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公開番号2022125717
公報種別公開特許公報(A)
公開日2022-08-29
出願番号2021023460
出願日2021-02-17
発明の名称感光性樹脂組成物
出願人株式会社カネカ
代理人
主分類G03F 7/075 20060101AFI20220822BHJP(写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ)
要約【課題】本発明の目的は、誘電率および誘電損失が低くフォトリソグラフィーによりパターニングが可能な感光性樹脂組成物を提供する事である。
【解決手段】(A)分子量1000~100000の飽和炭化水素系重合体構造と、(B)分子量500以下であり、かつ、3置換イソシアヌレート構造、3置換トリアジン構造、炭素数7~16の縮合環構造、炭素数6~12の脂環式炭化水素構造、および炭素数6~24の直鎖もしくは分岐アルキルエーテル構造よりなる群から選択される少なくとも1種の有機構造と、(C)脂環式エポキシ基、グリシジル基、およびオキセタニル基よりなる群から選ばれる少なくとも1種の光カチオン重合性官能基と、(D)シロキサン結合を有し、前記(A)が少なくとも2つのSi原子と結合しており、前記(B)が少なくとも1つのSi原子と結合している感光性樹脂組成物により得ることができる。
【選択図】なし
特許請求の範囲【請求項1】
(A)分子量1000~100000の飽和炭化水素系重合体構造と、
(B)分子量500以下であり、かつ、3置換イソシアヌレート構造、3置換トリアジン構造、炭素数7~16の縮合環構造、炭素数6~12の脂環式炭化水素構造、および炭素数6~24の直鎖もしくは分岐アルキルエーテル構造よりなる群から選択される少なくとも1種の有機構造と、
(C)脂環式エポキシ基、グリシジル基、およびオキセタニル基よりなる群から選ばれる少なくとも1種の光カチオン重合性官能基と、
(D)シロキサン結合
を有する化合物を含む感光性樹脂組成物であって、
前記(A)が少なくとも2つのSi原子と結合しており、
前記(B)が少なくとも1つのSi原子と結合している、感光性樹脂組成物。
続きを表示(約 1,500 文字)【請求項2】
前記化合物100重量%に対して前記(A)が15~85重量%である、請求項1に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項3】
前記(A)がイソブチレン重合体、水素添加イソプレン重合体、および水素添加ブタジエン重合体よりなる群から選ばれる少なくとも1種である、請求項1または2に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項4】
さらに下記式(X1)、(X2)
TIFF
2022125717000010.tif
32
119
で表される各構造、フェノール性水酸基、およびカルボキシル基よりなる群から選ばれる少なくとも1つの酸性基である(E)構造を含む、請求項1~3のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項5】
前記(D)が、下記一般式(I)
TIFF
2022125717000011.tif
32
110
(式中R
1
、R
2
は炭素数1~10の有機基を表し同一であっても異なっても良く、nは1~10、mは0~10の数を表す)
で表される環状ポリオルガノシロキサン結合である、請求項1~4のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項6】
さらに、カチオン重合開始剤を含有する、請求項1~5のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項7】
シロキサン結合、並びに少なくとも2つのヒドロシリル基を有する化合物(δ)と、
分子量500以下であり、少なくとも1つのアルケニル基、並びに3置換イソシアヌレート構造、3置換トリアジン構造、炭素数7~16の縮合環構造、炭素数6~12の脂環式炭化水素構造、及び炭素数6~24の直鎖もしくは分岐アルキルエーテル構造よりなる群から選択される少なくとも1種の有機構造を有する化合物(β)をヒドロシリル化する工程(I)を含み、
前記工程(I)で得られた反応物と、
脂環式エポキシ基、グリシジル基、およびオキセタニル基よりなる群から選ばれる少なくとも1種の光カチオン重合性官能基、並びに、少なくとも1つのアルケニル基を有する化合物(γ)をヒドロシリル化する工程(II)を含み、
前記工程(II)で得られた反応物と、少なくとも2つのアルケニル基を有する、分子量1000~100000の飽和炭化水素系重合体(α)をヒドロシリル化する工程(III)を含む、感光性樹脂組成物の製造方法。
【請求項8】
