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公開番号2022118666
公報種別公開特許公報(A)
公開日2022-08-15
出願番号2021015361
出願日2021-02-02
発明の名称テープ貼付装置
出願人株式会社東京精密
代理人個人
主分類H01L 21/683 20060101AFI20220805BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】被着体を損傷することなくダイシングテープを確実に貼り付け可能なテープ貼付装置を提供する。
【解決手段】テープ貼付装置1の押圧ローラ4は、フレーム41と、フレーム41に支持されるローラ本体42と、フレーム41を付勢するエアーシリンダー43と、を備えている。ローラ本体42は、略円筒状に形成されて可撓性を有する形状保持材45と、形状保持材45に覆設された外周側保護弾性シート46、内周側弾性シート49と、内周側弾性シート49内にエアーを供給し、エアーの圧力を調整可能な圧縮空気源47と、を備え、押圧ローラ4の押圧力F1が、内周側弾性シート49内の流体圧力による支持力F2より大きい場合には、押圧ローラ4が被着体Wに押圧力F1を作用させる接地面積Sが増すように押圧ローラ4が撓むように構成されている。
【選択図】図3

特許請求の範囲【請求項1】
押圧部材を用いてダイシングテープを被着体に貼り付けるテープ貼付装置であって、
前記押圧部材は、
略円筒状に形成されて可撓性を有する保持材と、
前記保持材に覆設された弾性シートと、
前記弾性シート内に流体を供給し、前記流体の圧力を調整可能な流体供給源と、
を備え、
前記押圧部材の押圧力が前記弾性シート内の流体圧力による支持力より大きい場合には、前記押圧部材が前記被着体に押圧力を作用させる接地面積が増すように前記押圧部材が撓むことを特徴とするテープ貼付装置。
続きを表示(約 81 文字)【請求項2】
前記押圧部材を前記被着体に向けて付勢し、付勢力を調整可能な付勢部材をさらに備えていることを特徴とする請求項1記載のテープ貼付装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【0001】
本発明は、被着体にダイシングテープを貼り付けるテープ貼付装置に関するものである。
続きを表示(約 1,300 文字)【背景技術】
【0002】
半導体製造分野では、シリコンウェハ等の半導体基板(以下、「被着体」という)をチップに割断する工程があり、その工程では、被着体に貼着されたダイシングテープが個々のチップの位置を拘束することにより、チップの割断を効率よく行うことができる。
【0003】
特許文献1には、テーブル211に吸着固定されたウェーハWにエキスパンドテープEを貼着用ローラの加圧力により貼り付けることが記載されている。なお、符号は、特許文献1のものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
特開2013-4584号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
昨今、被着体が薄くなる傾向にあり、被着体が損傷しないように、ダイシングテープを被着体に貼り付ける押圧力を適切に調整する必要がある。しかしながら、特許文献1記載の装置では、ウェーハWに作用する押圧力は一定であり、薄いウェーハWにダメージが生じる虞があった。
【0006】
また、ウェーハWに作用する押圧力を調整するために、例えば、テーブル211を貼着用ローラに対して昇降させて、貼着用ローラがウェーハWに作用させる押圧力を加減するような構成も考えられる。しかしながら、このような機構は、ウェーハWを水平に保った状態でテーブル211を昇降させるとともに、ウェーハWに作用する押圧力を受ける複雑なものでなければ、貼着用ローラがウェーハWに均等に当たらずに、テープ貼り付け不良が生じる虞があった。
【0007】
そこで、被着体を損傷することなくダイシングテープを確実に貼り付けるために解決すべき技術的課題が生じてくるのであり、本発明はこの課題を解決することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0008】
上記目的を達成するために、本発明に係るテープ貼付装置は、押圧部材を用いてダイシングテープを被着体に貼り付けるテープ貼付装置であって、前記押圧部材は、略円筒状に形成されて可撓性を有する保持材と、前記保持材に覆設された弾性シートと、前記弾性シート内に流体を供給し、前記流体の圧力を調整可能な流体供給源と、を備え、前記押圧部材の押圧力が前記弾性シート内の流体圧力による支持力より大きい場合には、前記押圧部材が前記被着体に押圧力を作用させる接地面積が増すように前記押圧部材が撓むように構成されている。
【0009】
この構成によれば、押圧部材の押圧力が、弾性シート内の流体圧力に応じた支持力より大きい場合に、押圧部材が撓んで接地面積が拡大し、接地面積が増すほどに被着体に作用する単位面積当たりの押圧力が減少するため、被着体の厚み等に応じて弾性シート内に供給される流体圧力を調整するだけで、被着体を損傷することなく、ダイシングテープを確実に貼り付けることができる。
【発明の効果】
【0010】
本発明は、被着体を損傷することなく、ダイシングテープを確実に貼り付けることができる。
【図面の簡単な説明】
(【0011】以降は省略されています)

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