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公開番号2022074816
公報種別公開特許公報(A)
公開日2022-05-18
出願番号2020185187
出願日2020-11-05
発明の名称清掃装置および清掃方法
出願人三菱電機株式会社
代理人個人
主分類G02F 1/13 20060101AFI20220511BHJP(光学)
要約【課題】粘着テープを基板に対して安定して圧着させることで安定した異物除去を実現できる清掃装置を得ること。
【解決手段】清掃装置1Aが、ロール状に巻き付けられた粘着テープ3を送り出す供給リール11と、供給リール11から送り出された粘着テープ3を、第1の回転軸を中心に回転しながらガラス基板2の基板面に押し当てることで粘着テープ3を基板面に圧着する貼付けローラ14と、基板面に圧着されて貼付けローラ14から送り出された粘着テープ3を、第2の回転軸を中心に回転しながらガラス基板2から剥離する剥離ローラ13と、剥離ローラ13で剥離された粘着テープ3を回収する巻取りリール12と、を備え、ガラス基板2は、基板面に圧着されて剥離される粘着テープ3によって、基板面に付着している異物が除去される。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項1】
ロール状に巻き付けられた粘着テープを送り出す供給リールと、
前記供給リールから送り出された前記粘着テープを、第1の回転軸を中心に回転しながら基板の第1の面である基板面に押し当てることで前記粘着テープを前記基板面に圧着する貼付けローラと、
前記基板面に圧着されて前記貼付けローラから送り出された前記粘着テープを、第2の回転軸を中心に回転しながら前記基板から剥離する剥離ローラと、
前記剥離ローラで剥離された前記粘着テープを回収する巻取りリールと、
を備え、
前記基板は、前記基板面に圧着されて剥離される前記粘着テープによって、前記基板面に付着している異物が除去される、
ことを特徴とする清掃装置。
続きを表示(約 1,700 文字)【請求項2】
前記粘着テープを前記基板面から剥離させる際の、前記基板面と前記粘着テープが引っ張られる方向とがなす角度である剥がし角度が90度以上である、
ことを特徴とする請求項1に記載の清掃装置。
【請求項3】
前記貼付けローラおよび前記剥離ローラの移動を、前記貼付けローラと前記剥離ローラとの間の前記粘着テープの移動方向に平行な方向にガイドするローラガイドをさらに備え、
前記貼付けローラを、第1の回転方向に回転させながら前記ローラガイドに沿って第1の移動方向に移動させることで前記粘着テープを前記基板面に圧着させ、
前記剥離ローラを、前記第1の回転方向に回転させながら前記ローラガイドに沿って前記第1の移動方向に移動させることで前記粘着テープを前記基板面から剥離させる、
ことを特徴とする請求項1または2に記載の清掃装置。
【請求項4】
前記貼付けローラの移動を、前記貼付けローラと前記剥離ローラとの間の前記粘着テープの移動方向に平行な方向にガイドするローラガイドをさらに備え、
前記剥離ローラは、前記貼付けローラおよび前記剥離ローラが配置されたテープ清掃ユニット内で配置位置が固定されており、
前記貼付けローラを第1の回転方向に回転させながら前記ローラガイドに沿って第1の移動方向に移動させることで前記粘着テープを前記基板面に圧着させ、
前記テープ清掃ユニットを前記第1の移動方向に移動させるとともに、前記貼付けローラを前記第1の回転方向とは反対の第2の回転方向に回転させながら前記ローラガイドに沿って前記第1の移動方向とは反対の第2の移動方向に移動させ、且つ前記剥離ローラを前記テープ清掃ユニット内の固定位置で前記第1の回転方向に回転させることで前記粘着テープを前記基板面から剥離させる、
ことを特徴とする請求項1または2に記載の清掃装置。
【請求項5】
前記貼付けローラは、前記貼付けローラおよび前記剥離ローラが配置されたテープ清掃ユニット内で配置位置が第1の固定位置に固定されており、
前記剥離ローラは、前記テープ清掃ユニット内で配置位置が第2の固定位置に固定されており、
前記貼付けローラを前記第1の固定位置で第1の回転方向に回転させながら前記基板を前記剥離ローラの配置方向に搬送することで前記粘着テープを前記基板面に圧着させ、
前記剥離ローラを前記第2の固定位置で前記第1の回転方向に回転させることで前記粘着テープを前記基板面から剥離させる、
ことを特徴とする請求項1または2に記載の清掃装置。
【請求項6】
前記基板は、複数枚が連続して、前記貼付けローラでの前記粘着テープの圧着と前記剥離ローラでの前記粘着テープの剥離とが行われる、
ことを特徴とする請求項5に記載の清掃装置。
【請求項7】
剥離ローラの直径は、前記貼付けローラの直径よりも小さい、
ことを特徴とする請求項1から6の何れか1つに記載の清掃装置。
【請求項8】
ロール状に巻き付けられた粘着テープを供給する供給リールが、前記粘着テープを送り出す供給ステップと、
前記粘着テープを基板の第1の面である基板面に圧着する貼付けローラが、前記供給リールから送り出された前記粘着テープを、第1の回転軸を中心に回転しながら基板の第1の面である基板面に押し当てることで前記粘着テープを前記基板面に圧着する圧着ステップと、
