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公開番号2022098172
公報種別公開特許公報(A)
公開日2022-07-01
出願番号2020211562
出願日2020-12-21
発明の名称搬送ハンド
出願人キヤノン株式会社
代理人特許業務法人大塚国際特許事務所
主分類H01L 21/677 20060101AFI20220624BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】被搬送物を安定して搬送するための搬送ハンドの構造の単純化に有利な技術を提供する。
【解決手段】物体を搬送する搬送ハンドには、基部と、前記基部に配置され、前記物体を支持する複数の支持部と、を備え、前記複数の支持部は、前記物体を吸引する第1吸引パッドと、前記第1吸引パッドよりも弱い力で前記物体を吸引する第2吸引パッドとを含む。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項1】
物体を搬送する搬送ハンドであって、
基部と、
前記基部に配置され、前記物体を支持する複数の支持部と、を備え、
前記複数の支持部は、前記物体を吸引する第1吸引パッドと、前記第1吸引パッドよりも弱い力で前記物体を吸引する第2吸引パッドとを含む、
ことを特徴とする搬送ハンド。
続きを表示(約 1,100 文字)【請求項2】
前記基部は、前記複数の支持部によって前記物体が支持された状態で前記物体と対向する対向面を有し、前記第2吸引パッドは、前記対向面に平行な方向における最大寸法が、前記第1吸引パッドよりも小さい、
ことを特徴とする請求項1に記載の搬送ハンド。
【請求項3】
前記第2吸引パッドが前記物体に接触する領域の外縁によって囲まれる面積は、前記第1吸引パッドが前記物体に接触する領域の外縁によって囲まれる面積より小さい、
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の搬送ハンド。
【請求項4】
前記第1吸引パッドは、前記物体の吸引のために減圧される吸引空間を取り囲む凸部を含む、
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の搬送ハンド。
【請求項5】
前記第1吸引パッドは、前記吸引空間に配置された障壁部を更に含む、
ことを特徴とする請求項4に記載の搬送ハンド。
【請求項6】
前記障壁部は、前記障壁部によって相互に部分的に仕切られた複数の部分空間を前記吸引空間において定義するように配置されている、
ことを特徴とする請求項5に記載の搬送ハンド。
【請求項7】
前記第2吸引パッドは、前記第2吸引パッドと前記物体とが接触した場合においても前記物体との間に隙間を形成する隙間形成部を有する、
ことを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の搬送ハンド。
【請求項8】
前記第1吸引パッドによる前記物体の吸引と前記第2吸引パッドによる前記物体の吸引とが個別に制御される、
ことを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の搬送ハンド。
【請求項9】
物体を搬送する搬送ハンドであって、
基部と、
前記基部に配置され、前記物体を支持する複数の支持部と、を備え、
前記複数の支持部は、前記物体を吸引する吸引パッドと、前記物体を吸引することなく接触によって支持する接触支持部とを含み、
前記接触支持部が前記物体に接触する領域の外縁によって囲まれる面積は、前記吸引パッドが前記物体に接触する領域の外縁によって囲まれる面積より小さい、
ことを特徴とする搬送ハンド。
【請求項10】
前記基部は、前記複数の支持部によって前記物体が支持された状態で前記物体と対向する対向面を有し、前記接触支持部は、前記対向面に平行な方向における最大寸法が、前記吸引パッドよりも小さい、
ことを特徴とする請求項9に記載の搬送ハンド。
(【請求項11】以降は省略されています)

発明の詳細な説明【技術分野】
【0001】
本発明は、搬送ハンドに関する。
続きを表示(約 1,600 文字)【背景技術】
【0002】
半導体デバイスを製造するためのウエハまたは液晶表示デバイスを製造するためのガラスプレートなどの基板を被搬送物とする搬送装置では、一般的に、吸引パッド(attraction pad)を有する搬送ハンドで被搬送物を吸引保持して搬送する。被搬送物に反りやひずみが発生していると、被搬送物を吸引保持する際、被搬送物の表面(被吸引面)と吸引パッドの吸引面とが合致せず、隙間が生じる。この隙間から空気が吸引パッド内に流入すると、吸引パッドによる被搬送物の吸引力(attraction force)が低下し、吸引吸引被搬送物の良好な吸引保持状態を保てなくなる。そこで、吸引パッドをばね構造または弾性部材で支持し、パッドの吸引面を被搬送物の表面の形状にならわせることで、吸引時に被搬送物と吸引面を合致させ、空気の流入を防ぐ搬送ハンドが提案されている(特許文献1及び特許文献2参照)。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
特願2017-107066号公報
特開2015-103696号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
特許文献1及び特許文献2の構造では、吸引パッドの構造が複雑化するためにパッドの厚さが増加しうる。この場合、搬送ハンドが厚くなり、被搬送物の搬送において、被搬送物と搬送ハンドが、他の装置などと干渉する可能性がある。
【0005】
本発明は、被搬送物を安定して搬送するための搬送ハンドの構造の単純化に有利な技術を提供する。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本発明の1つの側面は、物体を搬送する搬送ハンドに係り、前記搬送ハンドは、基部と、前記基部に配置され、前記物体を支持する複数の支持部と、を備え、前記複数の支持部は、前記物体を吸引する第1吸引パッドと、前記第1吸引パッドよりも弱い力で前記物体を吸引する第2吸引パッドとを含む。
【発明の効果】
【0007】
本発明によれば、被搬送物を安定して搬送するための搬送ハンドの構造の単純化に有利な技術が提供される。
【図面の簡単な説明】
【0008】
一実施形態の搬送ハンドの構成を示す概略図。
第1吸引パッドの構成を示す概略平面図(a)および概略断面図(b)。
第2吸引パッドの構成を示す概略平面図(a)および概略断面図(b)。
第1吸引パッドの他の構成例を示す概略平面図。
第1吸引パッドの別の構成例(a)および更に別の構成例を示す概略断面図。
第1吸引パッドの変形例を示す概略図。
一実施形態の搬送ハンドの変形例を示す概略図。
一実施形態の搬送ハンドの他の変形例を示す概略図。
他の実施形態の搬送ハンドの構成を示す概略図。
【発明を実施するための形態】
【0009】
以下、添付図面を参照して実施形態を詳しく説明する。なお、以下の実施形態は特許請求の範囲に係る発明を限定するものではない。実施形態には複数の特徴が記載されているが、これらの複数の特徴の全てが発明に必須のものとは限らず、また、複数の特徴は任意に組み合わせられても良い。さらに、添付図面においては、同一若しくは同様の構成に同一の参照番号を付し、重複した説明は省略する。
【0010】
本明細書において、「吸引」は、被搬送物等の物体に対して吸引力(attractiveforce)を作用させることを意味する。吸引は、例えば、圧力差を利用する吸引(例えば、真空吸引)であってもよいし、電磁力を利用する電磁吸引でもよいし、静電力を利用する静電吸引であってもよいし、他の方式の吸引であってもよい。
(【0011】以降は省略されています)

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