薄膜抵抗の寸法は、第1の伝送線路から薄膜抵抗の第1端の側を見込んだアドミッタンスについて、マイクロ波信号の中心周波数における規格化アドミッタンスの実部が1S以上かつ虚部が0S以下となる寸法である。
【発明の効果】
【0008】
本開示にかかるマイクロ波終端器は、広帯域化と小型化とを実現することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【0009】
実施の形態1にかかるマイクロ波終端器が設けられている誘電体基板の上面図
実施の形態1にかかるマイクロ波終端器が設けられている誘電体基板の断面図
実施の形態1にかかるマイクロ波終端器におけるアドミッタンスの周波数特性について説明するための第1の図
実施の形態1にかかるマイクロ波終端器におけるアドミッタンスの周波数特性について説明するための第2の図
実施の形態1にかかるマイクロ波終端器におけるインピーダンスの周波数特性について説明するための図
実施の形態1にかかるマイクロ波終端器の反射特性の一例を示す図
実施の形態1にかかるマイクロ波終端器における薄膜抵抗の寸法とマイクロ波終端器の周波数特性との関係について説明するための図
【発明を実施するための形態】
【0010】
以下に、実施の形態にかかるマイクロ波終端器を図面に基づいて詳細に説明する。
(【0011】以降は省略されています)

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