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公開番号2022118826
公報種別公開特許公報(A)
公開日2022-08-16
出願番号2021015583
出願日2021-02-03
発明の名称エッチング装置
出願人三菱製紙株式会社
代理人
主分類C08J 7/02 20060101AFI20220808BHJP(有機高分子化合物;その製造または化学的加工;それに基づく組成物)
要約【課題】本発明の課題は、アルカリ不溶性樹脂及び無機充填材を含む樹脂組成物をエッチング液によってエッチング処理する際に使用するエッチング装置において、水洗処理で発生する沈殿物が原因となって、水洗液を循環した場合に水洗液が不均一となり、分散除去性が不安定となる問題を解決することができるエッチング装置を提供することである。
【解決手段】エッチング装置が、エッチング液によって樹脂組成物の一部を除去するエッチングユニットと、水洗除去液によって残りの樹脂組成物を完全に除去する水洗除去ユニットを備えており、水洗除去ユニットが、水洗液が入った水洗ディップ槽と、水洗ディップ槽からオーバーフローした水洗液を回収する水洗液貯蔵タンクとを有し、水洗ディップ槽及び水洗液貯蔵タンクの底面に二次元又は三次元の傾斜が設けられていることを特徴とするエッチング装置。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項1】
アルカリ不溶性樹脂及び無機充填材を含む樹脂組成物をエッチング液によってエッチング処理する際に使用するエッチング装置において、
エッチング装置が、エッチング液によって樹脂組成物の一部を除去するエッチングユニットと、
水洗除去液によって残りの樹脂組成物を完全に除去する水洗除去ユニットを備えており、
水洗除去ユニットが、水洗液が入った水洗ディップ槽と、水洗ディップ槽からオーバーフローした水洗液を回収する水洗液貯蔵タンクとを有し、
水洗ディップ槽及び水洗液貯蔵タンクの底面に二次元又は三次元の傾斜が設けられていることを特徴とするエッチング装置。
続きを表示(約 120 文字)【請求項2】
水洗除去ユニットが、水洗ディップ槽の底面に溜まった沈殿物を水洗液貯蔵タンクへと送るための沈殿物回収管を有し、
沈殿物回収管が、水洗ディップ槽から水洗液貯蔵タンクまで接続されている請求項1に記載のエッチング装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【0001】
本発明は、アルカリ不溶性樹脂及び無機充填材を含む樹脂組成物をエッチング液によってエッチング処理する際に使用するエッチング装置に関する。
続きを表示(約 2,000 文字)【背景技術】
【0002】
近年、電子機器の小型化、高性能化に伴って、回路基板において、微細配線形成や熱膨張係数の低下が強く求められている。その中で、絶縁材料の低熱膨張係数化の手段として、絶縁材料を高充填化する、すなわち、絶縁材料における無機充填材の含有量を高くする方法が知られている。さらに、絶縁材料として、エポキシ樹脂、フェノールノボラック系硬化剤、フェノキシ樹脂、シアネート樹脂等を含み、耐湿性に優れたアルカリ不溶性樹脂の使用が提案されている。これらの無機充填材及びアルカリ不溶性樹脂を含む絶縁性の樹脂組成物は、耐熱性、誘電特性、機械強度、耐化学薬品性等に優れた物性を有し、回路基板の外層表面に用いられるソルダーレジストや多層ビルドアップ配線板に用いられる層間絶縁材料として広く使用されている。
【0003】
図1は、回路基板上において半田付けする接続パッド3以外を、樹脂組成物層4で覆ったソルダーレジストパターンの概略断面構造図である。図1に示す構造はSMD(Solder Masked Defined)構造と言われ、樹脂組成物層4の開口部が接続パッド3よりも小さいことを特徴としている。図2に示す構造は、NSMD(Non Solder Masked Defined)構造と言われ、樹脂組成物層4の開口部が接続パッド3よりも大きいことを特徴としている。
【0004】
図1又は図2における樹脂組成物層4の開口部は、樹脂組成物層4の一部を除去することによって形成される。無機充填材及びアルカリ不溶性樹脂を含む樹脂組成物を含有してなる樹脂組成物層を除去するエッチング方法として、エッチング液として40℃のヒドラジン系薬液を使用した浸漬処理によって行うエッチング方法が開示されている(例えば、特許文献1参照)。
【0005】
しかし、ヒドラジンは毒物であり、人体への影響や環境負荷が大きいため、好ましくないことから、アルカリ金属水酸化物及びエタノールアミン化合物を含有するエッチング液を使用するエッチング方法が開示されている(例えば、特許文献2~4参照)。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0006】
国際公開第2018/088345号パンフレット
国際公開第2018/186362号パンフレット
特許第6774589号公報
特許第6674075号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0007】
エッチング液を使用して、アルカリ不溶性樹脂及び無機充填材を含む樹脂組成物をエッチング処理する場合、エッチング処理において、エッチング液中で樹脂成分を膨潤させ、樹脂組成物中に含まれる無機充填材の一部分を溶解し、続く水洗処理において、膨潤した樹脂成分が収縮する際に、無機充填材の一部分が溶解しているため、元の形態を維持できず、崩壊し、水洗液に樹脂組成物が分散除去する。そのため、水洗液中に、分散除去された無機充填材を含む樹脂組成物が沈殿し、水洗液を循環して使用する場合、水洗液が不均一となり、分散除去性が不安定となる場合があった。
【0008】
本発明の課題は、アルカリ不溶性樹脂及び無機充填材を含む樹脂組成物をエッチング液によってエッチング処理する際に使用するエッチング装置において、水洗処理で発生する沈殿物が原因となって、水洗液を循環した場合に水洗液が不均一となり、分散除去性が不安定となる問題を解決することができるエッチング装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【0009】
下記手段によって上記課題は解決される。
【0010】
<1>アルカリ不溶性樹脂及び無機充填材を含む樹脂組成物をエッチング液によってエッチング処理する際に使用するエッチング装置において、
エッチング装置が、エッチング液によって樹脂組成物の一部を除去するエッチングユニットと、
水洗除去液によって残りの樹脂組成物を完全に除去する水洗除去ユニットを備えており、
水洗除去ユニットが、水洗液が入った水洗ディップ槽と、水洗ディップ槽からオーバーフローした水洗液を回収する水洗液貯蔵タンクとを有し、
水洗ディップ槽及び水洗液貯蔵タンクの底面に二次元又は三次元の傾斜が設けられていることを特徴とするエッチング装置。
<2>水洗除去ユニットが、水洗ディップ槽の底面に溜まった沈殿物を水洗液貯蔵タンクへと送るための沈殿物回収管を有し、
沈殿物回収管が、水洗ディップ槽から水洗液貯蔵タンクまで接続されている上記<1>に記載のエッチング装置。
【発明の効果】
(【0011】以降は省略されています)

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