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公開番号2022094272
公報種別公開特許公報(A)
公開日2022-06-24
出願番号2021034164
出願日2021-03-04
発明の名称真空ポンプ
出願人エドワーズ株式会社
代理人個人
主分類F04D 19/04 20060101AFI20220617BHJP(液体用容積形機械;液体または圧縮性流体用ポンプ)
要約【課題】 ロータ回転時におけるロータの接触不具合に起因する外部配管への影響を抑制する真空ポンプを得る。
【解決手段】 この真空ポンプには、昇温リング301が設けられており、昇温リング301には、外部配管を接続される排気口133が接続しており、ロータの回転時におけるロータの接触不具合によって回転力が直接的にまたは間接的に加わる。そして、昇温リング301とケーシング(外筒127a)との接続部分とは別に、上述の回転力による昇温リング301の回転を抑制する回転抑制手段(穴301aおよびボルト305など)が設けられている。
【選択図】 図1
特許請求の範囲【請求項1】
ロータと、
ステータと、
前記ロータおよび前記ステータを収容するケーシングと、
前記ロータの回転時における前記ロータの接触不具合によって回転力が直接的にまたは間接的に加わる環状部材と、
前記環状部材に接続しており外部配管を接続される配管接続部と、
前記環状部材と前記ケーシングとの接続部分とは別に、前記回転力による前記環状部材の回転を抑制する回転抑制手段と、
を備えることを特徴とする真空ポンプ。
続きを表示(約 960 文字)【請求項2】
前記回転抑制手段は、前記環状部材に形成された回転規制部と、前記ケーシングに固定され前記回転力によって前記回転規制部に当接する回転規制部材とを備えることを特徴とする請求項1記載の真空ポンプ。
【請求項3】
前記環状部材は、ヒータの発熱でガス流路を昇温する昇温リングであり、
前記回転規制部は、穴であり、
前記回転規制部材は、前記穴内に配置されたボルトまたはピンであり、
前記接触不具合のないときに、前記穴と前記ボルトまたは前記ピンとの間には、空隙があること、
を特徴とする請求項2記載の真空ポンプ。
【請求項4】
前記環状部材は、ヒータの発熱でガス流路を昇温する昇温リングであり、
前記回転抑制手段は、前記昇温リングおよび前記ケーシングのうちの一方に、前記昇温リングおよび前記ケーシングのうちの他方に対向する突起または段差部を備え、
前記接触不具合のないときに、前記突起または前記段差部と、前記昇温リングおよび前記ケーシングのうちの他方との間には、空隙があること、
を特徴とする請求項1記載の真空ポンプ。
【請求項5】
ベース部をさらに備え、
前記回転抑制手段は、前記環状部材に形成された回転規制部と、前記ベース部から軸方向に突出し前記回転力によって前記回転規制部に当接する回転規制部材とを備えることを特徴とする請求項1記載の真空ポンプ。
【請求項6】
前記環状部材は、フランジと、前記フランジに形成された孔または切り欠きとを備え、
前記回転規制部は、前記孔または前記切り欠きであり、
前記回転規制部材は、前記軸方向に沿って前記ベース部に固定されたボルトまたはピンであること、
を特徴とする請求項5記載の真空ポンプ。
【請求項7】
前記環状部材は、ヒータの発熱でガス流路を昇温する昇温リングであることを特徴とする請求項1、請求項2、請求項5、および請求項6のうちのいずれか1項記載の真空ポンプ。
【請求項8】
前記配管接続部は、排気口であることを特徴とする請求項1から請求項7のうちのいずれか1項記載の真空ポンプ。

発明の詳細な説明【技術分野】
【0001】
本発明は、真空ポンプに関するものである。
続きを表示(約 1,200 文字)【背景技術】
【0002】
ターボ分子ポンプなどの真空ポンプは、モータにより回転するロータと、ロータの周囲に配置されロータとともに流路を形成するステータとを備え、吸気口から進入してくる気体分子を、ロータのロータ翼とステータのステータ翼とに衝突させて排気口に向けて移送させる。
【0003】
ある真空ポンプは、さらに、ガス状の反応原料、反応生成物などが流路内の壁面に付着や析出して堆積することを抑制するためにステータ側を昇温する環状部材とを備え、環状部材に排気口が接続されている(例えば特許文献1参照)。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
特開2019-90384号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
ロータの回転時に、上述の堆積物などに起因してロータがステータなどの固定部材に接触する不具合が発生すると、ロータの回転力で、その固定部材自体および固定部材に連結されている上述の環状部材に回転力が加わり、環状部材に接続されている排気口にも回転力が加わる。また、真空ポンプの運転時には、排気口には外部配管が接続されており、外部配管は、外部の構造物や装置などに固定されているため、そのような不具合時には、外部配管にも回転力が加わり、外部配管に変位、変形、脱落などの不具合が発生する可能性がある。
【0006】
このような問題は、上述の排気口に限らず、ロータの接触不具合時に直接的にまたは間接的に回転力が加わる環状部材に接続されている他の配管接続部においても同様に発生する可能性がある。
【0007】
本発明は、上記の問題に鑑みてなされたものであり、ロータ回転時におけるロータの接触不具合に起因する外部配管への影響を抑制する真空ポンプを得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0008】
本発明に係る真空ポンプは、ロータと、ステータと、前記ロータおよび前記ステータを収容するケーシングと、ロータの回転時におけるロータの接触不具合によって回転力が直接的にまたは間接的に加わる環状部材と、環状部材に接続しており外部配管を接続される配管接続部と、環状部材とケーシングとの接続部分とは別に、上述の回転力による環状部材の回転を抑制する回転抑制手段とを備える。
【発明の効果】
【0009】
本発明によれば、ロータ回転時におけるロータの接触不具合に起因する外部配管への影響を抑制する真空ポンプが得られる。
【0010】
本発明の上記又は他の目的、特徴および優位性は、添付の図面とともに以下の詳細な説明から更に明らかになる。
【図面の簡単な説明】
(【0011】以降は省略されています)

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