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公開番号2022091240
公報種別公開特許公報(A)
公開日2022-06-21
出願番号2020203948
出願日2020-12-09
発明の名称基板搬送ロボット
出願人川崎重工業株式会社
代理人個人
主分類H01L 21/677 20060101AFI20220614BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】基板搬送ロボットにおいて、基板を保持して搬送できる有用な構成を提供する。
【解決手段】基板を搬送する基板搬送ロボットは、ハンド部を備える。前記ハンド部は、ハンド本体と、触覚センサと、を備える。前記触覚センサの感知面は、前記ハンド本体よりも上方に配置される。前記ハンド部は、前記基板の下面を3箇所以上で下から支持し、そのうちの少なくとも1箇所に前記触覚センサが配置されている。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項1】
基板を搬送する基板搬送ロボットであって、
ハンド部を備え、
前記ハンド部は、
ハンド本体と、
感知面が前記ハンド本体よりも上方に配置された触覚センサと、
を備え、
前記ハンド部は、前記基板の下面を3箇所以上で下から支持し、そのうちの少なくとも1箇所に前記触覚センサが配置されていることを特徴とする基板搬送ロボット。
続きを表示(約 640 文字)【請求項2】
請求項1に記載の基板搬送ロボットであって、
前記ハンド部は、パッシブグリップ型のハンドであることを特徴とする基板搬送ロボット。
【請求項3】
請求項1又は2に記載の基板搬送ロボットであって、
前記触覚センサは、前記基板の下面を支持する全ての箇所に配置されていることを特徴とする基板搬送ロボット。
【請求項4】
請求項1から3までの何れか一項に記載の基板搬送ロボットであって、
前記ハンド部は先端が分岐しており、分岐部分のそれぞれに前記触覚センサが配置されていることを特徴とする基板搬送ロボット。
【請求項5】
請求項1から4までの何れか一項に記載の基板搬送ロボットであって、
前記ハンド部の先端側と根元側のそれぞれに、1つ以上の前記触覚センサが配置されていることを特徴とする基板搬送ロボット。
【請求項6】
請求項1から5までの何れか一項に記載の基板搬送ロボットであって、
前記触覚センサは、外部から加えられた力を3軸方向で検知可能であることを特徴とする基板搬送ロボット。
【請求項7】
請求項1から6までの何れか一項に記載の基板搬送ロボットであって、
前記ハンド部を支持するロボットアームを備え、
前記触覚センサは、前記ロボットアームを介して、アースに対して電気的に導通されていることを特徴とする基板搬送ロボット。

発明の詳細な説明【技術分野】
【0001】
本発明は、基板を搬送するロボットに関する。
続きを表示(約 990 文字)【背景技術】
【0002】
従来から、半導体基板等を搬送するためにロボットが用いられている。特許文献1は、この種の基板搬送用ロボットを開示する。
【0003】
特許文献1の基板搬送用ロボットにおいては、エンドエフェクタの先端に吸着ヘッドが形成されている。この吸着ヘッドは、エンドエフェクタ内のサクション配管に連通されている。従って、エンドエフェクタの先端位置で基板を吸着保持することができる。吸着ヘッドの近傍には、基板保持状態を検知する接触センサが内蔵されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
特開2003-170382号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
特許文献1のようにサクションで基板を吸着する構成は、例えば真空環境に適用することができない等の制限がある。従って、基板をハンドで搬送するための別の構成が求められていた。
【0006】
本発明は以上の事情に鑑みてされたものであり、その目的は、基板搬送ロボットにおいて、基板を保持して搬送できる有用な構成を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0007】
本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段とその効果を説明する。
【0008】
本発明の観点によれば、以下の構成の基板搬送ロボットが提供される。即ち、この基板搬送ロボットは、基板を搬送する。前記基板搬送ロボットは、ハンド部を備える。前記ハンド部は、ハンド本体と、触覚センサと、を備える。前記触覚センサの感知面は、前記ハンド本体よりも上方に配置される。前記ハンド部は、前記基板の下面を3箇所以上で下から支持し、そのうちの少なくとも1箇所に前記触覚センサが配置されている。
【0009】
これにより、ハンド部の上に載っている基板に関する様々な情報を、簡素な構成で取得することができる。
【発明の効果】
【0010】
本発明によれば、基板搬送ロボットにおいて、基板を保持して搬送できる有用な構成を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
(【0011】以降は省略されています)

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