前記粘着テープを前記基板から剥離する剥離ローラが、前記基板面に圧着されて前記貼付けローラから送り出された前記粘着テープを、第2の回転軸を中心に回転しながら前記基板から剥離する剥離ステップと、
前記粘着テープを回収する巻取りリールが、前記剥離ローラで剥離された前記粘着テープを回収する回収ステップと、
を含み、
前記基板は、前記基板面に圧着されて剥離される前記粘着テープによって、前記基板面に付着している異物が除去される、
ことを特徴とする清掃方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【0001】
本開示は、粘着テープで基板の基板面を清掃する清掃装置および清掃方法に関する。
続きを表示(約 1,700 文字)【背景技術】
【0002】
液晶パネルのガラス基板といった基板の表面に付着した異物は、製品の歩留まり、品質、および信頼性に大きな影響を与える。このような基板の主な清掃方法としては、ウエット洗浄およびドライ洗浄があるが、経済性と異物除去能力のバランスに一長一短がある。すなわち、ウエット洗浄は、異物除去能力に優れるが、複数の洗槽をもった洗浄槽、乾燥炉などの設備が必要なうえ、洗浄工程から乾燥工程に時間が掛かるためリードタイムが長くなるなどの欠点がある。一方、ドライ洗浄は、異物再付着の低減、乾燥工程の省略などの利点があるが、多量の異物の除去には適さない。
【0003】
ウエット洗浄またはドライ洗浄に代わる清掃方法として、粘着テープを用いて基板の表面に付着した異物を除去する清掃方法がある。特許文献1に記載の異物除去装置は、基板の移動と同期して回転する接触ローラの周面に沿って、粘着テープを移動させる。この異物除去装置は、移動する粘着テープを、基板に圧着した後に剥離することで、基板の表面に付着した異物を除去している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
特開2002-23143号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
しかしながら、上記特許文献1の技術では、粘着テープを基板に圧着する際の押圧力が、粘着テープを剥離する際の引き剥がし力の影響を受ける。すなわち、上記特許文献1の技術では、粘着テープの引き剥がし力が、粘着テープの張力として接触ローラの上向きに働く。粘着テープの張力は、粘着テープを巻取る力である。したがって、実際の押圧力は、押圧装置で発生させた力から、粘着テープの張力を差し引いた力となる。このため、粘着テープによる基板への押圧力の変動が大きくなるので、押圧力を正確に制御することが困難となり、粘着テープを基板に対して安定して圧着させることができないという問題があった。
【0006】
本開示は、上記に鑑みてなされたものであって、粘着テープを基板に対して安定して圧着させることで安定した異物除去を実現できる清掃装置を得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0007】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本開示の清掃装置は、ロール状に巻き付けられた粘着テープを送り出す供給リールと、供給リールから送り出された粘着テープを、第1の回転軸を中心に回転しながら基板の第1の面である基板面に押し当てることで粘着テープを基板面に圧着する貼付けローラとを備える。また、清掃装置は、基板面に圧着されて貼付けローラから送り出された粘着テープを、第2の回転軸を中心に回転しながら基板から剥離する剥離ローラと、剥離ローラで剥離された粘着テープを回収する巻取りリールとを備える。基板は、基板面に圧着されて剥離される粘着テープによって、基板面に付着している異物が除去される。
【発明の効果】
【0008】
本開示にかかる清掃装置は、粘着テープを基板に対して安定して圧着させることで安定した異物除去を実現できるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【0009】
実施の形態1にかかる清掃装置の構成を示す正面図
実施の形態1にかかる清掃装置の構成を示す斜視図
実施の形態1にかかる清掃装置が用いる粘着テープの構成を示す断面図
実施の形態1にかかる清掃装置による清掃の処理手順を説明するための図
実施の形態2にかかる清掃装置の構成を示す正面図
実施の形態2にかかる清掃装置による清掃の処理手順を説明するための図
実施の形態3にかかる清掃装置の構成を示す正面図
実施の形態3にかかる清掃装置による清掃の処理手順を説明するための図
実施の形態4にかかる清掃装置の構成を示す正面図
【発明を実施するための形態】
【0010】
以下に、本開示にかかる清掃装置および清掃方法の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
(【0011】以降は省略されています)

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