前記(α)がイソブチレン重合体、水素添加イソプレン重合体、および水素添加ブタジエン重合体よりなる群から選ばれる少なくとも1種を含む、請求項7に記載の感光性樹脂組成物の製造方法。
【請求項9】
前記工程(I)において、少なくとも1つのアルケニル基、並びに下記式(X1)、(X2)
TIFF
2022125717000012.tif
30
116
で表される各構造、フェノール性水酸基、およびカルボキシル基よりなる群から選ばれる少なくとも1つの酸性基を有する化合物(ε)をさらに含む、請求項7または8に記載の感光性樹脂組成物の製造方法。
【請求項10】
前記(ε)がジアリルイソシアヌル酸、モノアリルイソシアヌル酸、ジアリルビスフェノールA、ジアリルビスフェノールS、ビニルフェノール、アリルフェノール、ブテン酸、ペンテン酸、ヘキセン酸、へプテン酸、およびウンデシレン酸よりなる群から選ばれる少なくとも1種を含む、請求項9に記載の感光性樹脂組成物の製造方法。
(【請求項11】以降は省略されています)

発明の詳細な説明【技術分野】
【0001】
本発明は、誘電率および誘電損失が低くフォトリソグラフィーによりパターニングが可能な感光性樹脂組成物に関する発明である。
続きを表示(約 1,600 文字)【背景技術】
【0002】
フォトリソグラフィーにより簡便にパターン形成が出来る感光性樹脂は、半導体やディスプレイ等のエレクトロニクス分野において広く利用されている材料であり、特許文献1や特許文献2にあるように、電子デバイスの層間絶縁膜として様々な感光性樹脂組成物が提案されている。近年の通信技術の飛躍的な向上から、電子デバイスは大容量な情報や信号を高速処理することが求められている。一方で、小型化や軽量化、さらには生産性の向上を求められる場合があり、良好なパターニング性を有することも必要となってきている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
特開2004-117709号公報
特許第3873261号特開平11-84659号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
近年では、配線間の絶縁膜による誘電遅延・伝送ロスが課題として顕在しつつあり、電子デバイスの高性能化のためには、金属配線間の層間絶縁膜として適用される感光性樹脂にも更なる低誘電率かつ低誘電損失な材料が必要であることを見出した。
本発明の目的は、誘電率および誘電損失が低く、かつフォトリソグラフィーにより良好なパターニングが可能な感光性樹脂組成物を提供する事である。
【課題を解決するための手段】
【0005】
上記課題を解決する為に検討を重ねた結果、(A)分子量1000~100000の飽和炭化水素系重合体構造と、(B)分子量500以下であり、かつ、3置換イソシアヌレート構造、3置換トリアジン構造、炭素数7~16の縮合環構造、炭素数6~12の脂環式炭化水素構造、および炭素数6~24の直鎖もしくは分岐アルキルエーテル構造よりなる群から選択される少なくとも1種の有機構造と、(C)脂環式エポキシ基、グリシジル基、およびオキセタニル基よりなる群から選ばれる少なくとも1つの光カチオン重合性官能基と、(D)シロキサン結合を有し、前記(A)が少なくとも2つのSi原子と結合しており、前記(B)が少なくとも1つのSi原子と結合している感光性樹脂組成物が、フォトリソグラフィーによって良好なパターニングが可能であり、かつ、低誘電率、低誘電損失の優れた電気特性を兼ね備える事を見出すに至った。本発明は、以下からなるものである。
【0006】
〔1〕.(A)分子量1000~100000の飽和炭化水素系重合体構造と、(B)分子量500以下であり、かつ、3置換イソシアヌレート構造、3置換トリアジン構造、炭素数7~16の縮合環構造、炭素数6~12の脂環式炭化水素構造、および炭素数6~24の直鎖もしくは分岐アルキルエーテル構造よりなる群から選択される少なくとも1種の有機構造と、(C)脂環式エポキシ基、グリシジル基、およびオキセタニル基よりなる群から選ばれる少なくとも1つの光カチオン重合性官能基と、(D)シロキサン結合を有し、前記(A)が少なくとも2つのSi原子と結合しており、前記(B)が少なくとも1つのSi原子と結合している感光性樹脂組成物。
【0007】
〔2〕.前記化合物100重量%に対して前記(A)が15~85重量%である、〔1〕に記載の感光性樹脂組成物。
【0008】
〔3〕.前記(A)がイソブチレン重合体、水素添加イソプレン重合体、および水素添加ブタジエン重合体よりなる群から選ばれる少なくとも1種である、〔1〕または〔2〕に記載の感光性樹脂組成物。
【0009】
〔4〕.さらに下記式(X1)、(X2)
【0010】
TIFF
2022125717000001.tif
29
117
(【0011】以降は省略されています)

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