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公開番号2022092802
公報種別公開特許公報(A)
公開日2022-06-23
出願番号2020205721
出願日2020-12-11
発明の名称真空ポンプ
出願人エドワーズ株式会社
代理人個人,個人
主分類F04D 19/04 20060101AFI20220616BHJP(液体用容積形機械;液体または圧縮性流体用ポンプ)
要約【課題】熱膨張による性能の低下を効果的に抑制できる真空ポンプを提供する。
【解決手段】吸気口101が設けられた外装体203と、外装体203に内包され、回転自在に支持された回転体103と、回転体103の外周に配置された略円筒状のねじ溝ステータ131と、回転体103の外周面またはねじ溝ステータ131の内周面の少なくとも一方に刻設されたねじ溝131aと、を備え、回転体103を回転させることにより、吸気口101側から吸気した気体を外装体203外へ排気する真空ポンプであって、ねじ溝ステータ131の外周に、ねじ溝ステータ131の材料よりも線膨張係数の低い材料で形成され、ねじ溝ステータ131の熱膨張時の径方向の変形を低減させる拘束手段220が配設される。
【選択図】図5
特許請求の範囲【請求項1】
吸気口が設けられた外装体と、
前記外装体に内包され、回転自在に支持された回転体と、
前記回転体の外周に配置された略円筒状のステータと、
前記回転体の外周面または前記ステータの内周面の少なくとも一方に刻設されたねじ溝と、を備え、前記回転体を回転させることにより、前記吸気口側から吸気した気体を前記外装体外へ排気する真空ポンプであって、
前記ステータの外周に、前記ステータの材料よりも線膨張係数の低い材料で形成され、前記ステータの熱膨張時の径方向の変形を低減させる拘束手段が配設されることを特徴とする真空ポンプ。
続きを表示(約 330 文字)【請求項2】
前記拘束手段は、前記ステータの下流側の端部に配設されることを特徴とする請求項1に記載の真空ポンプ。
【請求項3】
前記真空ポンプは、内部温度が異なる複数の仕様を有し、
各々の前記仕様における、前記真空ポンプの軸方向の所定位置の前記回転体の前記外周面と前記ステータの前記内周面とのギャップ量は、前記拘束手段によって同じになるようにされたことを特徴とする請求項1また2に記載の真空ポンプ。
【請求項4】
前記ステータの熱膨張時における、前記拘束手段から前記ステータに作用する応力は、前記ステータの材料の降伏応力未満となるようにされたことを特徴とする請求項1~3のいずれか1項に記載の真空ポンプ。

発明の詳細な説明【技術分野】
【0001】
本発明は、真空ポンプに関する。
続きを表示(約 1,400 文字)【背景技術】
【0002】
半導体製造装置、液晶製造装置、電子顕微鏡、表面分析装置または微細加工装置等は、装置内の環境を高度の真空状態にすることが必要である。これらの装置の内部を高度の真空状態とするために、真空ポンプが用いられている。
【0003】
真空ポンプは、例えば特許文献1に示すように、回転翼と固定翼を有するターボ分子ポンプの下流側に、ねじ溝ポンプが設けられる場合がある。いわゆるホルベック型のねじ溝ポンプは、回転体の外周面と、回転体の外周に配置されたステータとにより構成され、回転体の外周面またはステータの内周面にねじ溝が刻設されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
特開2015-031153号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
ところで、半導体製造等で生じた反応生成物が堆積することを防ぐために、ねじ溝ポンプを形成するステータを、反応生成物の昇華温度以上に保温する技術が考案されている。しかしながら、回転体の外周に配置されるステータが高温になると、熱膨張により回転体とステータの間のギャップ量が広がり、ねじ溝ポンプの性能が低下する。
【0006】
一方、真空ポンプにおいては、排気性能以外にも、上記半導体製造等における種々の製造工程に応じた、最適な内部温度などの仕様要求などがある。在庫数の削減などを目的として、同一のポンプで、内部温度の設定仕様を変えることが求められる場合がある。この場合には、内部温度の設定仕様の変更によって、上述の熱膨張で生じる回転体とステータの間のギャップ量が変化する。このギャップ量が大きくなるように変化する場合、ねじ溝ポンプの排気性能が低下して問題となる可能性がある。
【0007】
本発明は、上述した課題を解決するためになされたものであり、熱膨張による性能の低下を効果的に抑制できる真空ポンプを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0008】
上記目的を達成する本発明に係る真空ポンプは、吸気口が設けられた外装体と、前記外装体に内包され、回転自在に支持された回転体と、前記回転体の外周に配置された略円筒状のステータと、前記回転体の外周面または前記ステータの内周面の少なくとも一方に刻設されたねじ溝と、を備え、前記回転体を回転させることにより、前記吸気口側から吸気した気体を前記外装体外へ排気する真空ポンプであって、前記ステータの外周に、前記ステータの材料よりも線膨張係数の低い材料で形成され、前記ステータの熱膨張時の径方向の変形を低減させる拘束手段が配設されることを特徴とする。
【発明の効果】
【0009】
上記のように構成した真空ポンプは、ステータの熱膨張時の径方向の変形を低減させる拘束手段を有するため、回転体の外周面とステータの内周面との間のギャップ量が広がることを抑制できる。このため、本真空ポンプは、熱膨張によるねじ溝ポンプの性能の低下を効果的に抑制できる。
【0010】
前記拘束手段は、前記ステータの下流側の端部に配設されてもよい。これにより、下流側で外周面を固定されていないステータの下流側の端部の径方向への熱膨張を抑制し、ねじ溝ポンプの性能の低下を効果的に抑制できる。
(【0011】以降は省略されています)

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